分离方法
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1516234A

    公开(公告)日:2004-07-28

    申请号:CN200310124240.4

    申请日:2003-12-29

    Abstract: 一种分离方法,包括步骤:依此次序形成金属膜、第一氧化物和含有氢的半导体膜;将支撑物粘接到含有该第一氧化物和该半导体膜的释放层,并从提供有该金属层的衬底通过物理方法分离粘接到该支撑物的该释放层。在分离方法中,进行热处理以便使半导体膜中含有的氢扩散,通过还原在金属膜和第一氧化物膜之间的表面边界处形成的第二氧化物来形成第三氧化物,并分离含有该第二氧化物和该第三氧化物的薄膜、含有该第二氧化物和该第三氧化物的薄膜与该金属膜之间的表面边界,或含有该第二氧化物和该第三氧化物的薄膜与该第一氧化物之间的表面边界。

    发光装置及其制作方法
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1492722A

    公开(公告)日:2004-04-28

    申请号:CN03158661.9

    申请日:2003-09-19

    CPC classification number: H01L51/5253 H01L27/3244 H01L2251/5315

    Abstract: 本发明通过采用能够形成叠层的含有氟树脂的膜作为保护元件不受湿气和氧气的影响的保护膜,跟常规的技术相比更容易防止发光元件的退化,因而可以达到提高发光元件可靠性的目的。本发明对含有氟树脂的膜的表面进行表面处理,使表面形状有凸凹结构,并通过控制含有氟树脂的膜中的氟树脂的含有量,使在含有氟树脂的膜上形成其他膜的叠层结构成为可能。在通过控制含有氟树脂的膜中的氟树脂的含有量,在含有氟树脂的膜上形成其他膜的叠层的情形中,通过溅射法按顺序用多个靶形成含有氟树脂的膜,其中多个靶用氟树脂和金属氧化物制成并具有不同含有率,由此控制膜中的氟树脂的含有量。

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