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公开(公告)号：CN112746307B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202011163299.4
申请日：2020-10-27
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 山崎岳
IPC: C25D17/10
Abstract: 本发明提供的阳极组装体能够将阳极从电镀槽容易地上拉。阳极组装体(30)具备阳极构造体(35)和阳极支架(40)，阳极构造体(35)具备阳极(31)和供电部件(37)，阳极支架(40)具备：具有供阳极构造体(35)配置的空间(45)的阳极支承框(43)、导电棒(50)以及安装于导电棒(50)的端部的供电电极(55)；供电部件(37)的一端固定于阳极(31)，供电部件(37)的另一端以能够取下的方式固定于导电棒(50)。阳极支承框(43)具有被阳极构造体(35)的下端插入的定位引导部(47)。阳极组装体(30)构成为在将供电部件(37)从导电棒(50)取下时，能够将阳极构造体(35)从阳极支架(40)分离并从电镀槽(10)上拉。
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公开(公告)号：CN112746307A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202011163299.4
申请日：2020-10-27
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 山崎岳
IPC: C25D17/10
Abstract: 本发明提供的阳极组装体能够将阳极从电镀槽容易地上拉。阳极组装体(30)具备阳极构造体(35)和阳极支架(40)，阳极构造体(35)具备阳极(31)和供电部件(37)，阳极支架(40)具备：具有供阳极构造体(35)配置的空间(45)的阳极支承框(43)、导电棒(50)以及安装于导电棒(50)的端部的供电电极(55)；供电部件(37)的一端固定于阳极(31)，供电部件(37)的另一端以能够取下的方式固定于导电棒(50)。阳极支承框(43)具有被阳极构造体(35)的下端插入的定位引导部(47)。阳极组装体(30)构成为在将供电部件(37)从导电棒(50)取下时，能够将阳极构造体(35)从阳极支架(40)分离并从电镀槽(10)上拉。
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公开(公告)号：CN113249757B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202110178615.3
申请日：2021-02-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种电镀方法，以能够尽早检测基板支架的泄漏，使基板再利用为技术课题。在该电镀方法中，使纯水接触密封件的密封部分，上述密封件防止保持基板的基板支架的触头与电镀液接触，在使上述密封部分接触纯水后到上述基板接触药液为止的期间，基于配置于上述基板支架的内部的泄漏检测用电极有无短路来检测上述密封件的泄漏。
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公开(公告)号：CN113249757A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110178615.3
申请日：2021-02-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种电镀方法，以能够尽早检测基板支架的泄漏，使基板再利用为技术课题。在该电镀方法中，使纯水接触密封件的密封部分，上述密封件防止保持基板的基板支架的触头与电镀液接触，在使上述密封部分接触纯水后到上述基板接触药液为止的期间，基于配置于上述基板支架的内部的泄漏检测用电极有无短路来检测上述密封件的泄漏。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109537032A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811109882.X
申请日：2018-09-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 镀覆装置具有：镀覆槽；基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；阳极，该阳极用于在与所述基板之间产生电场；以及至少一个电场遮蔽体，该至少一个电场遮蔽体用于遮蔽所述基板保持架和所述电场的一部分或者全部，所述电场遮蔽体具有使所述基板与所述阳极之间的电场穿过的开口部，并且，所述电场遮蔽体构成为能够独立地调整所述开口部的第一方向上的开口尺寸以及第二方向上的开口尺寸。
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公开(公告)号：CN118401711B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202280046514.3
申请日：2022-12-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C25D17/06
Abstract: 本公开提供一种构成为用于将第一保持件与第二保持件相互固定的机构能够以不接触的方式操作的基板保持器。本公开所涉及的基板保持器具备：第一保持件；第二保持件，用于与第一保持件一起夹入并保持基板；卡合部件，设置于第一保持件和第二保持件中的一方；以及被卡合部件，固定于第一保持件和第二保持件中的另一方，卡合部件构成为具有磁铁，通过作用于磁铁的磁力而能够在锁定位置与解锁位置之间移动，上述锁定位置是卡合部件与被卡合部件卡合而将第一保持件与第二保持件相互固定的位置，上述解锁位置是卡合部件与被卡合部件的卡合被解除而将第一保持件与第二保持件的固定解除的位置。
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公开(公告)号：CN118401711A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202280046514.3
申请日：2022-12-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C25D17/06
Abstract: 本公开提供一种构成为用于将第一保持件与第二保持件相互固定的机构能够以不接触的方式操作的基板保持器。本公开所涉及的基板保持器具备：第一保持件；第二保持件，用于与第一保持件一起夹入并保持基板；卡合部件，设置于第一保持件和第二保持件中的一方；以及被卡合部件，固定于第一保持件和第二保持件中的另一方，卡合部件构成为具有磁铁，通过作用于磁铁的磁力而能够在锁定位置与解锁位置之间移动，上述锁定位置是卡合部件与被卡合部件卡合而将第一保持件与第二保持件相互固定的位置，上述解锁位置是卡合部件与被卡合部件的卡合被解除而将第一保持件与第二保持件的固定解除的位置。
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公开(公告)号：CN109537032B
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN201811109882.X
申请日：2018-09-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 镀覆装置具有：镀覆槽；基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；阳极，该阳极用于在与所述基板之间产生电场；以及至少一个电场遮蔽体，该至少一个电场遮蔽体用于遮蔽所述基板保持架和所述电场的一部分或者全部，所述电场遮蔽体具有使所述基板与所述阳极之间的电场穿过的开口部，并且，所述电场遮蔽体构成为能够独立地调整所述开口部的第一方向上的开口尺寸以及第二方向上的开口尺寸。
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