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公开(公告)号：CN109425978A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201810979516.3
申请日：2018-08-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 描述了用于样本的高分辨率2D扫描显微镜检查的方法和显微镜。在该方法中，利用照明辐射照射样本，使得照明辐射聚焦在样本中或上，以在一点处形成衍射受限的照明斑点，其中，该点以衍射受限的方式在空间分辨表面检测器上成像为衍射图像，其中，表面检测器具有解析衍射图像的衍射结构的空间分辨率，其中，成像点扩散函数和照明点扩散函数都不被操纵用于产生不对称，该点相对于样本以小于照明斑点的直径的一半的增量移位到不同扫描位置，其中，多个扫描位置在成像的焦平面的z位置固定时被扫描，读取表面检测器，并且根据表面检测器的数据和分配给所述数据的扫描位置来产生样本的2D图像，所述2D图像具有增加到超出用于成像的分辨率限制的分辨率。
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公开(公告)号：CN109425978B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN201810979516.3
申请日：2018-08-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 描述了用于样本的高分辨率2D扫描显微镜检查的方法和显微镜。在该方法中，利用照明辐射照射样本，使得照明辐射聚焦在样本中或上，以在一点处形成衍射受限的照明斑点，其中，该点以衍射受限的方式在空间分辨表面检测器上成像为衍射图像，其中，表面检测器具有解析衍射图像的衍射结构的空间分辨率，其中，成像点扩散函数和照明点扩散函数都不被操纵用于产生不对称，该点相对于样本以小于照明斑点的直径的一半的增量移位到不同扫描位置，其中，多个扫描位置在成像的焦平面的z位置固定时被扫描，读取表面检测器，并且根据表面检测器的数据和分配给所述数据的扫描位置来产生样本的2D图像，所述2D图像具有增加到超出用于成像的分辨率限制的分辨率。
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