公开(公告)号：CN119365635A

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202480002694.4

申请日：2024-01-19

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 平尾智则

IPC: C25D17/06 ,  C25D17/00 ,  C25D21/12 ,  C25D7/12

Abstract: 本发明实现能够应对供电位置不同的各种种类的基板的基板支架。基板支架(210)包括底板、和用于与底板一起夹持并保持基板的面板(230)。面板(230)具有中央开口(234a)及包围中央开口(234a)的框部件(234)。基板支架(210)包括接触部件(240)，该接触部件(240)具有以能够相对于框部件(234)移动的方式安装于框部件(234)的第一汇流条(242)、以及安装于第一汇流条(242)的供电接触件(243)。

公开(公告)号：CN119300952A

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202380043716.7

申请日：2023-03-22

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 铃木佑多 ,  高桥太郎 ,  渡边和英 ,  高田畅行

IPC: B24B37/30 ,  B24B37/32 ,  B24B41/06 ,  B24B49/10 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明关于研磨装置。研磨装置具备三轴传感器，其与头支臂(20)相邻配置，且检测关于作用于研磨头(1)的三轴方向的力的信息。

公开(公告)号：CN119278298A

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202380040489.2

申请日：2023-12-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 对马拓也

IPC: C25D17/00 ,  C25D5/08 ,  C25D17/02 ,  C25D17/06 ,  C25D21/00

Abstract: 本发明提供镀覆液供给装置以及维护方法，能够尽可能防止粉体的飞散并进行维护。用于供给使用于镀覆的镀覆液的镀覆液供给装置具备：料斗框体，其收容料斗，并且在使送料器的一部分向外部突出的状态下收容上述送料器，该料斗框体能够将状态变更为上述送料器的上述一部分收容在箱框体内的连接状态、和上述送料器的上述一部分位于上述箱框体外的分离状态；和覆盖部件，其安装于上述料斗框体，能够将状态变更为收容上述送料器的上述一部分的覆盖状态、和使上述送料器的上述一部分露出的露出状态。

公开(公告)号：CN119213222A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202380040648.9

申请日：2023-05-25

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 本田修一郎 ,  笠谷哲司 ,  池田隼人 ,  渡次圭 ,  菊池日向 ,  石见光隆 ,  铃木朝纪

IPC: F04D13/08 ,  F04D7/02 ,  F04D13/14 ,  F17C13/00

Abstract: 干燥方法为，将冲洗气体导入泵装置(100A)的吸入容器(2A)内，一边使冲洗气体从吸入容器(2A)内的潜入式泵(1A)绕过，一边使冲洗气体从吸入容器(2A)内的流路切换装置(5A)通过，将从流路切换装置(5A)通过的冲洗气体导入泵装置(100B)的吸入容器(2B)内，一边使冲洗气体从吸入容器(2B)内的潜入式泵(1B)绕过，一边使冲洗气体从吸入容器(2B)内的流路切换装置(5B)通过。

公开(公告)号：CN119212826A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202380039820.9

申请日：2023-03-08

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 吉田笃史 ,  石井游 ,  中西正行

IPC: B24B37/005 ,  B24B7/00 ,  B24B21/00 ,  B24B37/013 ,  B24B37/10 ,  B24B37/32 ,  B24B41/06 ,  B24B49/10 ,  B24B49/12 ,  H01L21/304

Abstract: 基板研磨装置是对基板的处理面进行研磨处理的基板研磨装置，具备：配置有第一磨削部件和最大径比所述第一磨削部件大的第二磨削部件的磨削组件；包含研磨部件的研磨组件；及控制所述磨削组件和所述研磨组件的控制装置，所述控制装置以通过所述第一磨削部件对所述处理面的一部分进行第一磨削、及通过所述第二磨削部件对所述处理面进行第二磨削的方式控制所述磨削组件，并以对进行了所述第一磨削和所述第二磨削的所述处理面进行研磨的方式控制所述研磨组件。

公开(公告)号：CN119183503A

公开(公告)日：2024-12-24

申请号：CN202380040230.8

申请日：2023-05-15

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 本田修一郎 ,  笠谷哲司 ,  池田隼人 ,  渡次圭 ,  菊池日向 ,  石见光隆

IPC: F04D15/00 ,  F04B49/035 ,  F04D7/02

Abstract: 本发明涉及在移送液化气的用途中所使用的潜入式泵的起动方法。本方法中，将配置于泵装置(100A)的吸入容器(2A)内的潜入式泵(1A)起动，将液化气通过吸入容器(2A)内的流路切换装置(5A)移送到泵装置(100B)的吸入容器(2B)，一边使液化气绕过配置于吸入容器(2B)内的潜入式泵(1B)，一边使液化气从吸入容器(2B)内的流路切换装置(5B)通过，然后，使潜入式泵(1B)起动。

公开(公告)号：CN119013438A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202380034058.5

申请日：2023-01-06

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 山崎岳

IPC: C25D17/00 ,  C25D7/00 ,  C25D17/28 ,  H05K3/18

Abstract: 在镀覆装置中除去基板保持架的清洗后残留的清洗液。镀覆装置具备：基板保持架，其保持基板，并具有用于对上述基板进行供电的电接点；保持架清洗槽，其用于在上述基板保持架未保持上述基板时清洗上述基板保持架；保持架干燥槽，其用于使由上述保持架清洗槽清洗后的上述基板保持架干燥；以及搬运装置，其用于在上述保持架清洗槽与上述保持架干燥槽之间搬运上述基板保持架。

公开(公告)号：CN118848801A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202410440797.0

申请日：2024-04-12

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 黄竟维 ,  大滝裕史 ,  中村贵正 ,  一瀬翔

IPC: B24B37/005 ,  H01L21/67 ,  B24B49/10 ,  B24B37/10 ,  B24B37/34 ,  B24B27/00 ,  B24B37/04

Abstract: 本发明提供一种信息处理装置、推导装置、机器学习装置、及其方法，能够迅速且准确地对基板处理装置的状态进行诊断。信息处理装置包括：基准信息获取部，获取成为基准的相当于基板处理装置的基准装置中的基准处理片数及基准装置信息以作为基准信息；比较信息获取部，获取成为基准装置的比较对象的相当于基板处理装置的比较装置中的比较处理片数及比较装置信息以作为比较信息；以及诊断处理部，基于基准信息及比较信息，生成包含基准处理片数与比较处理片数产生差异时的原因、及用于消除差异的对策中的至少一个的诊断信息。

公开(公告)号：CN110453272B

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN201910343909.X

申请日：2019-04-26

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 社本光弘 ,  下山正

IPC: C25D17/12 ,  C25D17/00 ,  C25D5/08

Abstract: 本发明提供一种减少终端效应的电镀装置。提供一种电镀装置，这样的电镀装置具有：基板支架，用于保持作为电镀对象的基板；电接点，设置于上述基板支架以使电流流入基板；以及与上述基板支架对置配置的多个阳极，上述多个阳极分别为细长形状，上述多个阳极分别配置为长边方向与被保持于上述基板支架的基板的表面平行且上述阳极的每一个阳极的至少一个长边方向的前端朝向上述基板支架的上述电接点。

公开(公告)号：CN118843721A

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202380021794.7

申请日：2023-08-23

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 关正也 ,  富田正辉 ,  山田展也

IPC: C25D17/00 ,  C25D7/12 ,  C25D21/04 ,  H01L21/67

Abstract: 镀敷装置包括：基板搬运室(701)；风扇过滤单元(408)，配置于基板搬运室(701)的上方；镀敷室(401)，配置于基板搬运室(701)的侧面；排气室(702)，配置于基板搬运室(701)的下方；分隔部件(720)，将基板搬运室(701)和排气室(702)之间分隔；以及绕行流路(730)，以绕行分隔部件(720)的方式将基板搬运室(701)和排气室(702)连通，镀敷室(401)具有：供给口(404)，用于将通过风扇过滤单元(408)供给至基板搬运室(701)的气体供给至镀敷室(401)；以及排出口(405)，用于将供给至镀敷室(401)的气体向外部排出，排气室(702)具有排气口(703)，该排气口(703)用于将经由绕行流路(730)供给至排气室(702)的气体向外部排出。