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公开(公告)号：CN117178480A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202280030005.1
申请日：2022-04-19
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 井上和则
IPC分类号： H03H9/25
摘要： 弹性波装置具备在第一方向上具有厚度的支承基板、设置在支承基板的第一方向上的压电层、设置于压电层的功能电极、设置于压电层的功能电极以及应力缓和层。在支承基板与压电层之间，在沿第一方向俯视时至少一部分与功能电极重叠的位置设置有空洞部。在沿第一方向俯视时，应力缓和层与空洞部的外缘重叠，或者在沿第一方向俯视时，应力缓和层配置在空洞部的外缘的至少一部分的外侧，并且介于支承基板与压电层之间。
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公开(公告)号：CN117121379A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202280025175.0
申请日：2022-03-31
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H03H9/25
摘要： 本发明是一种弹性波装置，其具备：支承构件，具有支承基板和形成在支承基板上的中间层；压电层，配置在中间层上，具有贯通孔；功能电极，配置在压电层上；以及空洞部，设置在支承基板和中间层的双方。在支承构件和压电层的层叠方向上俯视，功能电极的至少一部分与空洞部重叠。空洞部具有：第1空洞区域，形成在中间层，并与压电层的贯通孔连通；以及第2空洞区域，在支承基板中位于朝向第1空洞区域开口的凹部的底面与第1空洞区域之间。在支承构件的厚度方向上的剖视下，中间层具有比支承基板的凹部的周缘部向内侧突出的部位。
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公开(公告)号：CN116686214A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202180084426.8
申请日：2021-12-15
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 井上和则
IPC分类号： H03H9/145
摘要： 本发明抑制热的蓄积。本发明具备：支承基板；压电层，设置在作为支承基板的厚度方向的第1方向上，包含铌酸锂或者钽酸锂，在第1方向上具有主面；空洞部，设置在支承基板与压电层之间；IDT电极，设置在压电层的主面，并且包含相互对置的第1汇流条和第2汇流条、基端与第1汇流条连接的多个第1电极指、以及基端与第2汇流条连接的多个第2电极指；布线电极，设置在压电层的主面，并与IDT电极连接；以及高热传导膜，在第1方向上设置于压电层内，具有比压电层的热传导率高的热传导率，IDT电极的至少一部分设置于在第1方向上俯视与空洞部重叠的区域，高热传导膜设置于在第1方向上俯视与空洞部重叠的区域，IDT电极以及布线电极中的至少一者直接或者经由金属与高热传导膜连接。
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公开(公告)号：CN116671011A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202180086995.6
申请日：2021-12-22
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 井上和则
IPC分类号： H03H9/25
摘要： 本发明抑制压电层的裂纹产生。弹性波装置具备：支承构件，具有支承基板；压电层，设置在所述支承构件的作为所述支承基板的厚度方向的第1方向上，包含铌酸锂或钽酸锂；IDT电极，设置在所述压电层的所述第1方向上，且包含相互对置的第1汇流条和第2汇流条、基端与所述第1汇流条连接的多个第1电极指、以及基端与所述第2汇流条连接的多个第2电极指；以及增强膜，设置在所述压电层的所述第1方向上，在所述支承构件设置有在所述第1方向上的所述压电层侧开口的空洞部，所述增强膜设置为在所述第1方向上俯视与如下的边界的至少一部分重叠，该边界是所述压电层与所述空洞部重叠的区域和所述压电层与所述空洞部不重叠的区域的边界。
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公开(公告)号：CN116438740A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202180075923.1
申请日：2021-11-11
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H03H9/25
摘要： 抑制压电层的裂纹产生。弹性波装置具备：支承基板，其在第1方向上具有厚度；压电层，其设置在所述支承基板的所述第1方向；IDT电极，其设置在所述压电层的所述第1方向，具有多个第1电极指和多个第2电极指，所述多个第1电极指在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸，所述多个第2电极指在与所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指的任一个对置，并且在所述第2方向上延伸；以及加强膜，其设置在所述压电层的所述第1方向，在所述支承基板和所述压电层之间，在至少一部分在所述第1方向上与所述IDT电极重叠的位置，设置有空洞部，在相对于所述IDT电极在所述第3方向上不与所述IDT电极重叠的位置，具有贯穿所述压电层的至少一个贯通孔，所述贯通孔与所述空洞部连通，所述加强膜的至少一部分在所述第1方向上与所述空洞部重叠。
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公开(公告)号：CN118382996A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202280082210.2
申请日：2022-12-15
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 井上和则
IPC分类号： H03H9/145
摘要： 本发明在抑制由纹波造成的频率特性的劣化的同时，使拾取作业变得简便，并使得向模块基板的安装变得容易。弹性波装置包含：第1压电层，具有第1主面和第2主面；第1支承构件，具有在第1方向上与第1压电层重叠的第1支承基板；第1谐振子，至少设置在第1压电层的第1主面；第2压电层，具有第3主面和第4主面；第2支承构件，具有在第1方向上与第2压电层重叠的第2支承基板；以及第2谐振子，至少设置在第2压电层的第3主面。第1谐振子以及第2谐振子分别具有功能电极。在支承构件具有在第1方向上俯视时与谐振子的功能电极的至少一部分重叠的空间部。第1支承基板的第1压电层侧的主面和第2支承基板的第2压电层侧的主面在第1方向上对置。第1谐振子和第2谐振子通过在第1方向上延伸的导电性的接合部电连接。第1支承基板与第2支承基板之间的空间被密封构件密封。第1支承基板和第2支承基板的厚度不同。
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公开(公告)号：CN117678159A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202280050759.3
申请日：2022-06-29
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H03H9/25
摘要： 提供在压电层难以产生裂纹的弹性波装置。本发明的弹性波装置(10)具备包括支承基板的支承构件、设置在支承构件上的压电层(14)以及设置在压电层(14)上且包括至少一对电极的功能电极(IDT电极(11))。在支承构件设置有空洞部。空洞部在俯视下与功能电极的至少一部分重叠。压电层(14)包括在俯视下与空洞部重叠的膜片部(14c)以及被支承构件支承的被支承部(14d)。遍及压电层(14)上的在俯视下与膜片部(14c)和被支承部(14d)的边界(E)重叠的部分整体而设置有边界被覆电极。
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公开(公告)号：CN116724491A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202180086343.2
申请日：2021-12-14
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 井上和则
IPC分类号： H03H9/25
摘要： 提供一种弹性波装置，能够抑制IDT电极的破损及IDT电极从压电层的剥离。弹性波装置(10)具备支承构件(13)、压电层(14)、具有第一、第二汇流条(26、27)及多个第一、第二电极指(28、29)的IDT电极(25)以及设置在压电层(14)上且覆盖多个第二电极指(29)的前端部的第一绝缘膜(17A)。在支承构件(13)及压电层14的层叠体中，在比压电层(14)靠支承构件(13)侧的位置设置有空洞部(13c)。在将多个电极指延伸的方向设为电极指延伸方向时，在俯视下，空洞部(13)的外周缘包括在电极指延伸方向上相对置的第一、第二外周缘部(13d、13e)，第一外周缘部(13d)位于第一汇流条(26)侧，第一绝缘膜(17A)在第一汇流条(26)侧延伸，并且在俯视下，与空洞部(13c)的第一外周缘部(13d)重叠。
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