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公开(公告)号：CN106756832B
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201611229097.9
申请日：2016-12-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将锻造后的坯料酸洗后热处理，所述热处理的升温速率为10～50℃/min；B)将热处理后的坯料放置于轧机的工装上进行轧制；C)将轧制后的坯料进行酸洗，再进行热处理，得到靶材；所述热处理的升温速率为10～50℃/min。本发明通过采用特殊的轧制工装和快速升温热处理工艺，可制备直径在400～1000mm，厚度在6～30mm的大规格靶材，且使该种靶材获得的{111}、{100}织构组分比例控制在20～40％，织构组分分布波动控制在10％以内，能满足28nm及以下制程的半导体应用。
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公开(公告)号：CN106756832A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611229097.9
申请日：2016-12-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414 , C22F1/18
Abstract: 本发明提供了一种靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将锻造后的坯料酸洗后热处理，所述热处理的升温速率为10～50℃/min；B)将热处理后的坯料放置于轧机的工装上进行轧制；C)将轧制后的坯料进行酸洗，再进行热处理，得到靶材；所述热处理的升温速率为10～50℃/min。本发明通过采用特殊的轧制工装和快速升温热处理工艺，可制备直径在400～1000mm，厚度在6～30mm的大规格靶材，且使该种靶材获得的{111}、{100}织构组分比例控制在20～40％，织构组分分布波动控制在10％以内，能满足28nm及以下制程的半导体应用。
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公开(公告)号：CN101733544B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201010046315.1
申请日：2010-01-15
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23K20/22 , B23K20/24 , B23K20/14 , B23K103/18
Abstract: 本发明是一种钽和铜、铝、钛异种金属的扩散焊接方法，其工艺过程依次为：焊接表面光洁处理、焊接表面清洗，被焊物包套抽真空，热等静压处理。本发明和现有钽材和其他金属材料的扩散焊接方法的优点有三点：第一：本发明提高了材料的利用率；第二：本发明简便了生产加工过程，提高了生产效率；第三：本发明也有利于靶材使用后的材料回收，包括回收钽材的利用率和回收方法简便。
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公开(公告)号：CN111940745B
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202010605848.2
申请日：2020-06-29
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种大松装冶金级钽粉的制造方法。其特点是，包括如下步骤：(1)取钠还原冶金级钽粉或者电容器用钽粉；(2)将钽粉用等静压成型压制成钽条；(3)对得到的钽条进行破碎过筛，得到松装密度在3.0‑5.0g/cm3之间的钽粉；(4)对得到的钽粉进行降氧；(5)对得到的钽粉进行酸洗除杂、烘干和过筛，得到松装密度在3.5‑5.0g/cm3之间，氧含量小于800ppm，D90＜80μm的大松装冶金级钽粉。本发明的优点是：1)降低生产过程中使用氢气的风险。由于避免了氢气的使用，降低了生产过程的风险。
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公开(公告)号：CN103146974B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201310102061.4
申请日：2013-03-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种靶材用钼铌合金板的制备方法。其特点是，包括如下步骤：首先将钼粉和铌粉按照5～15：85～95的质量比混合得到混合粉，将该混合粉压成合金坯，然后进行烧结，烧结过程中通入氢气进行保护，当烧结温度到1000℃保温2～3小时，再升温到1700℃保温2～3小时，然后升温到1950℃保温8～10小时，最终烧结成合金坯状，再经过1200～1400℃高温煅造后在1500～1600℃下轧制成板材即可。本发明提供了一种成本低廉，质量等各方面能满足要求的靶材用钼铌合金板的新方法，产品主要应用于平板显示器等领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103436718B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310358903.2
申请日：2013-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种高纯金属镧的制取方法。其特征在于，包括如下步骤：取无水氯化镧作为原料1，取氯化钠、氯化钾、氯化镁和氯化钙中的至少一种作为原料2，摩尔比为2-10：10，然后放在坩埚内，再放入金属钠，金属钠的用量占氯化镧摩尔比1-5%，以及占氯化镧摩尔比5-20%的金属锌或金属镁，再抽真空后加热，达到300℃-400℃时充入惰性气体，再升温至600℃-800℃开始还原，保温2h-5h结束后再升至850℃-950℃，然后将还原产物浇铸到铸模中，待冷却后将该金属棒在坩埚中900℃-1000℃精馏5-10小时即得。根据分析数据表明制备的金属镧化学杂质含量低于0.05%，样品的纯度在99.95%以上。
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公开(公告)号：CN103436718A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201310358903.2
申请日：2013-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种高纯金属镧的制取方法。其特征在于，包括如下步骤：取无水氯化镧作为原料1，取氯化钠、氯化钾、氯化镁和氯化钙中的至少一种作为原料2，摩尔比为2-10：10，然后放在坩埚内，再放入金属钠，金属钠的用量占氯化镧摩尔比1-5%，以及占氯化镧摩尔比5-20%的金属锌或金属镁，再抽真空后加热，达到300℃-400℃时充入惰性气体，再升温至600℃-800℃开始还原，保温2h-5h结束后再升至850℃-950℃，然后将还原产物浇铸到铸模中，待冷却后将该金属棒在坩埚中900℃-1000℃精馏5-10小时即得。根据分析数据表明制备的金属镧化学杂质含量低于0.05%，样品的纯度在99.95%以上。
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公开(公告)号：CN102658346A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210098935.9
申请日：2012-04-06
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 一种大规格钽靶材的锻造方法，是采用打方拔长、打圆、镦粗锻造手段、中间配合热处理的方法，实现大规格钽靶材的均质化；具体步骤之一为：第一步，打方拔长；第二步，定尺锯料，根据最终成品的2～2.5倍重量计算，锯料；第三步，酸洗；第四步，热处理，热处理温度为钽材料熔点的25%-50%，保温时间为60～150min；第五步，二次锻造，镦粗，在镦粗时，上下平面涂润滑油；第六步，酸洗，同第三步；第七步，热处理，同第四步，第八步，三次锻造，打圆，用精锻机对坯料进行找圆。
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公开(公告)号：CN101704187B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200910117586.9
申请日：2009-11-13
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明是一种钽靶材的织构形成方法，以钽锭为原料，其工艺过程依次为：锻造、酸洗、热处理、轧制、二次酸洗、二次热处理、校平、下料、车削。本发明在应用时，在溅射中会使被溅射的晶粒溅射速率趋近相同、溅射原子角度分布轨迹趋近相同，这样就会获得薄膜厚度均匀一致的镀层，同时，钽靶的材料使用率亦得到大幅提高，本发明不仅填补了我国此方面的研究空白，同时也站在了世界上的技术前沿。
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公开(公告)号：CN108147459B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201711459974.6
申请日：2017-12-28
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 一种低氨气使用量的氧化铌或者氧化钽的制备方法，将氟铌酸或者氟钽酸溶液，调整至HF酸含量为4mol/L以上，有机采用MIBK（甲基异丁基甲酮）或者仲辛醇溶液，在6‑12级的萃取槽中采用逆流萃取的方式，有机相与水相比率为1：3至3：1，将氟钽酸或者氟铌酸萃取至有机溶液中，萃取后的溶液浓度设定在100‑150g/L，蒸馏并回收MIBK或者仲辛醇溶液，剩余白色物质继续加热，并通入水蒸气，加入汽油或者乙醇，将溶液以喷雾的形式进入到燃烧室，控制温度800‑1200℃，得到白色氧化钽或者氧化铌产品，再通过洗涤，低温焙烧，得到了最终产品。采用本发明制备方法，可以减少氨气的使用量，节省成本，有利于环保。
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