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公开(公告)号：CN118773706A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410807892.X
申请日：2020-02-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及密封件。用于防止由于密封唇向内侧倾倒而导致基板挠曲或者产生对基板的损伤。作为一个实施方式，公开一种基板保持件，其为具有开口的基板保持件，基板保持件具备：密封件；以及密封件支承部，其具有密封件支承面且设置于开口的外侧周围，密封件具备密封主体和密封唇，密封件支承面的至少一部分具有使密封件支承面的内侧端部接近基板应处的平面那样的倾斜角，密封件支承面的内侧端部位于比密封唇靠内侧。
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公开(公告)号：CN111593395B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202010102286.X
申请日：2020-02-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及基板保持件以及具备该基板保持件的镀敷装置。用于防止由于密封唇向内侧倾倒而导致基板挠曲或者产生对基板的损伤。作为一个实施方式，公开一种基板保持件，其为具有开口的基板保持件，基板保持件具备：密封件；以及密封件支承部，其具有密封件支承面且设置于开口的外侧周围，密封件具备密封主体和密封唇，密封件支承面的至少一部分具有使密封件支承面的内侧端部接近基板应处的平面那样的倾斜角，密封件支承面的内侧端部位于比密封唇靠内侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111593395A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010102286.X
申请日：2020-02-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及基板保持件以及具备该基板保持件的镀敷装置。用于防止由于密封唇向内侧倾倒而导致基板挠曲或者产生对基板的损伤。作为一个实施方式，公开一种基板保持件，其为具有开口的基板保持件，基板保持件具备：密封件；以及密封件支承部，其具有密封件支承面且设置于开口的外侧周围，密封件具备密封主体和密封唇，密封件支承面的至少一部分具有使密封件支承面的内侧端部接近基板应处的平面那样的倾斜角，密封件支承面的内侧端部位于比密封唇靠内侧。
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公开(公告)号：CN113249757B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202110178615.3
申请日：2021-02-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种电镀方法，以能够尽早检测基板支架的泄漏，使基板再利用为技术课题。在该电镀方法中，使纯水接触密封件的密封部分，上述密封件防止保持基板的基板支架的触头与电镀液接触，在使上述密封部分接触纯水后到上述基板接触药液为止的期间，基于配置于上述基板支架的内部的泄漏检测用电极有无短路来检测上述密封件的泄漏。
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公开(公告)号：CN113249757A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110178615.3
申请日：2021-02-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种电镀方法，以能够尽早检测基板支架的泄漏，使基板再利用为技术课题。在该电镀方法中，使纯水接触密封件的密封部分，上述密封件防止保持基板的基板支架的触头与电镀液接触，在使上述密封部分接触纯水后到上述基板接触药液为止的期间，基于配置于上述基板支架的内部的泄漏检测用电极有无短路来检测上述密封件的泄漏。
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公开(公告)号：CN118401711B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202280046514.3
申请日：2022-12-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C25D17/06
Abstract: 本公开提供一种构成为用于将第一保持件与第二保持件相互固定的机构能够以不接触的方式操作的基板保持器。本公开所涉及的基板保持器具备：第一保持件；第二保持件，用于与第一保持件一起夹入并保持基板；卡合部件，设置于第一保持件和第二保持件中的一方；以及被卡合部件，固定于第一保持件和第二保持件中的另一方，卡合部件构成为具有磁铁，通过作用于磁铁的磁力而能够在锁定位置与解锁位置之间移动，上述锁定位置是卡合部件与被卡合部件卡合而将第一保持件与第二保持件相互固定的位置，上述解锁位置是卡合部件与被卡合部件的卡合被解除而将第一保持件与第二保持件的固定解除的位置。
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公开(公告)号：CN118401711A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202280046514.3
申请日：2022-12-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C25D17/06
Abstract: 本公开提供一种构成为用于将第一保持件与第二保持件相互固定的机构能够以不接触的方式操作的基板保持器。本公开所涉及的基板保持器具备：第一保持件；第二保持件，用于与第一保持件一起夹入并保持基板；卡合部件，设置于第一保持件和第二保持件中的一方；以及被卡合部件，固定于第一保持件和第二保持件中的另一方，卡合部件构成为具有磁铁，通过作用于磁铁的磁力而能够在锁定位置与解锁位置之间移动，上述锁定位置是卡合部件与被卡合部件卡合而将第一保持件与第二保持件相互固定的位置，上述解锁位置是卡合部件与被卡合部件的卡合被解除而将第一保持件与第二保持件的固定解除的位置。
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