公开(公告)号：CN117121379A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280025175.0

申请日：2022-03-31

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上和则 ,  铃木胜己

IPC: H03H9/25

Abstract: 本发明是一种弹性波装置，其具备：支承构件，具有支承基板和形成在支承基板上的中间层；压电层，配置在中间层上，具有贯通孔；功能电极，配置在压电层上；以及空洞部，设置在支承基板和中间层的双方。在支承构件和压电层的层叠方向上俯视，功能电极的至少一部分与空洞部重叠。空洞部具有：第1空洞区域，形成在中间层，并与压电层的贯通孔连通；以及第2空洞区域，在支承基板中位于朝向第1空洞区域开口的凹部的底面与第1空洞区域之间。在支承构件的厚度方向上的剖视下，中间层具有比支承基板的凹部的周缘部向内侧突出的部位。

公开(公告)号：CN117083800A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202280025224.0

申请日：2022-03-25

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 木村哲也 ,  山崎央 ,  铃木胜己

IPC: H03H9/25

Abstract: 本公开的弹性波装置具备包括在第一方向上具有厚度方向的支承基板的支承构件、设置在所述支承构件上的压电层以及分别具有设置于所述压电层的功能电极的多个谐振器，在所述支承构件，在沿所述第一方向俯视时与所述多个谐振器各自的至少一部分重叠的位置设置有空洞部，所述多个谐振器包括相邻配置的第一谐振器和第二谐振器，在所述压电层的所述第一谐振器与所述第二谐振器之间设置有到达所述空洞部的贯通孔。

公开(公告)号：CN116438740A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202180075923.1

申请日：2021-11-11

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 木村哲也 ,  铃木胜己 ,  米田年麿 ,  井上和则 ,  野竹直弘 ,  三村昌和

IPC: H03H9/25

Abstract: 抑制压电层的裂纹产生。弹性波装置具备：支承基板，其在第1方向上具有厚度；压电层，其设置在所述支承基板的所述第1方向；IDT电极，其设置在所述压电层的所述第1方向，具有多个第1电极指和多个第2电极指，所述多个第1电极指在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸，所述多个第2电极指在与所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指的任一个对置，并且在所述第2方向上延伸；以及加强膜，其设置在所述压电层的所述第1方向，在所述支承基板和所述压电层之间，在至少一部分在所述第1方向上与所述IDT电极重叠的位置，设置有空洞部，在相对于所述IDT电极在所述第3方向上不与所述IDT电极重叠的位置，具有贯穿所述压电层的至少一个贯通孔，所述贯通孔与所述空洞部连通，所述加强膜的至少一部分在所述第1方向上与所述空洞部重叠。

公开(公告)号：CN117121380A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280025213.2

申请日：2022-03-30

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上和则 ,  铃木胜己 ,  木村哲也

IPC: H03H9/25

Abstract: 本发明兼顾空间部的粘附的抑制和干燥时间的缩短。弹性波装置具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，设置在支承构件的第1方向上；以及多个谐振器，分别具有设置在压电层的第1方向上的功能电极。支承构件在第1方向上俯视时与谐振器各自的至少一部分重叠的位置设置有多个空间部，多个空间部包含第1空间部和在第1方向上俯视时面积比第1空间部大的第2空间部，在压电层设置有与第1空间部连通的第1贯通孔和与第2空间部连通的第2贯通孔，在第1方向上俯视时，第1贯通孔的面积比第2贯通孔大。

公开(公告)号：CN116615865A

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN202180083599.8

申请日：2021-12-13

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 铃木胜己

IPC: H03H9/25

Abstract: 本发明提供一种能够抑制压电层的厚度的偏差且能够抑制频率特性的劣化的弹性波装置。本发明的弹性波装置(1)具备：支承构件(13)，具有支承基板(16)和层叠在支承基板(16)上的中间层(15)；压电层(14)，设置在中间层(15)上；和IDT电极(25)(激励电极)，设置在压电层(14)上。在支承构件(13)设置有空洞部。压电层(14)包含在俯视下与空洞部重叠的隔膜部(14d)。在隔膜部(14d)设置有IDT电极(25)的至少一部分。还具备设置在支承构件(13)内且包含与压电层(14)以及中间层(15)的材料不同的材料的间隔层(11)。间隔层(11)配置在空洞部以外的部分。

公开(公告)号：CN116438741A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202180075929.9

申请日：2021-11-11

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 木村哲也 ,  铃木胜己

IPC: H03H9/25

Abstract: 抑制压电层的裂纹产生。弹性波装置具备：支承基板，其在第1方向上具有厚度；压电层，其设置在所述支承基板的第1方向；以及IDT电极，其设置在所述压电层，具有多个第1电极指和多个第2电极指，所述多个第1电极指在与第1方向交叉的第2方向上延伸，所述多个第2电极指在与第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指的任一个对置，并且在第2方向上延伸，在所述支承基板和所述压电层之间，在至少一部分在第1方向上与所述IDT电极重叠的位置，设置有空洞部，在相对于所述IDT电极在第3方向上不与所述IDT电极重叠的位置，具有贯穿所述压电层的至少一个贯通孔，所述贯通孔与所述空洞部连通，在所述第1方向上不与所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指重叠且与所述空洞部重叠的区域中，在所述空洞部内具有在第1方向上延伸的加强支柱。

公开(公告)号：CN117397166A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202280038193.2

申请日：2022-05-17

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上和则 ,  铃木胜己

IPC: H03H9/25

Abstract: 提供能够高精度地进行频率调整的压电体波装置。本发明的压电体波装置(10)具备：支承构件(13)，包括支承基板(16)；压电层(14)，设置在支承构件(13)上，具有位于支承构件(13)侧的第一主面(14a)以及与第一主面(14a)对置的第二主面(14b)；IDT电极(11)，设置于压电层(14)的第一主面(14a)，具有一对包括多个电极指和连接多个电极指的一端的汇流条的梳齿状电极；及频率调整膜(17)，设置于压电层(14)的第二主面(14b)，在俯视下与IDT电极(11)的至少一部分重叠。在支承构件(13)设置有中空部(13a)。中空部(13a)在俯视下与IDT电极(11)的至少一部分重叠。在将压电层(14)的厚度设为d并将相邻的电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在压电层(14)及频率调整膜(17)设置有多个过孔(28)。还具备分别设置在压电层(14)及频率调整膜(17)的过孔(28)内及频率调整膜(17)上且与梳齿状电极的各汇流条电连接的多个布线电极(第一、第二布线电极(25A、25B))。

公开(公告)号：CN117280608A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202280031670.2

申请日：2022-02-07

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 岸本谕卓 ,  大村正志 ,  铃木胜己 ,  井上和则

IPC: H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种不易产生特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：第1层(11)，包含支承基板(2)；第2层(12)，设置在第1层(11)上，包含压电膜(3)；和激励电极(4)，设置在第2层(12)上，在第1层(11)与第2层(12)之间设置有空洞部(7)，在第1层(11)和第2层(12)的层叠方向上，激励电极(4)的至少一部分与空洞部(7)重叠，面向空洞部(7)的第1层(11)的主面(6a)的表面粗糙度与面向空洞部(7)的第2层(12)的主面(6b)的表面粗糙度不同。

公开(公告)号：CN117121376A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280023419.1

申请日：2022-03-29

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 木村哲也 ,  井上和则 ,  铃木胜己

IPC: H03H9/25

Abstract: 弹性波装置(10A)具备：具有相互对置的第一主面(12a)及第二主面(12b)的压电层(12)；设置在压电层(12)的第一主面(12a)及第二主面(12b)中的至少一个主面上的功能电极(14)；以及层叠于压电层(12)的第二主面(12b)侧的支承基板(11)。在支承基板(11)与压电层(12)之间设置有空洞部(13)。在从支承基板(11)与压电层(12)的层叠方向观察时，功能电极(14)的至少一部分被设置为与空洞部(13)重叠。设置有贯穿压电层(12)而到达空洞部(13)的贯通孔(19)。在贯通孔(19)的内壁(19b)，设置有沿着贯通孔(19)的深度方向延伸的凸部(20)。

公开(公告)号：CN117083799A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202280025176.5

申请日：2022-03-31

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上和则 ,  铃木胜己 ,  木村哲也

IPC: H03H9/25

Abstract: 弹性波装置具备：支承构件，具有支承基板；压电层，配置在支承构件上；第1谐振器，包含压电层的第1部分和设置在压电层的第1部分的第1功能电极；以及第2谐振器，包含压电层的第2部分和设置在压电层的第2部分的第2功能电极。弹性波装置具备：第1空洞部，设置在支承构件，在支承构件和压电层的层叠方向上的俯视下与第1谐振器重叠；以及第2空洞部，设置在支承构件，在支承构件和压电层的层叠方向上的俯视下与第2谐振器重叠。弹性波装置具备：至少一个第1贯通孔，贯通压电层，并与第1空洞部连通；以及至少一个第2贯通孔，贯通压电层，并与第2空洞部连通。第1空洞部的体积大于第2空洞部的体积，至少一个第1贯通孔的总开口面积大于至少一个第2贯通孔的总开口面积。