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公开(公告)号：CN117223216A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202280031248.7
申请日：2022-06-01
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H03H9/17
摘要： 提供一种具有含有钪的氮化铝膜的弹性波装置，其中，不易产生膜的翘曲、剥落且不易产生压电特性的劣化。弹性波装置(1)具备含有钪的氮化铝膜(ScAlN膜)(3)和设置在ScAlN膜(3)上的电极，ScA1N膜(3)在将进行椭圆近似而求出的短径侧设为粒径，并对进行了面积加权平均的粒径计算出平均粒径时，在柱状生长的相邻的晶粒(11)与晶粒(12)之间、或者在晶体取向不同的晶粒(11)与晶粒(12)之间，具有包括全部晶粒的平均粒径的1/2以下的微小粒子(13a、13b)的微小粒子群，微小粒子群中的晶粒的个数为ScAlN膜(3)中的全体的晶粒的个数的50％以上。
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公开(公告)号：CN117083801A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202280025235.9
申请日：2022-03-30
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 木村哲也
IPC分类号： H03H9/25
摘要： 提高设计自由度。弹性波装置具备：支承构件，其具备在第一方向上具有厚度的支承基板；压电层，其设置在支承构件的第一方向上；以及多个谐振器，其分别具有设置在压电层的第一方向上的功能电极。在支承构件，在沿第一方向俯视时与多个谐振器的功能电极的至少一部分重叠的位置设置有多个空间部，在支承构件，在沿第一方向俯视时与空间部不重叠的位置设置有与至少一个空间部连通的引出部，至少一个引出部与至少两个空间部连通，在压电层设置有贯通孔，该贯通孔贯穿在沿第一方向俯视时与引出部重叠的位置的压电层。
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公开(公告)号：CN115428329B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202180029585.8
申请日：2021-04-28
申请人： 株式会社村田制作所
摘要： 目的：提供包括腔部但压电膜不易发生破裂的弹性波器件。解决方案：弹性波器件(1)包括由铌酸锂或钽酸锂制成的压电膜(2)，以及在与压电膜(2)的厚度方向相交的方向上彼此面对的第一电极指(3)和第二电极指(4)。当压电膜(2)的平均厚度为d，并且第一电极指(3)和第二电极指(4)的中心之间的距离为p时，d/p约为0.5或更小。第一电极指(3)和第二电极指(4)分别连接到第一母线(5)和第二母线(6)。第一母线(5)和第二母线(6)包括角部。当在俯视图中观察时，第一母线(5)和第二母线(6)的角部(5e)至(5h)和(6e)至(6h)中的至少一个角部在腔部(9)的外侧。
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公开(公告)号：CN116438739A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202180071572.7
申请日：2021-10-15
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H03H9/25
摘要： 提供一种弹性波装置，能够抑制在电介质膜产生裂纹及压电体层粘贴于电介质膜。弹性波装置(10)具备支承基板(12)、电介质膜(13)、压电层(14)和IDT电极(15)(激励电极)。压电层(14)具有第1、第2主面(14a、14b)。第2主面(14b)位于电介质膜(13)侧。在电介质膜(13)设置有空洞部(11a)。空洞部(11a)在俯视下与IDT电极(15)的至少一部分重叠。电介质膜(13)具有面向空洞部(11a)的侧壁面(13a)。侧壁面(13a)具有倾斜为越远离压电层(14)则空洞部(11a)的宽度变得越窄的倾斜部(13c)。倾斜部(13c)至少包括侧壁面(13c)中的压电层(14)侧的端部。在将倾斜部(13c)和压电层(14)的第2主面(14b)所成的角度设为倾斜角度α时，倾斜角度α为40°以上且80°以下。
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公开(公告)号：CN115804009A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202180049033.3
申请日：2021-07-07
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 木村哲也
IPC分类号： H03H9/25
摘要： 本发明提供一种能够抑制频率特性中的纹波的弹性波装置。本发明的弹性波装置(10)具备：支承基板；压电层(14)，设置在支承基板上；功能电极，设置在压电层(14)上；和第1电极膜(28)以及第2电极膜(29)，分别设置在压电层(14)上，彼此相互对置，且为彼此不同的电位。将在俯视下位于第1电极膜(28)与第2电极膜(29)之间的区域设为电极膜间区域(E3)，将在俯视下与第1电极膜(28)或第2电极膜(29)重叠的区域设为电极膜正下方区域(第1电极膜正下方区域(E1)、第2电极膜正下方区域(E2))，此时，电极膜间区域(E3)的至少一部分中的压电层(14)的厚度比电极膜正下方区域中的压电层(14)的厚度薄。
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公开(公告)号：CN109314503B
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN201780034713.1
申请日：2017-04-11
申请人： 株式会社村田制作所
摘要： 本发明提供一种耐湿性优异的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：支承基板(2)，在上表面设置有凹部(2c)；压电薄膜(4)，在支承基板(2)上设置为覆盖支承基板(2)的凹部(2c)；IDT电极(5)，在压电薄膜(4)设置于支承基板(2)侧的主面(4a)上；以及中间层(8)，在压电薄膜(4)设置于与支承基板(2)相反侧的主面(4b)上，构成有被支承基板(2)和压电薄膜(4)包围的空间(9)，IDT电极(5)配置为面向空间(9)，在压电薄膜(4)以及中间层(8)设置有从中间层(8)的与压电薄膜(4)相反侧的主面(8B)到达空间(9)的贯通孔(11、12)，在中间层(8)上还具备设置为覆盖贯通孔(11、12)的开口端的覆盖构件(19)。
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公开(公告)号：CN114467256A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080065605.2
申请日：2020-09-25
申请人： 株式会社村田制作所
摘要： 本发明提供一种即使在推进了小型化的情况下也能够提高Q值且能够控制杂散的位置、大小的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电层(2)，包含铌酸锂或钽酸锂；以及至少一对电极(3、4)，在与所述压电层(2)的厚度方向交叉的方向上对置，在将压电层(2)的厚度设为d并将至少一对电极(3、4)的相邻的电极的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，至少一对电极(3、4)具有长度方向，至少一对电极包含：第1电极(3)以及第2电极(4)，在与至少一对电极的长度方向正交的方向上的任意剖面中，剖面形状相互不同。
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