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公开(公告)号：CN118591987A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202380018002.0
申请日：2023-01-20
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置具备：支承基板，包含支承构件和设置在所述支承构件上的中间层；压电体层，设置在中间层上；以及功能电极，设置在压电体层上。压电体层具有在支承构件、中间层以及压电体层的层叠方向上贯通压电体层的贯通孔。支承基板具有：空洞部，设置于在层叠方向上与功能电极的一部分重叠的位置；以及凹部，设置于空洞部的在层叠方向上与贯通孔重叠至少一部分的位置，并向远离压电体层的方向凹陷。
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公开(公告)号：CN119678367A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202380057334.X
申请日：2023-08-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供能够推进滤波器装置的小型化并且能够降低连接于输入电位以及输出电位以外的电位的电极的电阻的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置（10）具备：压电膜，包含压电层（14），压电层（14）包含压电体；第1梳形电极（17），设置在压电层（14）上，具有第1汇流条（22）和一端分别连接于第1汇流条（22）的多个第1电极指（25）；第2梳形电极（18），设置在压电层（14）上，具有第2汇流条（23）和一端分别连接于第2汇流条（23）的多个第2电极指（26），多个第2电极指（26）与多个第1电极指（25）相互交错对插；第3电极（27），具有多个第3电极指（27）和将相邻的第3电极指（27）彼此连接的至少1根第3汇流条（24），连接于与第1梳形电极（17）以及第2梳形电极（18）不同的电位，多个第3电极指（27）分别设置在压电层（14）上，使得在第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列的方向上，在俯视下与第1电极指（25）以及第2电极指（26）并排；和绝缘体层（29），设置在压电层（14）上。第1梳形电极（17）以及第2梳形电极（18）之中的一者连接于输入电位。第1梳形电极（17）以及第2梳形电极（18）之中的另一者连接于输出电位。第1电极指（25）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）排列的顺序在从第1电极指（25）开始的情况下，是以第1电极指（25）、第3电极指（27）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）为1个周期的顺序。第1梳形电极（17）的一部分与第3电极（27）的一部分、以及第2梳形电极（18）的一部分与第3电极（27）的一部分之中的至少一者在压电层（14）上隔着绝缘体层（29）而交叉。
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公开(公告)号：CN116438740A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202180075923.1
申请日：2021-11-11
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 抑制压电层的裂纹产生。弹性波装置具备：支承基板，其在第1方向上具有厚度；压电层，其设置在所述支承基板的所述第1方向；IDT电极，其设置在所述压电层的所述第1方向，具有多个第1电极指和多个第2电极指，所述多个第1电极指在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸，所述多个第2电极指在与所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指的任一个对置，并且在所述第2方向上延伸；以及加强膜，其设置在所述压电层的所述第1方向，在所述支承基板和所述压电层之间，在至少一部分在所述第1方向上与所述IDT电极重叠的位置，设置有空洞部，在相对于所述IDT电极在所述第3方向上不与所述IDT电极重叠的位置，具有贯穿所述压电层的至少一个贯通孔，所述贯通孔与所述空洞部连通，所述加强膜的至少一部分在所述第1方向上与所述空洞部重叠。
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公开(公告)号：CN119547328A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202380052897.X
申请日：2023-08-03
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够推进滤波器装置的小型化，并且能够降低连接于基准电位的布线的电阻。本发明涉及的弹性波装置（10）具备：压电性基板（12），包括具有彼此相互对置的第1主面（14a）以及第2主面（14b）的压电层（14）、和层叠在压电层（14）的第2主面（14b）的支承构件；第1梳形电极（17），设置在压电层（14）的第1主面（14a），具有第1汇流条（22）和一端分别与第1汇流条（22）连接的多个第1电极指（25），并且连接于输入电位；第2梳形电极（18），设置在压电层（14）的第1主面（14a），具有第2汇流条（23）和一端分别与第2汇流条（23）连接的多个第2电极指（26），并且连接于输出电位，多个第2电极指（26）与多个第1电极指（25）相互交错对插；和基准电位电极（19），具有分别设置在压电层（14）的第1主面（14a）使得在第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列的方向上与第1电极指（25）以及第2电极指（26）并排的多个第3电极指（27）、与多个第3电极指（27）分别连接的多个连接电极、和通过多个连接电极与多个第3电极指（27）电连接的第3汇流条（24），并且连接于基准电位。第1电极指（25）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）排列的顺序在从第1电极指（25）开始的情况下是将第1电极指（25）、第3电极指（27）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）设为一个周期的顺序。第3汇流条（24）被设置为与多个第3电极指（27）至少夹着压电层（14）对置。多个连接电极通过至少贯穿压电层（14）从而将第3汇流条（24）和多个第3电极指（27）连接。
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公开(公告)号：CN115428329B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202180029585.8
申请日：2021-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 目的：提供包括腔部但压电膜不易发生破裂的弹性波器件。解决方案：弹性波器件(1)包括由铌酸锂或钽酸锂制成的压电膜(2)，以及在与压电膜(2)的厚度方向相交的方向上彼此面对的第一电极指(3)和第二电极指(4)。当压电膜(2)的平均厚度为d，并且第一电极指(3)和第二电极指(4)的中心之间的距离为p时，d/p约为0.5或更小。第一电极指(3)和第二电极指(4)分别连接到第一母线(5)和第二母线(6)。第一母线(5)和第二母线(6)包括角部。当在俯视图中观察时，第一母线(5)和第二母线(6)的角部(5e)至(5h)和(6e)至(6h)中的至少一个角部在腔部(9)的外侧。
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公开(公告)号：CN119452573A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202380053472.0
申请日：2023-08-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供弹性波装置，能够推进滤波器装置的小型化并且能够降低电阻。本发明的弹性波装置（10）具备：压电层（14）；第1梳形电极（17），设置在压电层（14）上，具有第1汇流条（22）和一端分别与第1汇流条（22）连接的多个第1电极指（25），连接于输入电位；第2梳形电极（18），设置在压电层（14）上，具有第2汇流条（23）和一端分别与第2汇流条（23）连接且与多个第1电极指（25）相互交错对插的多个第2电极指（26），连接于输出电位；和基准电位电极（19），具有分别设置在压电层（14）上使得在第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列的方向上与第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列的多个第3电极指（27）和将相邻的第3电极指（27）彼此连接的多个连接电极（24），并且至少一部分设置在第1梳形电极（17）以及第2梳形电极（18）之间，连接于基准电位。第1电极指（25）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）排列的顺序在从第1电极指（25）开始的情况下，是以第1电极指（25）、第3电极指（27）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）为1个周期的顺序。基准电位电极（19）具有连接于基准电位的至少3个部位的多个电位连接部（第1～第3电位连接部（28A～28C））。
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公开(公告)号：CN117254781A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311204480.9
申请日：2021-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 目的：提供包括腔部但压电膜不易发生破裂的弹性波器件。解决方案：弹性波器件(1)包括由铌酸锂或钽酸锂制成的压电膜(2)，以及在与压电膜(2)的厚度方向相交的方向上彼此面对的第一电极指(3)和第二电极指(4)。当压电膜(2)的平均厚度为d，并且第一电极指(3)和第二电极指(4)的中心之间的距离为p时，d/p约为0.5或更小。第一电极指(3)和第二电极指(4)分别连接到第一母线(5)和第二母线(6)。第一母线(5)和第二母线(6)包括角部。当在俯视图中观察时，第一母线(5)和第二母线(6)的角部(5e)至(5h)和(6e)至(6h)中的至少一个角部在腔部(9)的外侧。
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公开(公告)号：CN115699573A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202180040136.3
申请日：2021-06-02
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种在位于腔上的压电膜不易产生裂纹的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，设置有压电膜(2)，在压电膜(2)上设置有IDT电极(10)，IDT电极(10)具有第1汇流条(5)以及第2汇流条(6)、至少一根第1电极指(3)、和至少一根第2电极指(4)，在将第1电极指(3)、第2电极指(4)在弹性波传播方向上重叠的区域设为交叉区域的情况下，在像下述的那样定义的点A2、点B2、点C2以及点D2处，在xa＜25μm、ya＜25μm、xb＜25μm、yb＜25μm、xc＜25μm、yc＜25μm、xd＜25μm、yd＜25μm时，点A2、B2、C2、D2全部处于腔的外侧。
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公开(公告)号：CN115428329A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202180029585.8
申请日：2021-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 目的：提供包括腔部但压电膜不易发生破裂的弹性波器件。解决方案：弹性波器件(1)包括由铌酸锂或钽酸锂制成的压电膜(2)，以及在与压电膜(2)的厚度方向相交的方向上彼此面对的第一电极指(3)和第二电极指(4)。当压电膜(2)的平均厚度为d，并且第一电极指(3)和第二电极指(4)的中心之间的距离为p时，d/p约为0.5或更小。第一电极指(3)和第二电极指(4)分别连接到第一母线(5)和第二母线(6)。第一母线(5)和第二母线(6)包括角部。当在俯视图中观察时，第一母线(5)和第二母线(6)的角部(5e)至(5h)和(6e)至(6h)中的至少一个角部在腔部(9)的外侧。
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