公开(公告)号：CN112577985A

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN202010931769.0

申请日：2020-09-07

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： R.阿诺德 ,  W.伯格 ,  M.博塞 ,  S.迪默 ,  H.多默 ,  M.埃德尔曼 ,  韩露阳 ,  M.希特尔 ,  A.詹森 ,  S.迈耶 ,  K.舒伯特

IPC: G01N23/2251 ,  G01N23/2204 ,  G01N23/20091

Abstract: 本发明包括一种用于减少显微试样的EDS分析中的拓扑伪影的方法、以及一种电子显微镜系统和一种计算机程序产品。该方法是用电子显微镜系统执行的，其包括：生成电子束的电子柱；扫描系统；检测X射线信号的EDS检测器；固持该试样的可移动台，该台被配置为至少沿轴线x和y移动和绕旋转轴线旋转，该台被配置为执行计算中心旋转和/或同心旋转。该方法包括以下步骤：a)选择试样上的相关区域(ROI)，同时将该ROI相对于EDS检测器保持在第一取向；b)执行第一EDS分析，获得结果A；c)使该试样台绕该旋转轴旋转角度α，使得将该ROI相对于该EDS检测器保持在第二取向；d)补偿试样台旋转；e)执行第二EDS分析，获得结果B；f)合并结果A和结果B。