体声波谐振器
    53.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112311351A

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN202010748289.0

    申请日:2020-07-30

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板;下电极,设置在所述基板上;压电层,至少部分地覆盖所述下电极;以及上电极,至少部分地覆盖所述压电层。在所述体声波谐振器的表面上,所述下电极、所述压电层和所述上电极全部彼此重叠的有效区域的质心与限定所述有效区域的高宽比的矩形的中心对准。所述有效区域具有相对于穿过限定所述高宽比的所述矩形的所述中心的至少一个轴对称的多边形的形状。所述高宽比大于等于2且小于等于10。

    声波谐振器及其制造方法
    54.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111327290A

    公开(公告)日:2020-06-23

    申请号:CN201910584478.6

    申请日:2019-07-01

    Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及其制造方法,所述声波谐振器包括:基板;谐振部,包括在所述基板上顺序地堆叠有第一电极、压电层和第二电极的中央部和沿着所述中央部的外周设置的延伸部;以及第一金属层,设置在所述谐振部的外部,以电连接到所述第一电极。所述延伸部包括下插入层,所述下插入层设置在所述第一电极的上表面或所述第一电极的下表面上。所述压电层包括压电部和弯曲部,所述压电部设置在所述中央部中,所述弯曲部设置在所述延伸部中并且根据所述下插入层的形状而倾斜地从所述压电部延伸。所述下插入层利用导电材料形成,以使所述第一电极与所述第一金属层之间的电路径延伸。

    体声波谐振器
    55.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109412549A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201810859849.2

    申请日:2018-08-01

    Abstract: 提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;下电极,形成在所述基板上,并且所述下电极的至少一部分形成在腔上;压电层,形成在所述下电极上;上电极,形成在所述压电层上;膜层,形成在所述下电极下方,并且与所述基板一起形成所述腔;以及突出部,形成在所述膜层上,并且在远离所述膜层延伸的方向上形成在所述腔中。

    声波谐振器及其制造方法
    59.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107404304A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201611233848.4

    申请日:2016-12-28

    Abstract: 提供了一种声波谐振器及其制造方法,所述声波谐振器包括:基板;谐振部,包括顺序地堆叠在基板上的下电极、压电层和上电极以及沿着上电极的边缘形成在上电极上的框架;沟槽部,形成在谐振部的至少一侧并使得谐振部的厚度是不均匀的。

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