芯材料和钎焊接头和凸块电极的形成方法

    公开(公告)号:CN109693054B

    公开(公告)日:2020-02-28

    申请号:CN201811242303.9

    申请日:2018-10-24

    摘要: 芯材料和钎焊接头和凸块电极的形成方法。提供软钎料镀覆层中的Sb均匀、Sb浓度比成为规定范围内的芯材料。芯材料在芯(12)表面镀覆覆膜有包含Sn和Sb的(Sn‑Sb)系软钎料合金,软钎料镀覆层(16)中的Sb以规定范围的浓度比率分布于软钎料镀覆层中,Sb以浓度比率为70.0~125.0%的规定范围分布于软钎料镀覆层中。软钎料镀覆层中的Sb均匀,因此在包括软钎料镀覆层中的内周侧、外周侧在内其整个区域Sb浓度比率处于规定范围。因此不会产生内周侧比外周侧先熔融,在内周侧与外周侧产生体积膨胀差而芯材料被弹飞的情况。软钎料镀覆层整体几乎均匀地熔融,因此不会产生由熔融时机的偏差而认为产生的芯材料的位置偏移,没有伴随着位置偏移等的电极间的短路等的担心。

    芯材料和半导体封装体和凸块电极的形成方法

    公开(公告)号:CN108172523B

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201711286173.4

    申请日:2017-12-07

    IPC分类号: H01L21/60

    摘要: 提供芯材料和半导体封装体和凸块电极的形成方法。该芯材料是将包含Sn和Bi的(Sn‑Bi)系软钎料合金在芯(12)的表面形成镀覆膜而得到的芯材料,其是软钎料镀覆层(16)中的Bi以规定范围的浓度比分布在软钎料镀覆层中的芯材料,是以Bi的浓度比在91.7~106.7%的规定范围内分布于软钎料镀覆层中的芯材料。软钎料镀覆层中的Bi是均匀的。因此,不会发生如下的情况:内周侧比外周侧更早发生熔融,在内周侧与外周侧产生体积膨胀差,使芯材料被弹飞。另外,软钎料镀覆层整体大致均匀地熔融,因此不会发生被认为是因熔融时机参差不齐而发生的芯材料的位置偏移,因此不存在伴随位置偏移等的电极间短路等担心。