器件密封方法、器件密封装置和半导体产品的制造方法

    公开(公告)号:CN113517206A

    公开(公告)日:2021-10-19

    申请号:CN202110334362.4

    申请日:2021-03-29

    Abstract: 本发明提供精度良好地密封器件且使密封过程中的工件和密封材料的处理变得容易的器件密封方法、器件密封装置和半导体产品的制造方法。器件密封方法具备:第1密封过程,在该第1密封过程中,将密封片(S)和搭载有LED(11)的基板(10)收纳于腔室(29),以对腔室(29)的内部空间进行了减压的状态使密封片(S)接触于基板(10)的搭载有LED(11)的面,由此利用密封片(S)来覆盖LED(11);以及第2密封过程,该第2密封过程是在第1密封过程之后,通过提高腔室(29)的内部空间的压力,从而利用密封片(S)来密封LED(11)。

    图像传感器的制造方法以及在该方法中使用的层叠型耐热性保护带

    公开(公告)号:CN103779370A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201310498801.0

    申请日:2013-10-22

    Abstract: 本发明涉及图像传感器的制造方法以及在该方法中使用的层叠型耐热性保护带,所述制造方法可以实现优异的生产效率。本发明的制造方法包括:[工序A],在玻璃板的一个面上贴附具备第1基材层和在其一个面上层叠的第1粘合剂层的耐热性保护带,使得该第1粘合剂层位于该玻璃板侧;[工序B],将该玻璃板切割成规定的尺寸,得到贴附有该耐热性保护带的玻璃盖片;以及[工序C],在收纳有固态摄像元件的封装体的光接收面上设置该玻璃盖片,使得贴附有该耐热性保护带的一侧的面成为外侧。

    粘合带粘贴装置
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117995742A

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202311210412.3

    申请日:2023-09-19

    Abstract: 本发明提供一种能够对工件更加精度良好地粘贴粘合带的粘合带粘贴装置。具备:保持台(13),其保持工件(W)的被保持面(Wb);腔室(29),其收纳保持台(13),夹入粘贴构件(P)而被划分成下空间(H1)和上空间(H2);加热机构(73),其从非粘合面侧对粘贴构件(P)所具备的粘合带(PT)进行加热;以及粘贴单元(9),其在粘合带(PT)由加热机构(73)加热了的状态下,在下空间(H1)与上空间(H2)之间产生压差(Gs),利用该压差(Gs)将粘合带(PT)粘贴于工件(W)。

    半导体装置的制造方法、工件一体化装置、薄膜层叠体和半导体装置

    公开(公告)号:CN115719727A

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202210963971.0

    申请日:2022-08-11

    Abstract: 本发明提供半导体装置的制造方法、工件一体化装置、薄膜层叠体和半导体装置,在将半导体元件安装于基板来制造半导体装置时能在避免基板损伤的同时防止基板产生翘曲并能提高半导体装置的制造效率。具有安装于工件的半导体元件(7)被密封材料(9)密封的构造的半导体装置(11)的制造方法具备:工件载置过程,在该过程中,将工件载置于在承载件(1)上层叠用于保持工件的保持薄膜而成的薄膜层叠体的保持薄膜侧;元件安装过程,在该过程中,在被载置于薄膜层叠体的工件上安装半导体元件;密封过程,在该过程中,利用密封材料将安装于工件的半导体元件密封;以及脱离过程,在该过程中,使工件和被密封材料密封的半导体元件脱离薄膜层叠体。

    器件密封方法、器件密封装置和半导体产品的制造方法

    公开(公告)号:CN113471085A

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN202110334553.0

    申请日:2021-03-29

    Abstract: 本发明提供精度良好地密封器件且使密封过程中的工件和密封材料的处理变得容易的器件密封方法、器件密封装置和半导体产品的制造方法。该器件密封方法具备密封过程,在该密封过程中,对在基板(10)的搭载有LED(11)的LED搭载面附着密封片(S)而构成的密封件复合体(M)施加比大气压高的压力,从而利用密封片(S)来密封LED(11)。采用该结构,使用预先成为平坦的片状的密封片(S)来密封LED(11)。因而,能够提高在LED(11)的密封完成后的状态下密封了LED(11)的密封片(S)的平坦性。另外,由于能够对密封片(S)施加足够大的按压力(V1),因此能够将密封片(S)可靠地填充到LED(11)彼此间的间隙中。

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