公开(公告)号：CN115931940A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202211210551.1

申请日：2022-09-30

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： G.沃尔特 ,  H.多默 ,  W.伯杰

IPC: G01N23/22

Abstract: 本发明涉及一种粒子束系统，该粒子束系统包括粒子束柱、检测系统40和控制器30。该粒子束柱被配置用于产生粒子束并将其引导到样品上，由此该样品发射带电粒子41。该检测系统40用于检测这些带电粒子41并且包括可以使带电粒子41加速的电极E、向电极E施加可调电势的电势源42、闪烁体43、和输出检测信号的光检测器44。该控制器30控制该电势源42并且被配置为基于该检测信号来改变电势，使得该闪烁体43在其饱和之外操作并且使得该光检测器44在其饱和之外操作。

公开(公告)号：CN110189974B

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN201910140445.2

申请日：2019-02-21

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.普雷克斯扎斯 ,  G.沃尔特

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及一种用于操作粒子辐射设备的方法。在该方法中使物镜电流摆动。在物镜电流摆动的过程中，调节偏转单元和/或孔单元的特性。特性的调节如此进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。此外，在该方法中，进行射束发生器的工作电压的摆动并且借助于样品台进行物体的定向。在工作电压摆动的过程中，样品台向定向位置中的移动如下进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。

公开(公告)号：CN110189974A

公开(公告)日：2019-08-30

申请号：CN201910140445.2

申请日：2019-02-21

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.普雷克斯扎斯 ,  G.沃尔特

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及一种用于操作粒子辐射设备的方法。在该方法中使物镜电流摆动。在物镜电流摆动的过程中，调节偏转单元和/或挡板单元的特性。特性的调节如此进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。此外，在该方法中，进行射束发生器的工作电压的摆动并且借助于样品台进行物体的定向。在工作电压摆动的过程中，样品台向定向位置中的移动如下进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。