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公开(公告)号：CN115699573A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202180040136.3
申请日：2021-06-02
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种在位于腔上的压电膜不易产生裂纹的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，设置有压电膜(2)，在压电膜(2)上设置有IDT电极(10)，IDT电极(10)具有第1汇流条(5)以及第2汇流条(6)、至少一根第1电极指(3)、和至少一根第2电极指(4)，在将第1电极指(3)、第2电极指(4)在弹性波传播方向上重叠的区域设为交叉区域的情况下，在像下述的那样定义的点A2、点B2、点C2以及点D2处，在xa＜25μm、ya＜25μm、xb＜25μm、yb＜25μm、xc＜25μm、yc＜25μm、xd＜25μm、yd＜25μm时，点A2、B2、C2、D2全部处于腔的外侧。
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公开(公告)号：CN118975127A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202380031556.4
申请日：2023-03-31
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 弹性波装置具备多个弹性波谐振器。多个弹性波谐振器各自包含支承基板、设置在支承基板上的压电体层、以及设置在压电体层上的功能电极。支承基板具有空洞部，该空洞部设置于在作为支承基板和压电体层的层叠方向的第1方向上与功能电极的一部分重叠的位置。空洞部与开口连接，该开口位于支承基板的与压电体层对置的部分。多个弹性波谐振器包含第1谐振器、以及功能电极的交叉宽度比第1谐振器大的第2谐振器。在沿着第1方向以及作为弹性波谐振器内的电流流动的方向的第2方向的剖面中，若将构成空洞部中的与开口的第2方向的一端连接的部分的支承基板和压电体层所成的角设为锥角，则第1谐振器的锥角比第2谐振器的所述锥角大。
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公开(公告)号：CN118975128A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202380032808.5
申请日：2023-03-31
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置具备多个弹性波谐振器。多个弹性波谐振器各自包含支承基板、设置在支承基板上的压电体层、以及设置在压电体层上的功能电极。支承基板具有空洞部，该空洞部设置于在作为支承基板和压电体层的层叠方向的第1方向上与功能电极的一部分重叠的位置。空洞部与开口连接，该开口位于支承基板的与压电体层对置的部分。多个弹性波谐振器包含第1谐振器、以及功能电极的交叉宽度比第1谐振器大的第2谐振器。在沿着第1方向以及作为弹性波谐振器内的电流流动的方向的第2方向的剖面中，若将构成空洞部中的与开口的第2方向的一端连接的部分的支承基板和压电体层所成的角设为锥角，则第1谐振器的锥角比第2谐振器的所述锥角大。
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公开(公告)号：CN117121375A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202280025686.2
申请日：2022-03-30
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供一种能够抑制频率特性中的纹波的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：支承基板(16)；压电层(14)，设置在支承基板(16)上，具有相互对置的第1主面(14a)以及第2主面(14b)；功能电极，设置在压电层(14)的第1主面(14a)或第2主面(14b)；第1布线(17A)，设置在压电层(14)上，与功能电极连接；第2布线(17B)，设置在压电层(14)上，与第1布线(17B)对置，并且连接于与第1布线(17A)不同的电位；以及衰减层(19)，在俯视下设置在第1布线(17A)与第2布线(17B)之间，包含密度比压电层(14)低的电介质。
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公开(公告)号：CN117321916A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202280034576.2
申请日：2022-04-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供能够抑制频率特性中的纹波的压电体波装置。本发明的压电体波装置(10)具备：压电性基板(12)，具有包括硅基板(16)的支承构件(13)和设置在支承构件(13)上的压电层(14)；第一布线电极(17A)及第二布线电极(17B)，设置在压电性基板(12)上；以及功能电极，设置在压电层(14)上，与第一布线电极(17A)及第二布线电极(17B)中的至少一个连接，且具有多个电极。第一布线电极(17A)、第二布线电极(17B)及功能电极的多个电极中的至少任意一个是与不同的电位连接的第一电极膜及第二电极膜。硅基板(16)的面方位是(111)，在将n设为任意的整数时，硅基板(16)的欧拉角 中的ψ是10°+120°×n≤ψ≤50°+120°×n或70°+120°×n≤ψ≤110°+120°×n的范围内的角度。
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公开(公告)号：CN117083798A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202280025170.8
申请日：2022-03-29
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置(10A)具备：压电层(12)，具有相互对置的第1主面(12a)和第2主面(12b)；功能电极(14)，设置在压电层(12)的第1主面(12a)以及第2主面(12b)之中的至少一个主面之上；和支承基板(11)，层叠在压电层(12)的第2主面(12b)侧。在支承基板(11)与压电层(12)之间设置有空洞部(13)。从支承基板(11)和压电层(12)的层叠方向观察，功能电极(14)的至少一部分设置为与空洞部(13)重叠。设置有贯通压电层(12)并到达空洞部(13)的贯通孔(19)。在压电层(12)的第1主面(12a)之中的、形成贯通孔(19)的外缘(19a)的区域，设置有比未设置贯通孔(19)的区域突出的凸部(20)。
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公开(公告)号：CN116888890A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202280011421.7
申请日：2022-01-24
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/02
Abstract: 一种声波设备，包括：支撑基板；压电层，在支撑基板上；第一电极和第二电极，沿支撑基板和压电层的层压方向位于压电层上，第一电极和第二电极在与层压方向交叉的第一方向上相对；以及空间，限定支撑基板的一部分中的空腔、或支撑基板和压电层之间的气隙。在层压方向上的平面图中，第一电极和第二电极中的每一个的至少一部分与空间重叠，并且支撑基板的与压电层相对的主表面的第一粗糙度大于压电层的第一电极和第二电极所位于的主表面的第二粗糙度。
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公开(公告)号：CN116803003A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202280012658.7
申请日：2022-02-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 石井优太
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供一种能够抑制频率特性中的纹波的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)是构成具有通带的滤波器装置的弹性波装置，具备：层叠基板(13)，具有第1层(13A)以及第2层(13B)，并且在第2层(13B)上层叠了第1层(13A)；压电层(14)，层叠在层叠基板(13)的第1层(13A)上；和激励电极，设置在压电层(14)上。第1层(13A)是电介质层，并且包含于层叠在压电层的中间层。将在第1层(13A)中传播的横波的声速设为v，将包含于上述滤波器装置的通带的频率设为f，将通过v/f而导出的波长设为λ，将压电层(14)的声阻抗设为Zp，将第1层(13A)的声阻抗设为Zd，将第2层(13B)的声阻抗设为Zs，将第1层(13A)的厚度设为td，将自然数之中的任意一个设为n时，压电层(14)、第1层(13A)以及第2层(13B)的声阻抗的大小关系、以及厚度td的组合如表1所示。
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