半导体器件的测试方法和半导体测试装置

    公开(公告)号:CN103811079B

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201310560306.8

    申请日:2013-11-12

    Abstract: 公开了半导体器件的测试方法和半导体测试装置。该测试方法包括:提供半导体器件,该半导体器件具有包括有源区和隔离区的衬底、包括在有源区上的栅极绝缘层和栅极、在有源区中的结区、和连接到结区的电容器的易失性器件存储单元、以及在隔离区上的穿过栅极;向栅极提供第一测试电压并且向穿过栅极提供大于第一测试电压的第二测试电压以恶化栅极绝缘层的界面缺陷;以及测量易失性器件存储单元的保持特性。

    半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN106531744B

    公开(公告)日:2021-12-28

    申请号:CN201610809546.0

    申请日:2016-09-08

    Abstract: 一种半导体器件,包括:交替并重复地堆叠在衬底上的多个绝缘图案和多个栅极;在基本垂直于衬底上表面的第一方向上延伸穿过栅极的沟道图案;在沟道图案和衬底之间的半导体图案;以及在沟道图案和半导体图案之间的导电图案。导电图案将沟道图案电连接到半导体图案。导电图案接触沟道图案的底部边缘和半导体图案的上表面。

    半导体器件的测试方法和半导体测试装置

    公开(公告)号:CN103811079A

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201310560306.8

    申请日:2013-11-12

    CPC classification number: G11C29/50016 G11C11/40 G11C29/50 G11C29/56

    Abstract: 公开了半导体器件的测试方法和半导体测试装置。该测试方法包括:提供半导体器件,该半导体器件具有包括有源区和隔离区的衬底、包括在有源区上的栅极绝缘层和栅极、在有源区中的结区、和连接到结区的电容器的易失性器件存储单元、以及在隔离区上的穿过栅极;向栅极提供第一测试电压并且向穿过栅极提供大于第一测试电压的第二测试电压以恶化栅极绝缘层的界面缺陷;以及测量易失性器件存储单元的保持特性。

    半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN106531744A

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201610809546.0

    申请日:2016-09-08

    CPC classification number: H01L27/1157 H01L27/11582

    Abstract: 一种半导体器件,包括:交替并重复地堆叠在衬底上的多个绝缘图案和多个栅极;在基本垂直于衬底上表面的第一方向上延伸穿过栅极的沟道图案;在沟道图案和衬底之间的半导体图案;以及在沟道图案和半导体图案之间的导电图案。导电图案将沟道图案电连接到半导体图案。导电图案接触沟道图案的底部边缘和半导体图案的上表面。

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