半导体器件、包括该半导体器件的半导体装置和电子设备

    公开(公告)号:CN114551719A

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN202111419151.7

    申请日:2021-11-26

    Abstract: 本发明公开了一种半导体器件、包括该半导体器件的半导体装置、以及包括该半导体器件的电子设备。该半导体装置包括多个半导体器件。半导体器件均在两个电极之间包括铁电层、导电金属氧化物层和半导体层。导电金属氧化物层可以在铁电层和半导体层之间。铁电层、导电金属氧化物层和半导体层可以都包括金属氧化物。导电金属氧化物层可以包括从由铟氧化物、锌氧化物、锡氧化物及其任意组合组成的组中选择的一种或更多种材料。

    氧化物半导体晶体管
    64.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113690315A

    公开(公告)日:2021-11-23

    申请号:CN202110256187.1

    申请日:2021-03-09

    Abstract: 本发明提供一种氧化物半导体晶体管,该氧化物半导体晶体管包括:包括沟槽的绝缘基板;在沟槽中的栅电极;在绝缘基板的表面上的氧化物半导体层,该表面通过沟槽暴露;以及在栅电极和氧化物半导体层之间的铁电层,其中氧化物半导体层可以包括源极区和漏极区,源极区和漏极区在绝缘基板上在沟槽外部并且彼此隔开,其中栅电极在源极区和漏极区之间。

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