公开(公告)号：CN113253333B

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN202110182741.6

申请日：2021-02-07

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.普雷克斯扎斯

IPC: G01T5/00

Abstract: 本发明涉及一种用于操作粒子束装置以对物体进行成像和/或分析的方法、一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子束装置。该粒子束装置例如被实施为电子束装置和/或离子束装置。该方法包括：生成粒子束；将该粒子束聚焦到该物体的扫描区域上，其中，该扫描区域被实施为第一区；使该粒子束在该物体上的扫描场之上扫描，其中，在扫描设备最大偏转的情况下，该扫描场被实施为第二区，其中，该扫描区域的第一区和该扫描场的第二区具有第一重叠区域，并且其中，该扫描场的第二区具有与该扫描区域的第一区不重叠的第二区域；以及利用仅由于源自该第一重叠区域的第一相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号生成图像和/或执行分析。

公开(公告)号：CN109786195B

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN201811356208.1

申请日：2018-11-14

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.普雷克斯扎斯

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/28

Abstract: 一种用于调节粒子束显微镜的方法，当调节粒子束显微镜时，执行以下步骤：A：将束调节装置设置为第一设置W1，将物镜激励至第一物镜激励值I1，并且记录第一图像；B：将所述束调节装置设置为第二设置W2，并且记录第二图像；C：将所述束调节装置设置为所述第一设置W1，将所述物镜激励至第二物镜激励值I2，并且记录第三图像；D：将所述束调节装置设置为所述第二设置W2，并且记录第四图像；以及E：将所述束调节装置设置为根据这些图像确定的优化的设置Wopt，将所述物镜激励至第三物镜激励值I3＝I1+K*(I2‑I1)，并且记录进一步图像。

公开(公告)号：CN113253333A

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202110182741.6

申请日：2021-02-07

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.普雷克斯扎斯

IPC: G01T5/00

Abstract: 本发明涉及一种用于操作粒子束装置以对物体进行成像和/或分析的方法、一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子束装置。该粒子束装置例如被实施为电子束装置和/或离子束装置。该方法包括：生成粒子束；将该粒子束聚焦到该物体的扫描区域上，其中，该扫描区域被实施为第一区；使该粒子束在该物体上的扫描场之上扫描，其中，在扫描设备最大偏转的情况下，该扫描场被实施为第二区，其中，该扫描区域的第一区和该扫描场的第二区具有第一重叠区域，并且其中，该扫描场的第二区具有与该扫描区域的第一区不重叠的第二区域；以及利用仅由于源自该第一重叠区域的第一相互作用粒子和/或相互作用辐射而生成的检测信号生成图像和/或执行分析。

公开(公告)号：CN109786195A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201811356208.1

申请日：2018-11-14

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.普雷克斯扎斯

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/28

Abstract: 一种用于调节粒子束显微镜的方法，当调节粒子束显微镜时，执行以下步骤：A：将束调节装置设置为第一设置W1，将物镜激励至第一物镜激励值I1，并且记录第一图像；B：将所述束调节装置设置为第二设置W2，并且记录第二图像；C：将所述束调节装置设置为所述第一设置W1，将所述物镜激励至第二物镜激励值I2，并且记录第三图像；D：将所述束调节装置设置为所述第二设置W2，并且记录第四图像；以及E：将所述束调节装置设置为根据这些图像确定的优化的设置Wopt，将所述物镜激励至第三物镜激励值I3＝I1+K*(I2-I1)，并且记录进一步图像。

公开(公告)号：CN110189974B

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN201910140445.2

申请日：2019-02-21

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.普雷克斯扎斯 ,  G.沃尔特

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及一种用于操作粒子辐射设备的方法。在该方法中使物镜电流摆动。在物镜电流摆动的过程中，调节偏转单元和/或孔单元的特性。特性的调节如此进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。此外，在该方法中，进行射束发生器的工作电压的摆动并且借助于样品台进行物体的定向。在工作电压摆动的过程中，样品台向定向位置中的移动如下进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。

公开(公告)号：CN110189974A

公开(公告)日：2019-08-30

申请号：CN201910140445.2

申请日：2019-02-21

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.普雷克斯扎斯 ,  G.沃尔特

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及一种用于操作粒子辐射设备的方法。在该方法中使物镜电流摆动。在物镜电流摆动的过程中，调节偏转单元和/或挡板单元的特性。特性的调节如此进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。此外，在该方法中，进行射束发生器的工作电压的摆动并且借助于样品台进行物体的定向。在工作电压摆动的过程中，样品台向定向位置中的移动如下进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。