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公开(公告)号:CN103053039B
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201280002260.1
申请日:2012-01-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , B41J2/045 , B41J2/14 , H01L41/314
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2202/03 , G01C19/5621 , H01L41/0815 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/316
Abstract: 本发明的压电体膜依次层叠有:仅具有(110)取向的第一电极、仅具有(110)取向的(NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75-BaTiO3层、仅具有(110)取向的(Bi,Na)TiO3-BaTiO3层和第二电极,其中x的值是0.29以上0.40以下。本发明的目的在于提供具有更高的结晶取向性、更高的压电常数和更高的强介电特性的BNT-BT压电体膜。
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公开(公告)号:CN103443946B
公开(公告)日:2015-04-22
申请号:CN201380000872.1
申请日:2013-02-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , B41J2/045 , B41J2/055 , G01C19/5607 , H01L41/083 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/22 , H01L41/39
CPC classification number: H01L41/1871 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , G01C19/56 , G01C19/5769 , H01L41/0477 , H01L41/0478 , H01L41/081 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/319
Abstract: 本发明的目的是提供一种具有高的结晶取向性和高的强介电特性的NBT-BT无铅压电体膜。本发明的压电体膜具备NaxM1-x层和(Bi,Na)TiO3-BaTiO3层。(Bi,Na)TiO3-BaTiO3层形成在NaxM1-x层上,M表示Pt、Ir或PtIr,x表示0.002以上0.02以下的值,NaxM1-x层和(Bi,Na)TiO3-BaTiO3层均仅具有(001)取向、仅具有(110)取向或仅具有(111)取向。
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公开(公告)号:CN102640315B
公开(公告)日:2014-11-26
申请号:CN201180004799.6
申请日:2011-06-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , B41J2/14 , H01L41/09 , H01L41/113
CPC classification number: H01L41/187 , B41J2/14032 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0478 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/316
Abstract: 本发明的压电体膜具备具有(001)取向的NaxLa1-xNiO3-x层和具有(001)取向的(Na,Bi)TiO3-BaTiO3层,x为0.01以上0.1以下,NaxLa1-xNiO3-x(0.01≤x≤0.1)层和(Na,Bi)TiO3-BaTiO3层被叠层。本发明的目的在于提供一种含有无铅强介电材料、具有低介电损失和与PZT同样的高压电性能的压电体膜及其制造方法。
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公开(公告)号:CN102414854B
公开(公告)日:2014-04-30
申请号:CN201180001918.2
申请日:2011-01-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/113 , H02N2/18
CPC classification number: H02N2/186 , H01L41/1134
Abstract: 本发明提供具备相对于外部振动难以损坏的两端固定式振动梁、并且发电量大、制造比较容易的压电发电元件,该元件具备支承体、带状的振动梁、压电体层和电极,振动梁的第一和第二端部固定在支承体上,压电体层和电极配置在振动梁的表面,振动梁在未振动的状态下在1个平面内伸展,具有从固定在支承体上的第一端部伸展的第一部分、从第二端部伸展的第二部分、连接第一部分中的与上述端部相反一侧的端部和第二部分中的与上述端部相反一侧的端部的第三部分,有从与上述平面垂直的方向观察时,第一部分伸展的第一方向和第二部分伸展的第二方向分别为接近上述端部的方向,具有相对于连接两个端部的中心之间的直线超过0°小于90°的角度,第三部分与上述直线交叉1次的形状。
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公开(公告)号:CN102165618B
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201080002741.3
申请日:2010-03-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/319 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , G01C19/5628
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , G01C19/5628 , H01L41/0478 , H01L41/0815 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 本发明提供含有无铅铁电材料的、表现出与锆钛酸铅(PZT)相同等级的高压电性能的压电体薄膜及其制造方法。本发明的压电体薄膜具备:具有(001)取向的LaNiO3膜、具有(001)取向的NaNbO3膜和具有(001)取向的(Bi,Na,Ba)TiO3膜,上述LaNiO3膜、上述NaNbO3膜和上述(Bi,Na,Ba)TiO3膜依此顺序层叠。
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公开(公告)号:CN102047085B
公开(公告)日:2013-01-16
申请号:CN200980120321.2
申请日:2009-11-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供具有高检测灵敏度的辐射检测器和辐射检测方法。本发明的辐射检测器包括:Al2O3基板;叠层在Al2O3基板上的Fe2O3薄膜;叠层在Fe2O3薄膜上,CoO2面相对于Al2O3基板表面倾斜而排列的CaxCoO2(其中,0.15<x<0.55)薄膜;配置在CaxCoO2薄膜上的第一电极;和位于CaxCoO2薄膜上,在CoO2面倾斜排列的方向上,配置在与第一电极相对的位置上的第二电极。
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公开(公告)号:CN102844900A
公开(公告)日:2012-12-26
申请号:CN201180019117.9
申请日:2011-06-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/18 , H01L41/187 , G01C19/5733 , B41J2/045 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/22
CPC classification number: G01P15/09 , B41J2/14233 , B41J2002/14258 , G01C19/56 , G01C19/5628 , H01L41/0478 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/1878 , H01L41/316
Abstract: 本发明的目的是提供一种具有钙钛矿型复合氧化物(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2-BaTiO3层、能够测定准确的角速度的角速度传感器、能够排出准确的量的墨水的喷墨头和能够利用正压电效应发电的压电发电元件。在本发明中,使用具备第一电极、压电体层和第二电极的压电体膜,第一电极具备具有(001)取向的电极层,压电体层具备具有(001)取向的(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2-BaTiO3(0.30≤x≤0.46且0.51≤y≤0.62)层。
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公开(公告)号:CN102639431A
公开(公告)日:2012-08-15
申请号:CN201180004826.X
申请日:2011-06-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/094 , H01L41/042 , H01L41/187 , H01L41/316
Abstract: 本发明提供一种驱动致动器的方法,致动器具有第一电极、由(Bi,Na,Ba)TiO3构成的压电体层和第二电极,压电体层夹在第一电极与第二电极之间,+X方向、+Y方向、+Z方向分别为[100]方向、[01-1]方向和[011]方向,压电体层优先在+Z方向取向,通过在第一电极与第二电极之间施加电位差,使致动器驱动。从而抑制致动器驱动时的不必要的变形。
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公开(公告)号:CN102113145A
公开(公告)日:2011-06-29
申请号:CN201080001737.5
申请日:2010-01-13
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/09 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , C23C14/06 , C23C14/08 , C23C14/34 , G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/113 , H01L41/18 , H01L41/22 , H01L41/24 , H02N2/00
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2202/03 , C23C14/024 , C23C14/08 , G01C19/5628 , H01L41/094 , H01L41/316 , H01L41/318 , H01L41/319 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供包括不含铅的强介电材料的压电体薄膜,即,表现出与锆钛酸铅(PZT)同等水平的高压电性能的压电体薄膜及其制造方法,本发明的压电体薄膜具备有(001)取向的LaNiO3膜、由有(001)取向,用化学式ABO3(A用(Bi,Na)1-xCx(0≤x<1)表示,B是Ti或者TiZr,C是Na以外的碱金属)表示的化合物构成的界面层、有(001)取向的(Bi,Na,Ba)TiO3膜,顺序叠层所述LaNiO3膜、所述界面层以及所述(Bi,Na,Ba)TiO3膜。
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公开(公告)号:CN102047458A
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN200980120313.8
申请日:2009-10-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L35/32
Abstract: 本发明的热发电器件具备:相互相对配置的第一电极和第二电极;和叠层体,其夹在第一电极和第二电极之间,与第一电极和第二电极的双方电连接,在与作为第一电极和第二电极相对的方向的电动势取出方向正交的方向上叠层。叠层体具有热电材料层和以夹着热电材料层的方式配置的第一夹持层和第二夹持层,第一夹持层和第二夹持层分别具有金属和绝缘体交替叠层的叠层构造,该叠层构造的叠层方向与叠层体的叠层面平行,并且是相对于电动势取出方向倾斜的方向,第一夹持层的绝缘体与第二夹持层的绝缘体按照在该叠层方向上交替出现的方式配置,通过在与叠层体的叠层方向正交并且与电动势取出方向正交的方向上产生温差,经第一电极和第二电极输出电力。
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