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公开(公告)号：CN112577986B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202011036541.1
申请日：2020-09-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2252
Abstract: 一种EDX方法，包括：基于x射线辐射检测器的输出，生成具有多个图像元素的图像；向每个图像元素分配至少一组化学元素和这些化学元素的相对比例；确定两个图像元素子集；确定两个过滤器，这些过滤器从该图像元素的该组化学元素中选择预定子集；利用该第一过滤器和该第二过滤器分别过滤该图像元素的这些化学元素；基于过滤后的化学元素子集确定这些图像元素的代表性特征；以及使用这些代表性特征在显示设备上表示该图像元素。
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公开(公告)号：CN112083195B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202010458432.2
申请日：2020-05-26
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本文描述的发明涉及一种用于操作对物体进行成像、分析、和/或处理的粒子束装置的方法。而且，本文描述的发明涉及一种用于执行该方法的粒子束装置。该方法包括：识别该物体上的至少一个兴趣区域；定义：(i)用于分析该物体的分析序列，(ii)用于通过变形来处理该物体的处理序列，以及(iii)用于取决于该处理序列和/或该分析序列来调整该至少一个兴趣区域的调整序列；根据该处理序列通过变形来处理该物体和/或根据该分析序列来分析该物体；根据该调整序列来调整该至少一个兴趣区域；以及在调整该至少一个兴趣区域之后或之时，使用该粒子束装置的粒子束发生器产生的一次粒子束来对该至少一个兴趣区域进行成像和/或分析。
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公开(公告)号：CN112577986A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011036541.1
申请日：2020-09-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2252
Abstract: 一种EDX方法，包括：基于x射线辐射检测器的输出，生成具有多个图像元素的图像；向每个图像元素分配至少一组化学元素和这些化学元素的相对比例；确定两个图像元素子集；确定两个过滤器，这些过滤器从该图像元素的该组化学元素中选择预定子集；利用该第一过滤器和该第二过滤器分别过滤该图像元素的这些化学元素；基于过滤后的化学元素子集确定这些图像元素的代表性特征；以及使用这些代表性特征在显示设备上表示该图像元素。
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公开(公告)号：CN112083195A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202010458432.2
申请日：2020-05-26
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本文描述的发明涉及一种用于操作对物体进行成像、分析、和/或处理的粒子束装置的方法。而且，本文描述的发明涉及一种用于执行该方法的粒子束装置。该方法包括：识别该物体上的至少一个兴趣区域；定义：(i)用于分析该物体的分析序列，(ii)用于通过变形来处理该物体的处理序列，以及(iii)用于取决于该处理序列和/或该分析序列来调整该至少一个兴趣区域的调整序列；根据该处理序列通过变形来处理该物体和/或根据该分析序列来分析该物体；根据该调整序列来调整该至少一个兴趣区域；以及在调整该至少一个兴趣区域之后或之时，使用该粒子束装置的粒子束发生器产生的一次粒子束来对该至少一个兴趣区域进行成像和/或分析。
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