电子器件和包括其的半导体装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114447222A

    公开(公告)日:2022-05-06

    申请号:CN202110775788.3

    申请日:2021-07-09

    Abstract: 本发明涉及电子器件和包括其的半导体装置。半导体器件包括:下部电极;设置成与所述下部电极间隔开的上部电极;以及设置在所述下部电极和所述上部电极之间的介电层,所述介电层包括:第一金属氧化物区域,其包括以下的一种或多种:Hf、Zr、Nb、Ta、Pr、Nd、Gd、Dy、Yb、Pb、Zn、Si、Ti、Sr或Lu;第二金属氧化物区域,其包括以下的一种或多种:Y、Sc或Ce;和第三金属氧化物区域,其包括以下的一种或多种:Al、Mg或Be。

    包括铁电薄膜结构的电子器件
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115939195A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202210916857.2

    申请日:2022-08-01

    Abstract: 本发明公开了一种电子器件,该电子器件包括:衬底,包括源极、漏极以及在源极和漏极之间的沟道;栅电极,布置在衬底上方并面向沟道,栅电极在第一方向上与沟道隔开;以及在沟道和栅电极之间的铁电薄膜结构,该铁电薄膜结构包括在第一方向上从沟道起顺序布置的第一铁电层、包括电介质材料的结晶阻挡层、和第二铁电层。第一铁电层的晶粒的尺寸的平均值可以小于或等于第二铁电层的晶粒的尺寸的平均值,并且由于小的晶粒,可以改善性能的离散。

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