用于填充间隙的方法和设备以及通过该方法实现的器件

    公开(公告)号:CN113818009A

    公开(公告)日:2021-12-21

    申请号:CN202110653245.4

    申请日:2021-06-11

    Abstract: 提供了通过使用原子层沉积(ALD)方法来填充间隙的方法和设备以及通过该方法实现的器件。该方法包括通过将反应抑制剂吸附到间隙的侧壁上而形成第一反应抑制层、通过将第一反应物吸附到间隙的底部和间隙的在间隙的底部周围的侧壁上而形成第一前体层、以及在间隙的底部和间隙的在间隙的底部周围的侧壁上形成第一原子层。反应抑制剂包括不与第二反应物反应的前体材料。第一反应抑制层可以具有其中反应抑制剂的密度朝向间隙的底部减小的密度梯度。形成第一原子层包括将第二反应物吸附到第一前体层上。

    半导体器件的测试方法和半导体测试装置

    公开(公告)号:CN103811079A

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201310560306.8

    申请日:2013-11-12

    CPC classification number: G11C29/50016 G11C11/40 G11C29/50 G11C29/56

    Abstract: 公开了半导体器件的测试方法和半导体测试装置。该测试方法包括:提供半导体器件,该半导体器件具有包括有源区和隔离区的衬底、包括在有源区上的栅极绝缘层和栅极、在有源区中的结区、和连接到结区的电容器的易失性器件存储单元、以及在隔离区上的穿过栅极;向栅极提供第一测试电压并且向穿过栅极提供大于第一测试电压的第二测试电压以恶化栅极绝缘层的界面缺陷;以及测量易失性器件存储单元的保持特性。

    用于减少特殊网络中的功率消耗的装置和方法

    公开(公告)号:CN1520100A

    公开(公告)日:2004-08-11

    申请号:CN200310123778.3

    申请日:2003-12-02

    Inventor: 李成熙

    CPC classification number: H04W52/0216 H04W84/18 Y02D70/142 Y02D70/22

    Abstract: 提供一种减少功率消耗的装置和方法,其中该装置包括周期性运行状态转换单元,可将非运行状态转换为运行状态;信标帧接收单元,在运行状态下可接收信标帧;唤醒窗口设定单元,用于设定唤醒窗口;唤醒窗口区间计数单元,用于对唤醒窗口中的区间值进行计数;和非运行状态转换单元,用于将唤醒窗口转换为非运行状态。根据本发明,只有在窗口区间内才需要保持运行状态,从而可以在非运行区间内减少功率消耗。此外,ATIM窗口被替换为唤醒窗口,从而被认为是网络开销的ATIM消息和该消息的应答帧被去除,也就是说,网络开销被去除。

    使用原子层沉积填充间隙的方法和设备

    公开(公告)号:CN113818007A

    公开(公告)日:2021-12-21

    申请号:CN202110191386.9

    申请日:2021-02-19

    Abstract: 提供了使用原子层沉积填充间隙的方法和设备。该方法包括通过将反应抑制剂吸附到间隙的侧壁上而形成第一反应抑制层、通过将第一反应物吸附到间隙的底部和间隙的在间隙的底部周围的侧壁上而形成第一前体层、以及在间隙的底部和间隙的在间隙的底部周围的侧壁上形成第一原子层。反应抑制剂包括不与第二反应物反应的前体材料。第一反应抑制层具有其中反应抑制剂的密度朝向间隙的底部减小的密度梯度。形成第一原子层包括将第二反应物吸附到第一前体层上。

    触摸板和包括它的电子设备

    公开(公告)号:CN101930316A

    公开(公告)日:2010-12-29

    申请号:CN201010200349.1

    申请日:2010-06-13

    Inventor: 林成泽 李成熙

    CPC classification number: G06F3/041 G06F3/016 G09B21/004

    Abstract: 本发明提供一种触摸板和电子设备。该触摸板包括:第一基底;第二基底,通过间隙与第一基底分开,并且包括接触表面;驱动电极,形成在第一基底和第二基底中的每个之上;和布置在该间隙中的电流变液体。当在驱动电极之间施加驱动电压时,由于在按钮区域的电流变液体的粘性的改变而引起按钮区域被划界。当由于施加到按钮区域的接触表面的按压力引起间隙的厚度被减少到等于或小于门限的值时,该驱动电压被切断。

Patent Agency Ranking