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公开(公告)号：CN117178480A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202280030005.1
申请日：2022-04-19
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 井上和则
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置具备在第一方向上具有厚度的支承基板、设置在支承基板的第一方向上的压电层、设置于压电层的功能电极、设置于压电层的功能电极以及应力缓和层。在支承基板与压电层之间，在沿第一方向俯视时至少一部分与功能电极重叠的位置设置有空洞部。在沿第一方向俯视时，应力缓和层与空洞部的外缘重叠，或者在沿第一方向俯视时，应力缓和层配置在空洞部的外缘的至少一部分的外侧，并且介于支承基板与压电层之间。
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公开(公告)号：CN117121379A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202280025175.0
申请日：2022-03-31
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明是一种弹性波装置，其具备：支承构件，具有支承基板和形成在支承基板上的中间层；压电层，配置在中间层上，具有贯通孔；功能电极，配置在压电层上；以及空洞部，设置在支承基板和中间层的双方。在支承构件和压电层的层叠方向上俯视，功能电极的至少一部分与空洞部重叠。空洞部具有：第1空洞区域，形成在中间层，并与压电层的贯通孔连通；以及第2空洞区域，在支承基板中位于朝向第1空洞区域开口的凹部的底面与第1空洞区域之间。在支承构件的厚度方向上的剖视下，中间层具有比支承基板的凹部的周缘部向内侧突出的部位。
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公开(公告)号：CN117099307A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202280025222.1
申请日：2022-03-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 井上和则
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置具备：压电层，其具有第一主面以及与所述第一主面相反的一侧的第二主面；功能电极，其形成于压电层；以及支承构件，其设置于压电层的第二主面，具有支承基板，在支承构件，在支承构件与压电层的层叠方向上的俯视下至少与功能电极的一部分重叠的位置设置有空洞部，在压电层形成有与空洞部连通的贯通孔，在压电层的所述第一主面设置有堵塞贯通孔的加强盖部。
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公开(公告)号：CN116686214A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202180084426.8
申请日：2021-12-15
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 井上和则
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明抑制热的蓄积。本发明具备：支承基板；压电层，设置在作为支承基板的厚度方向的第1方向上，包含铌酸锂或者钽酸锂，在第1方向上具有主面；空洞部，设置在支承基板与压电层之间；IDT电极，设置在压电层的主面，并且包含相互对置的第1汇流条和第2汇流条、基端与第1汇流条连接的多个第1电极指、以及基端与第2汇流条连接的多个第2电极指；布线电极，设置在压电层的主面，并与IDT电极连接；以及高热传导膜，在第1方向上设置于压电层内，具有比压电层的热传导率高的热传导率，IDT电极的至少一部分设置于在第1方向上俯视与空洞部重叠的区域，高热传导膜设置于在第1方向上俯视与空洞部重叠的区域，IDT电极以及布线电极中的至少一者直接或者经由金属与高热传导膜连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116671011A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202180086995.6
申请日：2021-12-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 井上和则
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明抑制压电层的裂纹产生。弹性波装置具备：支承构件，具有支承基板；压电层，设置在所述支承构件的作为所述支承基板的厚度方向的第1方向上，包含铌酸锂或钽酸锂；IDT电极，设置在所述压电层的所述第1方向上，且包含相互对置的第1汇流条和第2汇流条、基端与所述第1汇流条连接的多个第1电极指、以及基端与所述第2汇流条连接的多个第2电极指；以及增强膜，设置在所述压电层的所述第1方向上，在所述支承构件设置有在所述第1方向上的所述压电层侧开口的空洞部，所述增强膜设置为在所述第1方向上俯视与如下的边界的至少一部分重叠，该边界是所述压电层与所述空洞部重叠的区域和所述压电层与所述空洞部不重叠的区域的边界。
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公开(公告)号：CN116438740A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202180075923.1
申请日：2021-11-11
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 抑制压电层的裂纹产生。弹性波装置具备：支承基板，其在第1方向上具有厚度；压电层，其设置在所述支承基板的所述第1方向；IDT电极，其设置在所述压电层的所述第1方向，具有多个第1电极指和多个第2电极指，所述多个第1电极指在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸，所述多个第2电极指在与所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指的任一个对置，并且在所述第2方向上延伸；以及加强膜，其设置在所述压电层的所述第1方向，在所述支承基板和所述压电层之间，在至少一部分在所述第1方向上与所述IDT电极重叠的位置，设置有空洞部，在相对于所述IDT电极在所述第3方向上不与所述IDT电极重叠的位置，具有贯穿所述压电层的至少一个贯通孔，所述贯通孔与所述空洞部连通，所述加强膜的至少一部分在所述第1方向上与所述空洞部重叠。
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公开(公告)号：CN118489212A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202380016143.9
申请日：2023-01-19
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 抑制压电层的裂纹。具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，设置在支承构件的第1方向上；多个第1电极指，设置在压电层的第1方向上，并且在与第1方向正交的第2方向上延伸；以及多个第2电极指，在与第1方向及第2方向正交的第3方向上与多个第1电极指的任一者对置，并且在第2方向上延伸。在压电层，存在将压电层在第1方向上贯通的贯通孔。在支承构件，存在空间部。多个电极指设置为在第1方向上俯视时至少一部分与空间部重叠。贯通孔设置为在第1方向俯视时至少一部分与空间部重叠。在贯通孔的第2方向上，设置有多个电极指之中的至少1个。在贯通孔的第3方向上，未设置多个电极指。
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公开(公告)号：CN118020249A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202280065526.0
申请日：2022-09-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明抑制压电层的破损。弹性波装置具备弹性波元件和容纳弹性波元件的封装件，弹性波元件具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，层叠于支承构件，具有第1主面和在第1方向上与第1主面相反侧的第2主面；以及功能电极，设置在压电层的第1主面以及第2主面中的至少一者。在支承构件中，在压电层侧并且在第1方向上俯视时至少一部分与功能电极重叠的位置具有第1空间部，在封装件中，在第1空间部的外部具有第2空间部，在压电层具有与第1空间部以及第2空间部连通的贯通孔，第1空间部、第2空间部、以及封装件的外部通过至少一个路径相连。
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公开(公告)号：CN117413462A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202280039312.6
申请日：2022-05-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 井上和则
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种在压电层不易产生裂缝的压电体波装置。本发明涉及的压电体波装置(10)具备：支承构件(13)，包含支承基板(16)；压电层(14)，具有位于支承构件(13)侧的第1主面(14a)和与第1主面(14a)对置的第2主面(14b)；以及至少一个功能电极，至少一部分设置在压电层(14)的第1主面(14a)以及第2主面(14b)中的至少一者。至少一个功能电极包含被支承构件(13)支承且一部分设置在压电层(14)的第1主面(14a)的功能电极(IDT电极(11))。在支承构件(13)设置有空洞部(13a)。空洞部(13a)在俯视下与功能电极的一部分以及压电层(14)的全部重叠。由被支承构件(13)支承的功能电极对压电层(14)进行支承。
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