一种包括多个存储模块及芯片组存储控制器的系统

    公开(公告)号:CN100580803C

    公开(公告)日:2010-01-13

    申请号:CN98126515.4

    申请日:1998-12-29

    发明人: 崔周善 尹锡彻

    IPC分类号: G11C11/401

    CPC分类号: G11C7/1066 G11C7/1006

    摘要: 揭示一种具有数据选通掩模功能的芯片组存储控制器。此控制器包括第一至第N个存储模块,其是以从芯片存储控制器输出的时脉信号而同步操作,从而从各存储模块输出的数据被从芯片组存储控制器模组输出的数据掩模信号所掩蔽,且从各存储模块输出的数据的操作受从各存储模块输出的数据选通信号之控制,因此借助于额外地将一针脚安装于DDR SDRAM,并且掩模数据选通信号而实施DQM功能的逆兼容性。

    用于抗反射涂层的有机聚合物和其制备方法

    公开(公告)号:CN1266237C

    公开(公告)日:2006-07-26

    申请号:CN00136966.0

    申请日:2000-12-29

    IPC分类号: C09D133/08 C09D5/00

    摘要: 本发明提供了抗反射涂料聚合物,包含该聚合物的抗反射涂料(ARC)组合物和使用该种组合物的方法。本发明的聚合物特别适用于KrF(248nm)或ArF(193nm)激光作为光源的超微平版印刷工艺中,其包括能够吸收在超微平版印刷工艺中所用波长处的光线的发色团。所述ARC降低或阻止光的背反射和衍射和/或反射光造成的临界尺寸变化的问题;也明显地降低或消除了驻波效应和反射刻痕。所述聚合物适用于制备可用于64M、256M、1G、4G和16G DRAM半导体器件的稳定的超细图案。并改进了此种半导体器件的产率。

    有机抗反射涂料及其制备

    公开(公告)号:CN1215094C

    公开(公告)日:2005-08-17

    申请号:CN99126381.2

    申请日:1999-12-15

    IPC分类号: C08F20/14 C09D5/33 H01L23/29

    摘要: 本发明提供具有下列通式I、II或III的一种聚合物。该聚合物含有在亚微平版印刷方法所用的波长处具有强吸收的发色团,可用作采用248nm KrF、193nm ArF或157nm F2激光的亚微平版印刷方法中的抗反射涂料(ARC)。ARC解决了光从下层衍射和反射引起CD变化的问题,也消除了由于在晶片上的下层的光学性质及其上的光敏薄膜厚度的改变而引起的驻波和反射倒陷,因而可稳定地生成适用于半导体器件的超细图案。