一种碳化硅金属污染处理方法

    公开(公告)号:CN108022827B

    公开(公告)日:2020-05-05

    申请号:CN201610950062.8

    申请日:2016-11-02

    Abstract: 本发明涉及一种碳化硅金属污染的处理方法,其包括:步骤A,采用清洗液对被金属污染的碳化硅晶圆进行预清洗处理;步骤B,通过电场作用对经预处理的碳化硅晶圆进行清洗处理;步骤C,对步骤B得到的碳化硅晶圆进行洗涤、干燥处理,制得经处理的碳化硅晶圆;以步骤A至步骤C为1次处理计,对被金属污染的碳化硅晶圆进行N次处理,直至第N次处理所得经处理的碳化硅晶圆表面的金属离子浓度小于5×1010cm‑2;其中,N为正整数;当N≥2时,将第N‑1次处理所得经处理的碳化硅晶圆作为第N次处理的被金属污染的碳化硅晶圆进行预清洗处理。本发明方法操作简单,所用清洗装置简单,能有效去除碳化硅晶圆表面的金属杂质,对所有种类的金属离子污染都具有普适性。

    一种机器人协同控制方法及设备
    72.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110968055A

    公开(公告)日:2020-04-07

    申请号:CN201910950291.3

    申请日:2019-10-08

    Abstract: 本发明公开了一种机器人协同控制方法及设备,通过对至少两个机器人系统进行初始化,获取协同任务的控制指令;控制所述机器人系统之间建立基于wifi组网方式的通讯连接,使所述机器人系统之间完成通讯握手;将所述控制指令传输给所述机器人系统,指示所述机器人系统执行对应的所述控制指令。通过应用本申请的技术方案,机器人通过wifi通讯单元实现与其他机器人组网,采用wifi组网方式,网络开发成本低、数据带宽高、技术实现可靠。通过wifi无线组网方式,很好的实现了机器人的协同控制,使机器人集群可以在异常复杂环境下进行协同作业。

    碳化硅基肖特基接触制作方法及肖特基二极管制造方法

    公开(公告)号:CN107785250A

    公开(公告)日:2018-03-09

    申请号:CN201610785226.6

    申请日:2016-08-31

    Abstract: 本发明提供了一种碳化硅肖特基接触制作方法,包括以下步骤:a.在碳化硅基体表面溅射肖特基接触金属材料;b.将步骤a处理后的碳化硅基体进行加热处理;c.使步骤b处理后的碳化硅基体在惰性气氛下冷却;d.在冷却后的碳化硅基体表面进一步溅射阳极金属材料;e.先后刻蚀除去非肖特基接触区的阳极金属材料和肖特基接触材料,形成肖特基接触区。本发明还提供了一种碳化硅肖特基二极管的制造方法。本发明在形成肖特基接触图形中只需进行一次光刻,简化了肖特基接触的形成步骤。本发明提供的肖特基接触制作方法可有效防止肖特基接触金属被自然氧化,同时防止肖特基接触金属表面的有机物及颗粒的污染,从而提高肖特基接触和相应二极管的品质。

    一种水下机械臂末端位置补偿的方法、装置和水下机器人

    公开(公告)号:CN117984307A

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202211350809.8

    申请日:2022-10-31

    Abstract: 本发明实施例提供了一种水下机械臂末端位置补偿的方法、装置和水下机器人,解决了由于受到各个方向水流的扰动作用,使得机械臂基座难以保持稳定,从而直接影响机械臂末端的定位精度的问题。该方法包括:获取多个传感器数据,将多个传感器数据进行数据融合,以对水下机器人进行定位;建立全局坐标系和机械臂末端坐标系,获取机械臂末端坐标系相对于全局坐标系的目标位置;基于机械臂末端坐标系得到机械臂末端坐标系相对于全局坐标系的位置;基于机械臂末端坐标系相对于全局坐标系的目标位置和机械臂末端相坐标系对于全局坐标系的位置得到机械臂末端在全局坐标系下的位置偏差;基于机械臂末端在全局坐标系下的位置偏差进行机械臂末端位置补偿。

    一种永磁直线电机涡流制动系统
    78.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114915134A

    公开(公告)日:2022-08-16

    申请号:CN202110187188.5

    申请日:2021-02-10

    Abstract: 本申请公开了一种永磁直线电机涡流制动系统,当永磁直线电机高速运动进入到涡流制动定子时,该永磁直线电机的永磁动子产生的运动磁场会切割永磁直线电机涡流制动装置的鼠笼结构的定子电机绕组,从而产生感应电流阻碍永磁动子运动,形成涡流制动力,从而制动永磁动子,满足了超大功率和超高速度永磁直线电机的制动需求。永磁直线电机涡流制动系统包括:永磁直线电机涡流制动装置及永磁直线电机;永磁直线电机涡流制动装置包括涡流制动定子,永磁直线电机包括永磁动子;涡流制动定子包括定子铁心、鼠笼结构的定子电机绕组;当永磁动子在涡流制动定子中运动时,鼠笼结构的定子电机绕组产生感应电流,形成制动永磁动子的涡流制动力。

    一种磁浮车用双路输出功率电源及其控制方法

    公开(公告)号:CN112583273B

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202010625419.1

    申请日:2020-07-01

    Abstract: 本发明涉及一种双路输出的功率电源及其控制方法、一种功率电源系统,以及一种计算机可读存储介质。该功率电源包括:第一降压斩波模块,适于从直流供电网取电以输出直流中间电压;隔离变换模块,适于对所述中间电压进行隔离变换以输出两路直流供电电压,其中,第一供电电压适于作为第一路输出电压为磁浮列车的悬浮控制器和/或悬浮电池供电;以及第二降压斩波模块,适于对第二供电电压进行斩波调压,输出第二路输出电压为所述磁浮列车的直流辅助负载和/或辅助电池供电。本发明能够同时解决悬浮动力供电和其他直流辅助负载供电的问题,提高系统的集成度,并优化功率电源系统的体积、重量和成本。

    一种牵引变压器过流诊断保护装置及方法

    公开(公告)号:CN113933757A

    公开(公告)日:2022-01-14

    申请号:CN202010606528.9

    申请日:2020-06-29

    Abstract: 本发明涉及轨道交通装备领域,更具体的说,涉及一种牵引变压器过流诊断保护装置及方法。本发明提出的牵引变压器过流诊断保护装置,包括离线学习模块,对历史故障数据进行数据预处理和相关信号故障特征向量提取,基于决策树方法,对不同类型原边过流故障数据进行统计学习建模,生成决策树诊断模型;在线诊断保护模块,实时采样相关信号,与设定阀值进行比较生成故障分类使能标志,基于采集信号提取相关信号故障特征向量,结合决策树诊断模型进行故障判决,得到故障诊断结果,根据故障诊断结果执行对应的保护隔离策略。本发明实现牵引变压器过流的故障源精确识别并基于不同故障源进行差异化保护,有效提高设备可用性,提升列车运用效率。

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