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公开(公告)号：CN108022827B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201610950062.8
申请日：2016-11-02
Applicant: 株洲中车时代电气股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种碳化硅金属污染的处理方法，其包括：步骤A，采用清洗液对被金属污染的碳化硅晶圆进行预清洗处理；步骤B，通过电场作用对经预处理的碳化硅晶圆进行清洗处理；步骤C，对步骤B得到的碳化硅晶圆进行洗涤、干燥处理，制得经处理的碳化硅晶圆；以步骤A至步骤C为1次处理计，对被金属污染的碳化硅晶圆进行N次处理，直至第N次处理所得经处理的碳化硅晶圆表面的金属离子浓度小于5×1010cm‑2；其中，N为正整数；当N≥2时，将第N‑1次处理所得经处理的碳化硅晶圆作为第N次处理的被金属污染的碳化硅晶圆进行预清洗处理。本发明方法操作简单，所用清洗装置简单，能有效去除碳化硅晶圆表面的金属杂质，对所有种类的金属离子污染都具有普适性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108022827A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201610950062.8
申请日：2016-11-02
Applicant: 株洲中车时代电气股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种碳化硅金属污染的处理方法，其包括：步骤A，采用清洗液对被金属污染的碳化硅晶圆进行预清洗处理；步骤B，通过电场作用对经预处理的碳化硅晶圆进行清洗处理；步骤C，对步骤B得到的碳化硅晶圆进行洗涤、干燥处理，制得经处理的碳化硅晶圆；以步骤A至步骤C为1次处理计，对被金属污染的碳化硅晶圆进行N次处理，直至第N次处理所得经处理的碳化硅晶圆表面的金属离子浓度小于5×1010cm‑2；其中，N为正整数；当N≥2时，将第N‑1次处理所得经处理的碳化硅晶圆作为第N次处理的被金属污染的碳化硅晶圆进行预清洗处理。本发明方法操作简单，所用清洗装置简单，能有效去除碳化硅晶圆表面的金属杂质，对所有种类的金属离子污染都具有普适性。
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公开(公告)号：CN107785258A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201610785087.7
申请日：2016-08-31
Applicant: 株洲中车时代电气股份有限公司
IPC: H01L21/331 , H01L29/417
Abstract: 本发明涉及一种4H-SiC P型绝缘栅双极型晶体管的制备方法。该方法通过在发射极P+欧姆接触区域浅注入一层高浓度的铝离子，有利于控制欧姆接触退火后欧姆合金层中铝的组分，从而降低了P型4H-SiC欧姆接触的比接触电阻率，由此解决了4H-SiC P型绝缘栅双极型晶体管发射极P+源区和N+源区同时形成良好的欧姆接触P+源区比接触电阻率高的问题。本发明提供的4H-SiC P型绝缘栅双极型晶体管的制备方法具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN106926744A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201710220647.9
申请日：2017-04-06
Applicant: 株洲中车时代电气股份有限公司
IPC: B60L13/10
CPC classification number: B60L13/10
Abstract: 本发明公开了一种磁悬浮列车，包括转向架和牵引装置，转向架上设有与轨道垂向设置的悬浮电磁铁和与轨道横向设置的导向电磁铁；牵引装置为磁阻式直线电机，包括设置于轨道的次级反应板和设置于转向架的电枢电磁铁；磁阻式直线电机的各相电枢电磁铁串联连接，且在牵引方向上相距第一电角度，对应的次级反应板在牵引方向上相距第二电角度；还包括传感器和控制装置，传感器用于检测电枢电磁铁与次级反应板的相对位置，控制装置用于根据相对位置控制各相电枢电磁铁工作。本发明乘坐舒适、运行安全、选线灵活、节地环保、噪声低振动小等显著优势外，解决了现有中低速磁浮列车方案提速困难或高速磁浮列车造价高、运行维护复杂度高的缺点。
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公开(公告)号：CN107785258B
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201610785087.7
申请日：2016-08-31
Applicant: 株洲中车时代电气股份有限公司
IPC: H01L21/331 , H01L29/417
Abstract: 本发明涉及一种4H‑SiC P型绝缘栅双极型晶体管的制备方法。该方法通过在发射极P+欧姆接触区域浅注入一层高浓度的铝离子，有利于控制欧姆接触退火后欧姆合金层中铝的组分，从而降低了P型4H‑SiC欧姆接触的比接触电阻率，由此解决了4H‑SiC P型绝缘栅双极型晶体管发射极P+源区和N+源区同时形成良好的欧姆接触P+源区比接触电阻率高的问题。本发明提供的4H‑SiC P型绝缘栅双极型晶体管的制备方法具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN106926744B
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201710220647.9
申请日：2017-04-06
Applicant: 株洲中车时代电气股份有限公司
IPC: B60L13/10
Abstract: 本发明公开了一种磁悬浮列车，包括转向架和牵引装置，转向架上设有与轨道垂向设置的悬浮电磁铁和与轨道横向设置的导向电磁铁；牵引装置为磁阻式直线电机，包括设置于轨道的次级反应板和设置于转向架的电枢电磁铁；磁阻式直线电机的各相电枢电磁铁串联连接，且在牵引方向上相距第一电角度，对应的次级反应板在牵引方向上相距第二电角度；还包括传感器和控制装置，传感器用于检测电枢电磁铁与次级反应板的相对位置，控制装置用于根据相对位置控制各相电枢电磁铁工作。本发明乘坐舒适、运行安全、选线灵活、节地环保、噪声低振动小等显著优势外，解决了现有中低速磁浮列车方案提速困难或高速磁浮列车造价高、运行维护复杂度高的缺点。
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