垂直型晶体管、包括其的反相器及垂直型半导体器件

    公开(公告)号:CN113410304A

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN202110280227.6

    申请日:2021-03-16

    Abstract: 示例实施方式提供了垂直型晶体管、包括其的反相器和包括其的垂直型半导体器件。垂直型晶体管包括:基板;提供在基板上的第一源/漏电极层;第二源/漏电极层,提供在第一源/漏电极层之上;第一栅电极层,提供在第一源/漏电极层和第二源/漏电极层之间;穿过第一栅电极层的第一栅绝缘膜;孔,穿过第二源/漏电极层、第一栅绝缘膜和第一源/漏电极层;以及提供在该孔的侧面上的第一沟道层,其中第一沟道层可以包括2D半导体。

    配置成保护光掩模的表膜、包括该表膜的掩模版、和制造该表膜的方法

    公开(公告)号:CN109324474A

    公开(公告)日:2019-02-12

    申请号:CN201810722896.2

    申请日:2018-07-04

    CPC classification number: G03F1/62 G03F1/64 G03F7/0035

    Abstract: 公开配置成保护光掩模的表膜、包括该表膜的掩模版、和制造该表膜的方法。所述表膜配置成保护光掩模免受外部污染物并且可包括金属催化剂层和在所述金属催化剂层上的包括2D材料的表膜膜片,其中所述金属催化剂层支撑所述表膜膜片的边缘区域且不支撑所述表膜膜片的中央区域。所述金属催化剂层可在基底上,使得所述基底和所述金属催化剂层共同支撑所述表膜膜片的边缘区域且不支撑所述表膜膜片的中央区域。所述表膜可基于如下形成:在所述金属催化剂层生长所述2D材料和蚀刻支撑所形成的表膜膜片的中央区域的所述金属催化剂层的内部区域。

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