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公开(公告)号：CN112577986B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202011036541.1
申请日：2020-09-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2252
Abstract: 一种EDX方法，包括：基于x射线辐射检测器的输出，生成具有多个图像元素的图像；向每个图像元素分配至少一组化学元素和这些化学元素的相对比例；确定两个图像元素子集；确定两个过滤器，这些过滤器从该图像元素的该组化学元素中选择预定子集；利用该第一过滤器和该第二过滤器分别过滤该图像元素的这些化学元素；基于过滤后的化学元素子集确定这些图像元素的代表性特征；以及使用这些代表性特征在显示设备上表示该图像元素。
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公开(公告)号：CN110444456B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN201910353504.4
申请日：2019-04-28
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种用于容纳显微镜样品以便在显微镜系统中进行检查或处理的样品载体，其中，该样品载体可容纳在容纳装置中，使得处于容纳状态的样品载体采取相对于该容纳装置的某个限定取向。该样品载体具有单独样品载体标识符并且被设计成与该显微镜系统通信并且在该过程中将该单独样品载体标识符传送到该显微镜系统，使得容纳在该样品载体上的样品是可跟踪的。
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公开(公告)号：CN112577985A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202010931769.0
申请日：2020-09-07
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2251 , G01N23/2204 , G01N23/20091
Abstract: 本发明包括一种用于减少显微试样的EDS分析中的拓扑伪影的方法、以及一种电子显微镜系统和一种计算机程序产品。该方法是用电子显微镜系统执行的，其包括：生成电子束的电子柱；扫描系统；检测X射线信号的EDS检测器；固持该试样的可移动台，该台被配置为至少沿轴线x和y移动和绕旋转轴线旋转，该台被配置为执行计算中心旋转和/或同心旋转。该方法包括以下步骤：a)选择试样上的相关区域(ROI)，同时将该ROI相对于EDS检测器保持在第一取向；b)执行第一EDS分析，获得结果A；c)使该试样台绕该旋转轴旋转角度α，使得将该ROI相对于该EDS检测器保持在第二取向；d)补偿试样台旋转；e)执行第二EDS分析，获得结果B；f)合并结果A和结果B。
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公开(公告)号：CN111757093A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010240406.2
申请日：2020-03-30
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H04N17/00
Abstract: 本发明涉及用于确定和校正图像记录装置的图像记录像差的方法和装置。该方法包括：通过图像记录装置来记录第一图像，其中，该第一图像表示物体(1)的第一区域(3)；通过该图像记录装置来记录第二图像，其中，这些第二图像表示该第一区域3的相互不同的部分区域(7、9、11)，其中，这些部分区域(7、9、11)中的每一个都小于该第一区域(3)；以及基于该第一图像和这些第二图像来确定该图像记录装置的图像记录像差的至少一个值。
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公开(公告)号：CN114628209A
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202111490520.1
申请日：2021-12-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： S.迪默
IPC: H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/147
Abstract: 一种用于操作粒子束显微镜的方法，包括在偏转装置的给定激励和第一焦点设置下记录第一粒子显微镜图像、在偏转装置的给定激励和第二焦点设置下记录第二粒子显微镜图像、以及基于第一粒子显微镜图像、第二粒子显微镜图像和提前已知的函数关系确定偏转装置的新激励。函数关系表示当根据偏转装置的激励改变焦点设置时记录的粒子显微镜图像的位移。通过新激励，粒子束显微镜然后被调节，从而可以通过其记录清晰的图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112577986A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011036541.1
申请日：2020-09-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2252
Abstract: 一种EDX方法，包括：基于x射线辐射检测器的输出，生成具有多个图像元素的图像；向每个图像元素分配至少一组化学元素和这些化学元素的相对比例；确定两个图像元素子集；确定两个过滤器，这些过滤器从该图像元素的该组化学元素中选择预定子集；利用该第一过滤器和该第二过滤器分别过滤该图像元素的这些化学元素；基于过滤后的化学元素子集确定这些图像元素的代表性特征；以及使用这些代表性特征在显示设备上表示该图像元素。
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公开(公告)号：CN110444456A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910353504.4
申请日：2019-04-28
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种用于容纳显微镜样品以便在显微镜系统中进行检查或处理的样品载体，其中，该样品载体可容纳在容纳装置中，使得处于容纳状态的样品载体采取相对于该容纳装置的某个限定取向。该样品载体具有单独样品载体标识符并且被设计成与该显微镜系统通信并且在该过程中将该单独样品载体标识符传送到该显微镜系统，使得容纳在该样品载体上的样品是可跟踪的。
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公开(公告)号：CN111757093B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202010240406.2
申请日：2020-03-30
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H04N17/00
Abstract: 本发明涉及用于确定和校正图像记录装置的图像记录像差的方法和装置。该方法包括：通过图像记录装置来记录第一图像，其中，该第一图像表示物体(1)的第一区域(3)；通过该图像记录装置来记录第二图像，其中，这些第二图像表示该第一区域3的相互不同的部分区域(7、9、11)，其中，这些部分区域(7、9、11)中的每一个都小于该第一区域(3)；以及基于该第一图像和这些第二图像来确定该图像记录装置的图像记录像差的至少一个值。
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公开(公告)号：CN115668431A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180036919.4
申请日：2021-05-19
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/21 , H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及一种用于操作粒子束显微镜的方法，该方法包括：设定物体(92)距物镜(35)的距离；设定物镜的激励；将双偏转器(75)的激励设定为第一设定，使得粒子束(103)以第一取向撞击物体；以及在这些设定下记录第一粒子显微镜图像。该方法还包括：将该双偏转器的激励设定为第二设定，使得该粒子束以不同于该第一取向的第二取向撞击该物体，并且在该双偏转器为该第二设定时捕捉第二粒子显微镜图像。然后，基于对该第一粒子显微镜图像和第二粒子显微镜图像的分析来确定物体与物镜的新距离，并且将物体距物镜的距离设定为该新距离。
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公开(公告)号：CN115223834A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210410851.8
申请日：2022-04-19
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： S.迪默
IPC: H01J37/20 , H01J37/28 , G01N23/225 , G01N23/2251
Abstract: 一种粒子束显微系统(1)，包括真空容器(9)、布置在该真空容器中的可移动样本台(7)、粒子束显微镜(3)、和导航相机(35)。一种用于操作粒子束显微系统的方法，包括将样本附接到该样本台和重复执行如下序列：该序列包括使用该导航相机来记录该样本的光光学图像和使该样本相对于该导航相机的部件移动。该方法进一步包括基于记录的该多个光光学图像来确定该样本相对于该粒子束显微镜的目标位置、使该样本相对于该粒子束显微镜移动到该目标位置、以及使用该粒子束显微镜来记录布置在该目标位置的该样本的粒子显微图像。
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