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公开(公告)号：CN1391218A
公开(公告)日：2003-01-15
申请号：CN02141396.7
申请日：2002-06-11
申请人： 株式会社三丰
CPC分类号： G01B11/026 , G01B11/303 , G11B7/08511
摘要： 控制装置25的焦点识别装置35控制致动驱动器38，由致动器12使物镜3沿着光轴方向振动。振动时，信号识别装置46调查来自信号发生装置27的聚焦误差信号的输出，若有信号，则判断为存在工件。如果有工件，焦点识别装置35通过致动器12使物镜3沿着光轴移动，参考聚焦误差信号和来自位置检测装置49的位置信号识别焦点位置，使物镜3移动到焦点位置来进行聚焦。
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公开(公告)号：CN105705940B
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201380080604.5
申请日：2013-11-06
发明人： 高木力
IPC分类号： G01N21/95
CPC分类号： G01N21/95 , G01B11/14 , G01B11/303 , G01N2201/101
摘要： 提供填胶的连接部检查方法，对沿着胎圈芯(52)的外周呈环状粘贴的带状的填胶(53)的两端面(531、532)的连接状态进行检查。填胶的连接部检查方法包含如下工序：利用光学传感器(33A、33B)沿着填胶(53)的切线方向遍及规定的扫描范围扫描填胶(53)的侧面中两端面(531、532)的附近的部分，取得光学传感器(33A、33B)与填胶(53)的侧面之间的距离的数据；一边沿着填胶(53)的径向变更光学传感器(33A、33B)的位置一边重复取得数据的工序；以及比较取得的数据和预先设定的基准数据。
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公开(公告)号：CN104981679B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201480007323.1
申请日：2014-02-04
申请人： 梅西耶-道提有限公司
CPC分类号： G01B11/16 , B64D2045/008 , G01B11/303 , G01B11/306
摘要： 一种用于探测名义上直的元件变形的工具，所述工具包括具有第一直边缘的第一本体元件，用于对着所述直的元件偏置第一直边缘的装置，以及布置成照亮直元件和第一本体元件的第一直边缘之间任何空间的光源。
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公开(公告)号：CN109661559A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201780054088.7
申请日：2017-07-10
申请人： 科磊股份有限公司
CPC分类号： G01B11/272 , G01B11/303 , G01B2210/56 , G01N21/6489 , G01N21/9501 , G03F7/70633
摘要： 本发明提供利用光学微腔探针以依遵循高体积度量要求的方式通过所述光学微腔探针之间的近场相互作用来映射晶片表面构形的系统及方法。所述光学微腔探针通过参考辐射与微腔及晶片特征中的辐射的近场相互作用之间的干扰信号的移位来检测晶片上的特征，例如装置特征及度量目标特征。各种照明及检测配置提供用于相对于其准确度及灵敏度来增强光学度量测量的快速且敏感的信号。所述光学微腔探针可相对于所述晶片而在受控高度及位置处被扫描，且提供有关装置特征与目标特征之间的空间关系的信息。
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公开(公告)号：CN108895991A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810782920.1
申请日：2018-07-17
申请人： 上海宝钢工业技术服务有限公司
IPC分类号： G01B11/30
CPC分类号： G01B11/303
摘要： 本发明公开了一种冷轧板材表面粗糙度在线检测传感器及系统，本传感器中光源的全波段光线经起偏器、压电陶瓷调焦模块照射至参考臂及被检测对象，由线阵相机获取线阵干涉光，线阵干涉光经干涉信号解调器得到被测对象的被测面形貌，被测面形貌由信号处理模块处理后得到粗糙度数据。本系统的长行程升降单元设于支撑底座并且连接升降平台，短行程升降单元设于升降平台顶面，传感器和激光测距仪设于短行程升降单元顶面，PLC控制器通过升降伺服驱动器控制长行程和短行程升降单元的升降，传感器和激光测距仪检测信号传输至智能终端，智能终端与PLC控制器双向通讯连接。本传感器及系统避免钢板运动对粗糙度检测的影响，提高检测精度，满足在线准确检测要求。
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公开(公告)号：CN108780764A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201680083292.7
申请日：2016-01-13
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N21/21 , G01B11/02 , G01B11/06 , G01B11/30 , G01B11/303 , G01N21/9501 , G01N2021/399 , G01N2021/8845 , G01N2021/8848 , G03F7/70608 , G03F7/70625
摘要： 本发明揭示一种基于正规化信号及反射总强度来确定例如晶片上的层的厚度、表面粗糙度、材料浓度，及/或临界尺寸等值的系统。光源将光束引导于所述晶片的表面处。传感器接收经反射光束且提供至少一对偏振通道。通过控制器接收来自所述偏振通道的所述信号，所述控制器正规化一对所述信号之间的差异，以产生正规化结果。通过用所述系统的模型化分析所述信号来确定所述晶片的所述值。
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公开(公告)号：CN108759731A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810807420.9
申请日：2018-07-21
申请人： 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司
发明人： 徐亚维
IPC分类号： G01B11/30
CPC分类号： G01B11/303
摘要： 本发明公开了一种竖直板体的竖直平面红外线光电检测机构，包括门形架，所述门形架包括上水平板，上水平板的底面的左右两侧固定有竖直板，所有竖直板的底面固定在下底板的顶面上；所述下底板的顶面的前部和后部均固定有支撑竖直板，至少两个水平螺杆的前后两端均通过轴承铰接在对应的支撑竖直板上，后方的支撑竖直板的后壁面上固定有主移动电机，安装块的顶面中部固定有中部吸附固定板，中部吸附固定板上成型有多个吸附通孔。本发明可以自动将竖直板体吸附固定，使得竖直板体的待侧竖直面靠近红外线处，通过两个移动块沿着竖直面进行高低移动，通过红外线竖直向下移动时，其是否被竖直壁面处的不平整部分遮挡来检测其是否平整。
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公开(公告)号：CN108731590A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810274713.5
申请日：2018-03-29
申请人： 松下知识产权经营株式会社
CPC分类号： G01B11/303 , B41M3/003 , B41M5/0047 , B41M5/0064 , G01B11/00 , G01B11/24 , G01M13/00 , G06T7/62 , G06T2207/10024 , H01L51/0005 , B41J2/01
摘要： 提供一种液滴测定方法、液滴测定装置及器件制造方法、制造装置，在仅通过来自测定对象的液滴表面的光反射量得不到充分的亮度对比度的情况下，不使透镜的数值孔径(NA)等变化而提高亮度对比度。液滴测定装置包括：测定台，其在表面具有凹部，并且保持透光性的样品基板；摄像部，其向表面形成了液滴的上述样品基板上照射光，测定来自上述样品基板以及上述液滴的反射光的光量；以及测定控制部，其基于上述摄像部测定的上述反射光的光量的亮度信息，求出上述液滴的体积或者表面形状，上述样品基板的厚度大于上述光的波长并且为上述液滴的焦距以下。
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公开(公告)号：CN108573889A
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201810178283.7
申请日：2018-03-05
申请人： 株式会社迪思科
发明人： 清野敦志
CPC分类号： H01L22/12 , B24B7/228 , B24B27/0023 , B24B27/0076 , B24B41/005 , B24B41/06 , B24B49/12 , G01B11/303
摘要： 提供晶片的起伏检测方法和磨削装置，在使用磨削装置对晶片进行磨削的情况下，不用将晶片从磨削装置取出利用其他测量装置进行起伏的测量，防止用于加工的工序数增加。一种晶片的起伏检测方法，其中，该晶片的起伏检测方法具有如下的步骤：保持步骤，将晶片(W)保持在保持工作台(400)上；接触步骤，使平坦的透明板(50)与保持在保持工作台(400)上的晶片(W)接触；以及照射步骤，从透明板(50)侧照射光，通过在照射步骤中产生的干涉条纹(R)来检测晶片(W)的起伏。
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公开(公告)号：CN108548505A
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201810283333.8
申请日：2018-04-02
申请人： 上海工程技术大学
IPC分类号： G01B11/30
CPC分类号： G01B11/303
摘要： 本发明涉及一种自动化激光地铁轨道波浪形磨损的检测设备，该检测设备包括：机械结构组件：包括纵梁、设置在纵梁两端的左侧架和右侧架以及设置在纵梁上的T型导轨；传动组件：包括设置在纵梁内部的步进电机以及与步进电机连接的同步轮；测量组件：包括设置上位机、在T型导轨上且通过同步轮传动滑动的滑块以及设置在滑块上的激光测距传感器，所述的激光测距传感器正对钢轨设置，所述的上位机分别与激光测距传感器和步进电机连接，与现有技术相比，本发明具有无需手动、检测效率高、实时检测、精度高、重量轻等优点。
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