静电电容式振动传感器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101785325A

    公开(公告)日:2010-07-21

    申请号:CN200980100206.9

    申请日:2009-02-18

    CPC classification number: H04R19/005 H04R2201/003

    Abstract: 一种静电电容式振动传感器。在硅基板(32)上贯通表面及背面而形成有贯通孔(37)。覆盖贯通孔(37)而在硅基板(32)的上表面形成振动电极板(34),在振动电极板(34)之上隔着气隙(35)而形成固定电板(36)。在固定电极板(36)中与振动电极板(34)相对的区域,在该区域内的外周部设有音响孔(43b),其比在该区域内的外周部以外设置的音响孔(43a)的开口面积小。这些音响孔(43a、43b)无论其开口面积大小如何,都以一定的间距有规则地排列。

    静电电容式振动传感器
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101785325B

    公开(公告)日:2013-07-17

    申请号:CN200980100206.9

    申请日:2009-02-18

    CPC classification number: H04R19/005 H04R2201/003

    Abstract: 一种静电电容式振动传感器。在硅基板(32)上贯通表面及背面而形成有贯通孔(37)。覆盖贯通孔(37)而在硅基板(32)的上表面形成振动电极板(34),在振动电极板(34)之上隔着气隙(35)而形成固定电板(36)。在固定电极板(36)中与振动电极板(34)相对的区域,在该区域内的外周部设有音响孔(43b),其比在该区域内的外周部以外设置的音响孔(43a)的开口面积小。这些音响孔(43a、43b)无论其开口面积大小如何,都以一定的间距有规则地排列。

Patent Agency Ranking