公开(公告)号：CN119038422A

公开(公告)日：2024-11-29

申请号：CN202411144351.X

申请日：2024-08-20

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 田建兵 ,  王黎光 ,  马玉怀 ,  芮阳 ,  兰正东 ,  殷校财 ,  赵娜 ,  王忠保

IPC: B66C23/48 ,  B66C23/70 ,  B66C23/74 ,  B66C23/62

Abstract: 一种线切割机砂浆热交换器更换装置，包括移动台车、升降机构、横向支撑机构、夹持机构；为保证工作时移动台车的整体稳定性，在移动台车上还可增设配重块，移动台车上设置了门型架体，门型架体上设置了可便于人员推移的把手。移动台车的底部采用万向轮结构。升降机构设置于门型架体上。横向支撑机构水平设置于升降机构上，使升降机构能够带动横向支撑机构上下移动。夹持机构设置于横向支撑机构的端部，夹持机构用于夹住热交换器，以便于进行更换。还提供了一种线切割机砂浆热交换器更换方法。本发明在使用时，只需要2人即可安全的进行拆卸、安装，并且在安装的时候还可以旋转热交换器，方便砂浆交换器与设备上方流量器法兰对孔。

公开(公告)号：CN118928983A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202411210673.X

申请日：2024-08-30

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 王凯 ,  王黎光 ,  黄森 ,  芮阳 ,  曹启刚 ,  李俊丽 ,  白园 ,  赵娜

IPC: B65D25/10 ,  B65D25/02 ,  B65D21/036 ,  B65D81/02

Abstract: 本发明提供一种硅片周转箱及硅片周装箱的使用方法，涉及硅片盛放装置技术领域，包括第一防护组件、第二防护组件、第三防护组件，第一防护组件包括底座、防护箱体、顶盖，防护箱体位于底座上部，顶盖位于防护箱体的上部，第二防护组件、第三防护组件位于底座、防护箱体、顶盖形成容纳空腔内，硅片放置在第三防护组件内，底座与防护箱体的下部连接，防护箱体的上部与顶盖连接，第二防护组件的底部与底座接触，第三防护组件镶嵌在第二防护组件内，第二防护的顶部与顶盖接触，以通过第一防护组件、第二防护组件、第三防护组件相互进行支撑、借力对硅片进行逐级防护，防止硅片在转运过程中受外力影响，导致硅片损伤，进而使得硅片浪费减少。

公开(公告)号：CN118814914A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202411212189.0

申请日：2024-08-30

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 董立平 ,  王黎光 ,  马玉怀 ,  芮阳 ,  曹启刚 ,  赵娜 ,  白园 ,  倪浩然

IPC: E03B7/02 ,  E03B7/07 ,  E03B11/10

Abstract: 本发明提供一种带有纯水补给的冷却塔冷却水供水系统及方法，包括：冷却塔、冷却塔冷却水供水管路、自来水供水单元以及纯水供水单元，冷却塔通过冷却塔冷却水供水管路分别与自来水供水单元、纯水供水单元连接；自来水供水单元包括自来水管，自来水管连接自来水房与冷却塔冷却水供水管路，自来水管上安装有切断阀；纯水供水单元包括纯水供水管路、纯水供水管路阀门、密闭水池以及纯水房，冷却塔冷却水供水管路、密闭水池以及纯水房之间通过纯水供水管路依次连接，纯水供水管路上设置有纯水供水管路阀门；密闭水池设于冷却塔的下部，以汇集从冷却塔落下的冷却水，本发明通过采用纯水辅助供水从而降低冷却塔的运营成本。

公开(公告)号：CN118685850A

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202410762951.6

申请日：2024-06-13

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 倪浩然 ,  王黎光 ,  芮阳 ,  谢国荣 ,  马成 ,  商润龙 ,  王忠保 ,  赵娜

IPC: C30B15/00 ,  C30B15/14 ,  C30B15/20 ,  C30B29/06

Abstract: 本发明提供一种降低硅单晶氧含量的装置及方法，属于单晶硅生产技术领域，包括：单晶炉，单晶炉内部设置有坩埚；热屏，热屏设置在坩埚的上方，热屏包括上段热屏和下段热屏，上段热屏包括倾斜段和竖直段，下段热屏包括下段外侧和下段内侧，下段外侧与竖直段连接，且下段外侧倾斜设置，以增大熔体表面氧元素的挥发量；石墨中轴，石墨中轴设置在坩埚的下方，石墨中轴中心设置有合金中轴，合金中轴下方安装有升降装置，且合金中轴内部通入有冷却水，以在拉晶过程中通过升降装置控制合金中轴的位置，来控制坩埚的温度，减少氧元素的产生。本发明通过改进热屏及中轴的结构，在保证大尺寸单晶硅长晶稳定的情况下，将单晶硅棒中的氧含量控制在5ppma以下。

公开(公告)号：CN118639316A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202410856368.1

申请日：2024-06-28

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 王忠保 ,  芮阳 ,  王黎光 ,  熊欢 ,  赵娜 ,  李俊丽 ,  倪浩然 ,  白园

IPC: C30B15/30

Abstract: 本发明的半导体生长炉用取晶装置，属于单晶炉取晶装置领域，包括承载组件，承载组件包括夹持部、承重部，夹持部包括支撑竖板、连接臂、弧形夹持件，承重部包括：托架，连接臂的一端与所述支撑竖板连接，连接臂的另一端与所述弧形夹持件连接，位于同一水平面的所述弧形夹持件相对设置，所述托架与所述支撑竖板连接，当晶棒拉制完成后，将所述承载组件移动至取晶孔位置，籽晶提拉装置在籽晶绳的牵引下，将晶棒从上炉体内下降到取晶孔，晶棒从取晶孔的位置下降至托架上，当晶棒的底部与托架底部接触时，所述弧形夹持件将晶棒卡紧，然后剪断籽晶绳，即可完成晶棒的取出，仅通过本发明的装置便可完成晶棒的取出，步骤简单，使用方便。

公开(公告)号：CN118441348A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410528275.6

申请日：2024-04-29

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 马英剑 ,  芮阳 ,  马成 ,  王黎光 ,  曹启刚 ,  杨少林 ,  张兴茂 ,  王刚 ,  王忠保 ,  白园 ,  赵娜

IPC: C30B15/26 ,  C30B29/06 ,  G01F23/292

Abstract: 本发明提供一种液口距测量方法及装置，属于单晶硅制备技术领域。包括如下步骤：获取双目相机到导流筒上沿的距离H1，及双目相机到导流筒倒影的距离H2；获取导流筒高度D1；获取热屏下沿到导流筒下沿的距离D2；根据双目相机到导流筒上沿的距离H1、双目相机到导流筒倒影的距离H2、导流筒高度D1以及热屏下沿到导流筒下沿的距离D2，通过计算公式计算得到液口距GAP，以导流筒为参考，利用双目相机测距原理来确定导流筒与硅溶液液面的距离，再根据导流筒与热屏之间的距离从而确定热屏到硅溶液液面的距离，即液口距，从而操作简单，无需控制籽晶的下降距离与热屏之间的关系，使得液口距的测量结果准确，精度高。