电容装置、以及半导体装置

    公开(公告)号:CN220753440U

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202322124986.0

    申请日:2023-08-08

    Abstract: 一种电容装置、以及半导体装置,电容装置包含半导体基材与凹槽在半导体基材中。绝缘结构设在凹槽中。电容装置也包含半导体柱从半导体基材凸伸,且绝缘结构围绕半导体柱。单晶半导体区设在半导体柱上,且绝缘结构围绕半导体柱以形成电容装置的底板。电容装置包含电容介电层设在底板上以及顶板设在电容介电层上。

    沉积工具
    66.
    实用新型

    公开(公告)号:CN221440846U

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202322497787.4

    申请日:2023-09-14

    Abstract: 本实用新型的实施例提供一种沉积工具包含磁体组件、单个阴极以及用于使支撑半导体衬底的底座偏压的电源电路。在沉积惰性金属材料的沉积操作期间,沉积工具可调变自包含具有不同磁场强度范围的螺旋形频带的磁体组件发出的电磁场。沉积工具可具有相对于没有磁体组件、单个阴极以及电源电路的物理气相沉积工具增加的产出量。惰性金属材料可具有相对于不使用磁体组件、单个阴极以及电源电路的沉积工具沉积的惰性金属材料的晶粒大小更大的晶粒大小。

    封装结构以及叠层封装结构

    公开(公告)号:CN221977912U

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202420316927.5

    申请日:2024-02-20

    Abstract: 本实用新型提供一种封装结构包括第一封装。第一封装具有有源区以及围绕有源区的周边区。第一封装包括第一重布线结构、第二重布线结构、管芯、包封体以及密封环结构。第二重布线结构配置于第一重布线结构上。管芯配置于有源区中,且位于第一重布线结构与第二重布线结构之间。包封体横向包封管芯。密封环结构配置于周边区中。密封环结构的第一部分嵌入第一重布线结构中,且密封环结构的第二部分嵌入第二重布线结构中。

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