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发明公开
在粒子束显微镜中定位物体的方法和计算机程序产品审中-实审

公开(公告)号：CN115372394A

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN202210527177.1

申请日：2022-05-16

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： J.比伯格 , M.波斯托尔斯基 , M.T.凯弗 , H.埃姆

IPC: G01N23/2204 , G01N23/2251 , G01N23/2255

Abstract: 本发明涉及一种用于在粒子束显微镜的样品室中定位可移动物体的方法，该方法借助于柔性粒子束屏障执行。粒子束显微镜包括至少一个用于产生带电粒子束的粒子束柱、以及样品室、用于检测相互作用信号的检测器以及控制与评估单元。在该方法中，最初在样品室中提供物体。接下来，定义屏障区域，随后使用带电粒子束对屏障区域进行扫描。检测在扫描期间产生的相互作用信号。物体朝向屏障区域移动，其中，监视检测到的相互作用信号并登记信号变化，因此可以检测到物体进入屏障区域或离开屏障区域的时间。

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