公开(公告)号：CN118928983A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202411210673.X

申请日：2024-08-30

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 王凯 ,  王黎光 ,  黄森 ,  芮阳 ,  曹启刚 ,  李俊丽 ,  白园 ,  赵娜

IPC: B65D25/10 ,  B65D25/02 ,  B65D21/036 ,  B65D81/02

Abstract: 本发明提供一种硅片周转箱及硅片周装箱的使用方法，涉及硅片盛放装置技术领域，包括第一防护组件、第二防护组件、第三防护组件，第一防护组件包括底座、防护箱体、顶盖，防护箱体位于底座上部，顶盖位于防护箱体的上部，第二防护组件、第三防护组件位于底座、防护箱体、顶盖形成容纳空腔内，硅片放置在第三防护组件内，底座与防护箱体的下部连接，防护箱体的上部与顶盖连接，第二防护组件的底部与底座接触，第三防护组件镶嵌在第二防护组件内，第二防护的顶部与顶盖接触，以通过第一防护组件、第二防护组件、第三防护组件相互进行支撑、借力对硅片进行逐级防护，防止硅片在转运过程中受外力影响，导致硅片损伤，进而使得硅片浪费减少。

公开(公告)号：CN213337262U

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN202022192342.1

申请日：2020-09-29

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 倪浩然 ,  祁海滨 ,  冉泽平 ,  谢国荣 ,  李金波 ,  王忠保 ,  王凯

IPC: G01N17/00

Abstract: 一种单晶硅检测样片择优腐蚀装置，包括腐蚀槽、腐蚀花篮、定位部件、盖板，腐蚀槽内壁的上部位置设有支撑台，腐蚀花篮设在腐蚀槽的内部，腐蚀花篮的两个短边搭接在支撑台上，腐蚀花篮的下端与腐蚀槽的底部相接触，腐蚀花篮长边的一侧侧壁与腐蚀槽的内壁不接触，腐蚀花篮的外壁与腐蚀槽之间留有间距，腐蚀花篮其余侧壁与腐蚀槽的内壁相接触，定位部件位于腐蚀花篮外壁与腐蚀槽内壁之间的间距之间，定位部件的两侧分别与腐蚀花篮的外壁及腐蚀槽的内壁卡接，将腐蚀花篮固定在腐蚀槽内，盖板设置在腐蚀槽的顶部；本实用新型配合腐蚀花篮设计专用的腐蚀槽，降低了腐蚀液单次使用量，并且腐蚀槽摆动过程中，腐蚀花篮可相对固定，从而稳定腐蚀过程。

公开(公告)号：CN213337009U

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN202022303934.6

申请日：2020-10-15

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 冉泽平 ,  谢国荣 ,  祁海滨 ,  倪浩然 ,  李金波 ,  王忠保 ,  王凯

IPC: G01N1/32 ,  G01N1/34

Abstract: 一种单晶硅检测样片混酸抛光清洗装置，包括混酸槽、酸液恒温部件、隔膜泵，酸液恒温部件包括酸液热交换组件、恒温组件，酸液热交换组件包括箱体，箱体内的顶部设有上部缓冲箱、箱体内的底部设置下部缓冲箱，箱体的内部设有恒温介质输送管，恒温介质输送管分别与下部缓冲箱、下部缓冲箱的内部连通，恒温组件分别与上部缓冲箱、下部缓冲箱的内部连通；本实用新型通过恒温组件可将温度一定的介质输送至恒温介质输送管，利用恒温介质与箱体内的混酸进行热交换，使混酸的温度处于恒定，通过隔膜泵的循环作用，使混酸槽内的混酸不断在混酸槽内进行循环，保证反应槽中的酸液反应温度，使混酸槽内混酸温度波动变小，从而保证单晶硅样片检测的稳定性。

公开(公告)号：CN213327941U

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN202022248141.9

申请日：2020-10-10

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 祁海滨 ,  冉泽平 ,  谢国荣 ,  倪浩然 ,  李金波 ,  王忠保 ,  王凯

IPC: C30B33/02 ,  G01N1/28

Abstract: 一种单晶硅检测样片专用石英舟，包括第一连接板、第二连接板、检测样片支撑杆、防变形固定件，第一连接板、第二连接板对向设置，检测样片支撑杆设置在第一连接板、第二连接板之间，检测样片支撑杆的两个端部分别与第一连接板、第二连接板相连接，检测样片支撑杆上设置有卡槽，检测样片支撑杆呈U形结构排列，防变形固定件设置在检测样片支撑杆的下方；本实用新型对石英舟结构进行优化设计，能够将检测样片竖直放置，防止检测样片向两侧偏倒，避免应力集中对处理效果造成影响，防变形固定件对检测样片支撑杆具有固定约束作用，在检测样片支撑杆热胀冷缩后，可以防止检测样片支撑杆发生变形，导致检测样片损毁及石英舟损伤的现象发生。