公开(公告)号：CN117420077A

公开(公告)日：2024-01-19

申请号：CN202310826022.2

申请日：2023-07-06

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金奎焕 ,  金载润 ,  卢弦均 ,  马阿米 ,  李成熙 ,  张圭伯 ,  全优宁 ,  郑载勳

IPC: G01N21/25 ,  G01N21/84 ,  G06F30/27 ,  G06F18/2135 ,  G06F18/214 ,  G06N20/00

Abstract: 公开了用于基于光谱测量结构的方法和系统。所述用于基于光谱测量所述结构的方法包括：获得第一模型，第一模型包括第一子模型和在第一子模型之后的第二子模型并且基于仿真数据被训练；生成第二模型，第二模型包括与第一子模型相同的第三子模型；基于通过测量样本结构的光谱而生成的样本光谱数据，来训练第二模型；以及基于训练后的第二模型，从通过测量所述结构的光谱而生成的测量光谱数据估计所述结构。