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公开(公告)号:CN104897051B
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:CN201410074532.X
申请日:2014-03-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明涉及用于对数码显微镜进行测量校准的校准板及其使用方法。所述校准板包括至少一个形成有表面构造的校准区,所述表面构造包括周期性地排布的多个格子单元,其中,每个格子单元的边界的至少一部分和/或顶点的至少一部分能够由所述数码显微镜的光学成像系统识别出。本发明还涉及包括所述校准板的数码显微镜系统。
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公开(公告)号:CN104897051A
公开(公告)日:2015-09-09
申请号:CN201410074532.X
申请日:2014-03-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G02B21/36
Abstract: 本发明涉及用于对数码显微镜进行测量校准的校准板及其使用方法。所述校准板包括至少一个形成有表面构造的校准区,所述表面构造包括周期性地排布的多个格子单元,其中,每个格子单元的边界的至少一部分和/或顶点的至少一部分能够由所述数码显微镜的光学成像系统识别出。本发明还涉及包括所述校准板的数码显微镜系统。
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