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公开(公告)号:CN112447848A
公开(公告)日:2021-03-05
申请号:CN202010699618.7
申请日:2020-07-20
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/78 , H01L21/336 , H01L23/528 , H01L21/768
Abstract: 本公开提供了一种半导体器件,所述半导体器件包括:位于衬底上的层间介电层;填充所述层间介电层的第一沟槽的第一连接线,所述第一沟槽具有第一宽度;以及填充所述层间介电层的第二沟槽的第二连接线,所述第二沟槽具有大于所述第一宽度的第二宽度,并且所述第二连接线包括:覆盖所述第二沟槽的内侧壁的第一金属层,覆盖所述第二沟槽的底表面的阻挡层,以及位于所述第一金属层和所述阻挡层上的第二金属层,所述第一连接线和所述第一金属层包括第一金属,并且所述第二金属层包括不同于所述第一金属的第二金属。
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公开(公告)号:CN117894838A
公开(公告)日:2024-04-16
申请号:CN202311324255.9
申请日:2023-10-12
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/78
Abstract: 一种半导体器件包括:在衬底上的有源区;彼此间隔开的多个沟道层;在衬底上的栅极结构;在栅极结构的至少一侧的源极/漏极区;以及连接到源极/漏极区的接触插塞。接触插塞包括金属半导体化合物层和在金属半导体化合物层上的阻挡层。接触插塞包括位于金属半导体化合物层和阻挡层彼此直接接触的位置处的第一倾斜表面和第二倾斜表面。阻挡层包括朝向栅极结构突出的第一端和第二端。第一端和第二端位于比最上面的沟道层的上表面高的水平处。金属半导体化合物层的最上部位于比源极/漏极区的上表面高的水平处。
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公开(公告)号:CN101393904B
公开(公告)日:2012-08-08
申请号:CN200810176959.5
申请日:2008-05-16
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L23/522 , H01L21/768
Abstract: 本发明公开了一种包括层间导电接触的半导体器件及其形成方法,其中半导体器件包括:第一绝缘层,在半导体器件的下层接触区域上,第一绝缘层具有上表面;第一导电图案,在穿过第一绝缘层的第一开口中,第一导电图案的上部具有第一宽度,第一导电图案的上表面相对于第一绝缘层的上表面凹陷,从而第一导电图案的上表面相对于下层接触区域的高度小于第一绝缘层的上表面相对于下层接触区域的高度;以及第二导电图案,其接触第一导电图案的上表面,第二导电图案的下部具有小于第一宽度的第二宽度。
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公开(公告)号:CN100553188C
公开(公告)日:2009-10-21
申请号:CN200510078314.4
申请日:2005-02-02
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H04B7/0868 , H04B1/7107 , H04B7/0413 , H04B7/0678 , H04B7/0697 , H04B7/0845 , H04B7/0854 , H04L1/0631 , H04L1/0656 , H04L25/03006 , H04L2025/03426
Abstract: 本发明提供了一种用于在MIMO通信系统中接收信号的装置和方法。在所述信号接收方法中,以预定的第一方法来均衡在每一个接收天线处接收的第一接收信号。利用发射机中使用的多个扩展码来解扩展每一个已均衡的发射天线信号。为了误差校验,在解扩展的发射天线信号之中检测最强的发射天线信号,并以预定的第二方法来进行解码。将所校验的最强发射天线信号再现成干扰信号。通过从第一接收信号中减去干扰信号来产生第二接收信号并以第一方法来均衡该第二接收信号。对除了最强发射天线信号之外的已均衡的发射天线信号重复进行上述操作。
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公开(公告)号:CN101431049A
公开(公告)日:2009-05-13
申请号:CN200810184264.1
申请日:2008-05-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/768
CPC classification number: H01L21/76843 , H01L21/76846 , H01L21/76856 , H01L21/76862 , H01L21/76877 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L2224/03602 , H01L2224/05124 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/0104 , H01L2924/01041 , H01L2924/01042 , H01L2924/01044 , H01L2924/01045 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01072 , H01L2924/01073 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01076 , H01L2924/01077 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/04941 , H01L2924/19043 , H01L2924/3011 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明公开了包括扩散阻挡膜的半导体器件的形成方法。该扩散阻挡膜包括金属氮化物,该金属氮化物利用金属有机化学气相沉积工艺形成并部分地通过等离子体处理来处理。从而,扩散阻挡膜的电阻率能够被减小,并且扩散阻挡膜可以具有突出的阻挡特性。
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公开(公告)号:CN1662097A
公开(公告)日:2005-08-31
申请号:CN200510064098.8
申请日:2005-02-28
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H04W24/10 , H04L1/0026 , H04L1/0027 , H04W72/08 , Y02D70/1244 , Y02D70/25
Abstract: 提供一种用于在移动通信系统中在无线电信道上有效地发送信道质量信息的方法和装置。信道质量信息的报告周期根据与无线电信道多普勒频率有关的时变特性或信道质量信息的变化而自适应地改变。因此,信道质量信息被有效地发送。并且,不必要的频繁信息传输的减少也降低了上行干扰功率电平和用户设备(UE)的功耗。
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公开(公告)号:CN1619984A
公开(公告)日:2005-05-25
申请号:CN200410104745.9
申请日:2004-11-15
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H04L1/0027 , H04L1/0072 , H04W74/04
Abstract: 本发明公开了一种在包括UE和节点B的移动通信系统中,从UE将控制信息发送到节点B的方法,该UE和节点B发送和接收高速数据以及与其对应的控制信息。在这种方法中,仅在UE管理之下、从控制信息中提取可用的控制信息,并且重置对应于提取的各个控制信息的标识符。另外,从已重置的标识符中选择对应于用于进行数据传输的控制信息的标识符,并且发送所选的标识符。
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公开(公告)号:CN117810227A
公开(公告)日:2024-04-02
申请号:CN202310625143.0
申请日:2023-05-30
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/092 , H01L21/8238
Abstract: 半导体装置包括:衬底,其包括有源图案;沟道图案和源极/漏极图案,沟道图案和源极/漏极图案位于有源图案上,其中,沟道图案连接至源极/漏极图案;栅电极,其位于沟道图案上;以及栅极接触件,其连接至栅电极的顶表面,其中,栅极接触件包括与栅电极的顶表面直接接触的封盖层和位于封盖层上的金属层,其中封盖层和金属层包括相同的金属,金属层中的氧的浓度在约2at%至约10at%之间的范围内,并且封盖层中的氧的最大浓度在约15at%至约30at%之间的范围内。
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公开(公告)号:CN101312154A
公开(公告)日:2008-11-26
申请号:CN200810127762.2
申请日:2008-01-18
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/768 , H01L23/522 , H01L23/532 , H01L21/00
Abstract: 本发明提供一种半导体器件的制造方法。该方法包括提供具有导电图案的半导体衬底和在导电图案和半导体衬底上形成绝缘层。对绝缘层进行构图以形成露出一部分导电图案的开口。在开口的内壁和绝缘层的顶面上形成预扩散阻挡层。向预扩散阻挡层上提供氧原子以形成第一扩散阻挡层。在第一扩散阻挡层上形成金属层。金属层形成为填充由第一扩散阻挡层围绕的开口。本发明还提供通过该方法制造的半导体器件和用于制造该半导体器件的半导体集群设备。
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公开(公告)号:CN1697362A
公开(公告)日:2005-11-16
申请号:CN200510078314.4
申请日:2005-02-02
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H04B7/0868 , H04B1/7107 , H04B7/0413 , H04B7/0678 , H04B7/0697 , H04B7/0845 , H04B7/0854 , H04L1/0631 , H04L1/0656 , H04L25/03006 , H04L2025/03426
Abstract: 本发明提供了一种用于在MIMO通信系统中接收信号的装置和方法。在所述信号接收方法中,以预定的第一方法来均衡在每一个接收天线处接收的第一接收信号。利用发射机中使用的多个扩展码来解扩展每一个已均衡的发射天线信号。为了误差校验,在解扩展的发射天线信号之中检测最强的发射天线信号,并以预定的第二方法来进行解码。将所校验的最强发射天线信号再现成干扰信号。通过从第一接收信号中减去干扰信号来产生第二接收信号并以第一方法来均衡该第二接收信号。对除了最强发射天线信号之外的已均衡的发射天线信号重复进行上述操作。
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