公开(公告)号：CN110573653A

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201880025698.9

申请日：2018-03-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： R·博卡 ,  J·M·沙勒 ,  J·D·平森二世 ,  L·布恩卡特

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/458 ,  C23C16/52 ,  C23C16/505 ,  C23C16/503 ,  C23C16/517

Abstract: 提供一种等离子体处理设备，包含：射频功率源；直流功率源；腔室，所述腔室封围处理容积；以及基板支撑组件，所述基板支撑组件被设置在所述处理容积中。所述基板支撑组件包含：基板支撑件，所述基板支撑件具有基板支撑表面；电极，所述电极被设置在所述基板支撑件中；以及互连组件，所述互连组件将所述射频功率源和所述直流功率源与所述电极耦合。

公开(公告)号：CN105874888A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201580003720.6

申请日：2015-01-23

Applicant: 应用材料公司

Inventor： Z·J·叶 ,  J·D·平森二世 ,  塙广二 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/34

CPC classification number: H01J37/3211 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/32522 ,  H01J37/32669

Abstract: 一种等离子体源包括：等离子体容器，所述等离子体容器包括电介质材料，所述等离子体容器围封环形形状的空腔。所述环形形状界定贯穿该环形形状的环形轴。所述容器形成输入和输出连接装置，输入和输出连接装置中的每一个与空腔流体地连通。一个或更多个金属板设置成邻近等离子体容器以用于冷却所述等离子体容器。磁芯沿所述环形轴而设置，使得所述磁芯的相应的第一端和第二端延伸超出等离子体容器的轴向相对的各侧。第一和第二感应线圈缠绕磁芯的相应的第一端和第二端。当通过所述输入连接装置供应输入气体并且将振荡电流供应至所述第一和第二感应线圈时，在所述空腔中生成等离子体。

公开(公告)号：CN105977125B

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：CN201610141134.4

申请日：2016-03-11

Applicant: 应用材料公司

Inventor： A·A·哈贾 ,  M·阿优伯 ,  R·博卡 ,  J·D·平森二世 ,  J·C·罗查-阿尔瓦瑞斯

IPC: H01J37/32

Abstract: 提供了一种等离子体源，所述等离子体源包括沿第一轴从第一端延伸到第二端的核芯元件。等离子体源进一步包括围绕核芯元件的相应的一个或多个第一部分而设置的一个或多个线圈。等离子体源进一步包括具有一个或多个内壁的等离子体块，所述一个或多个内壁至少部分地包围环形等离子体生成容积，所述环形等离子体生成容积围绕核芯元件的第二部分而设置。环形等离子体生成容积包括第一区域，所述第一区域关于多个垂直轴对称，所述多个垂直轴垂直于定位在第一轴上的第一点，所述第一区域具有在平行于所述第一轴的方向上的宽度以及在垂直于所述第一轴的方向上的深度。第一区域具有至少比第一区域的深度大三倍的宽度。

公开(公告)号：CN108292589A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201680068218.8

申请日：2016-11-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·C·保罗 ,  J·D·平森二世 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 ,  H·K·博尼坎帝 ,  R·乔德里 ,  S·阿特尼 ,  S·坎帕拉 ,  H·K·帕纳瓦拉皮尔库马兰库提

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/66 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01L21/67253 ,  G05B19/041 ,  G05B19/401 ,  G05B2219/31459 ,  G05B2219/40066 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/67389 ,  H01L21/67724 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68764

Abstract: 本公开的实施方案大体而言是关于一种改良的工厂接口，该工厂接口耦接到设以测量基板的膜性质的板载计量壳体。在一个实施方案中，一种设备包含工厂接口以及计量壳体，该计量壳体通过装载端口可移除地耦接到该工厂接口，该计量壳体包含板载计量组件，用于测量将被移送到该计量壳体中的基板的性质。

公开(公告)号：CN105977125A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201610141134.4

申请日：2016-03-11

Applicant: 应用材料公司

Inventor： A·A·哈贾 ,  M·阿优伯 ,  R·博卡 ,  J·D·平森二世 ,  J·C·罗查-阿尔瓦瑞斯

IPC: H01J37/32

Abstract: 提供了一种等离子体源，所述等离子体源包括沿第一轴从第一端延伸到第二端的核芯元件。等离子体源进一步包括围绕核芯元件的相应的一个或多个第一部分而设置的一个或多个线圈。等离子体源进一步包括具有一个或多个内壁的等离子体块，所述一个或多个内壁至少部分地包围环形等离子体生成容积，所述环形等离子体生成容积围绕核芯元件的第二部分而设置。环形等离子体生成容积包括第一区域，所述第一区域关于多个垂直轴对称，所述多个垂直轴垂直于定位在第一轴上的第一点，所述第一区域具有在平行于所述第一轴的方向上的宽度以及在垂直于所述第一轴的方向上的深度。第一区域具有至少比第一区域的深度大三倍的宽度。

公开(公告)号：CN205657041U

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：CN201620190681.7

申请日：2016-03-11

Applicant: 应用材料公司

Inventor： A·A·哈贾 ,  M·阿优伯 ,  R·博卡 ,  J·D·平森二世 ,  J·C·罗查-阿尔瓦瑞斯

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32458 ,  H01J37/3211 ,  H01J37/32357

Abstract: 提供了一种耦接至工艺腔室的等离子体源，所述等离子体源包括沿第一轴从第一端延伸到第二端的核芯元件。耦接至工艺腔室的等离子体源进一步包括围绕核芯元件的相应的一个或多个第一部分而设置的一个或多个线圈。耦接至工艺腔室的等离子体源进一步包括具有一个或多个内壁的等离子体块，所述一个或多个内壁至少部分地包围环形等离子体生成容积，所述环形等离子体生成容积围绕核芯元件的第二部分而设置。环形等离子体生成容积包括第一区域，所述第一区域关于多个垂直轴对称，所述多个垂直轴垂直于定位在第一轴上的第一点，所述第一区域具有在平行于所述第一轴的方向上的宽度以及在垂直于所述第一轴的方向上的深度。第一区域具有至少比第一区域的深度大三倍的宽度。