公开(公告)号：CN110389144A

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201910306630.4

申请日：2019-04-16

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： J.比伯格 ,  S.伦格魏勒

IPC: G01N23/2202 ,  H01J37/26

Abstract: 在生产TEM样品的方法中，物体(3)紧固到物体固持器(13)的元件(19)上使得该物体(3)的待加工的表面(11)被布置成与该元件(19)的旋转轴线(23)基本上垂直。离子束以掠入射被引导至待加工的表面(11)，其中，当离子束被引导至待加工的表面(11)时，该元件(19)采用相对于旋转轴线(23)的不同的旋转位置。

公开(公告)号：CN110389144B

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN201910306630.4

申请日：2019-04-16

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： J.比伯格 ,  S.伦格魏勒

IPC: G01N23/2202 ,  H01J37/26

Abstract: 在生产TEM样品的方法中，物体(3)紧固到物体固持器(13)的元件(19)上使得该物体(3)的待加工的表面(11)被布置成与该元件(19)的旋转轴线(23)基本上垂直。离子束以掠入射被引导至待加工的表面(11)，其中，当离子束被引导至待加工的表面(11)时，该元件(19)采用相对于旋转轴线(23)的不同的旋转位置。