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公开(公告)号：CN103861982B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201210551252.4
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B21J5/00
Abstract: 本发明提供了一种铌旋转靶材铸锭的锻造方法，包括以下步骤：将铌铸锭第一次预热，在预热后的铌铸锭表面涂覆第一抗氧化涂层；将涂覆第一抗氧化涂层后的铌铸锭进行第一次热锻，将第一次热锻后的铌铸锭进行第一次热处理；将第一次热处理后的铌铸锭进行第二次热锻，将第二次热锻后的铌铸锭进行第二次热处理。本发明主要采用锻造的方式对铌铸锭进行处理，使得铸锭中部及心部的柱状晶区得到充分破碎，从而改善铌铸锭的铸造态组织的不均匀程度；另一方面，通过两次锻造，消除了铌铸锭铸造态的枝晶、晶带、非等轴晶及粗晶等不良组织的存在，使铌铸锭的内部晶粒组织得到充分细化，最终得到了内部晶粒均匀的铌旋转靶材用铌坯。
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公开(公告)号：CN103866245A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201210551195.X
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414
Abstract: 本发明提供了一种铌合金靶材的制备方法，首先将铌合金管坯进行热挤压，然后将热挤压后的铌合金管坯进行内孔的加工，从而得到铌合金靶材。本发明在制备铌合金靶材的过程中，首先在铌合金管坯表面涂抹了玻璃粉，由于铌合金管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在热挤压过程中具有较好的润滑效果，从而使铌合金管坯的表面质量较好；随后的热挤压加工与热处理有助于铌合金管坯晶粒的细化与均匀化；最后将热挤压后的铌合金管坯进行机加工，通过选用特殊刀具对铌合金管坯的内孔进行镗铣，使断屑能够连续自内孔排出，避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题，从而得到了内部晶粒均匀细小和表面粗糙度值较低的铌合金靶材。本发明还提供了一种铌合金靶材。
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公开(公告)号：CN103861982A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201210551252.4
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B21J5/00
Abstract: 本发明提供了一种铌旋转靶材铸锭的锻造方法，包括以下步骤：将铌铸锭第一次预热，在预热后的铌铸锭表面涂覆第一抗氧化涂层；将涂覆第一抗氧化涂层后的铌铸锭进行第一次热锻，将第一次热锻后的铌铸锭进行第一次热处理；将第一次热处理后的铌铸锭进行第二次热锻，将第二次热锻后的铌铸锭进行第二次热处理。本发明主要采用锻造的方式对铌铸锭进行处理，使得铸锭中部及心部的柱状晶区得到充分破碎，从而改善铌铸锭的铸造态组织的不均匀程度；另一方面，通过两次锻造，消除了铌铸锭铸造态的枝晶、晶带、非等轴晶及粗晶等不良组织的存在，使铌铸锭的内部晶粒组织得到充分细化，最终得到了内部晶粒均匀的铌旋转靶材用铌坯。
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公开(公告)号：CN103009000A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210551253.9
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23P15/00
CPC classification number: C23C14/14 , C23C14/3414
Abstract: 本发明提供了一种铌靶材的制备方法，首先将铌管坯进行热挤压，然后将热挤压后的铌管坯进行内孔的加工，从而得到铌靶材。本发明在制备铌靶材的过程中，首先在铌管坯表面涂抹了玻璃粉，由于铌管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在挤压过程中具有较好的润滑效果，从而使铌管坯的表面质量较好；随后的热挤压加工与热处理有助于铌管坯晶粒的细化与均匀化；最后将挤压后的铌管坯进行机加工，通过选用特殊刀具对铌管坯的内孔进行镗铣，使断屑能够连续自内孔排出，避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题，从而得到了内部晶粒均匀和表面粗糙度值较低的铌靶材。本发明还提供了一种铌靶材。
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公开(公告)号：CN101920438A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010258811.3
申请日：2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，切割连接豁口，酸洗，卷圆，将连接豁口连接，整形，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边滚花，去除连接豁口即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101733544A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN201010046315.1
申请日：2010-01-15
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23K20/22 , B23K20/24 , B23K20/14 , B23K103/18
Abstract: 本发明是一种钽和铜、铝、钛异种金属的扩散焊接方法，其工艺过程依次为：焊接表面光洁处理、焊接表面清洗，被焊物包套抽真空，热等静压处理。本发明和现有钽材和其他金属材料的扩散焊接方法的优点有三点：第一：本发明提高了材料的利用率；第二：本发明简便了生产加工过程，提高了生产效率；第三：本发明也有利于靶材使用后的材料回收，包括回收钽材的利用率和回收方法简便。
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公开(公告)号：CN102909299B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201210291657.9
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: B21J5/06
Abstract: 本发明涉及一种高性能钽靶材的热锻工艺，其工艺步骤为：首先将钽锭采用冷锻法进行一次锻造，随后酸洗、热处理后采用热锻法进行二次锻造，再次酸洗和热处理后采用热锻法进行三次锻造。本发明对应用于高性能钽靶材的大直径（直径大于等于160mm）钽锭通过冷锻结合热锻工艺进行锻造，并配以合适的热处理工艺，得到产品需要的晶粒尺寸和织构组分。利用本发明所生产的轧制坯料可获得靶材厚度方向（100）织构比例在50％以上，并且均匀一致，满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材，与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。
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公开(公告)号：CN103866244A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201210550283.8
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种铌管状靶材的生产方法，包括以下步骤：将铌管坯进行第一次加热；向加热后的铌管坯表面第一次喷涂玻璃粉；将喷涂玻璃粉后的铌管坯进行热挤压；将热挤压后的铌管坯进行酸洗；将酸洗后的铌管坯进行热处理，得到铌管状靶材。本发明将玻璃粉喷涂至铌管坯的表面，由于玻璃粉导热系数较小，其存在于铌管坯与挤压机工模具接触面之间，形成一层绝热、抗氧化层，从而使铌管坯易于成型；另一方面，由于铌管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在挤压过程中具有较好的润滑效果，避免了与铌管坯表面粘连的问题，从而使铌管坯的表面质量较好，同时由于玻璃粉的润滑效果，使铌管状靶材挤压易成型。本发明还提供了一种铌管状靶材。
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公开(公告)号：CN102990216A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210291643.7
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23K15/00
Abstract: 本发明涉及一种一次真空将溅射钽环件凸台焊接在环体上的方法，其特征是：首先将凸台和环件分别酸洗，然后将所有凸台固定在环件上，最后将固定好凸台的环件装夹在三爪卡盘上，通过W轴的旋转依次完成多个凸台的焊接。本发明采用夹具将凸台和环体进行固定，然后进行电子束焊接，这样只需要抽一次真空即可完成所有凸台的焊接，最大限度的简化了加工工艺，从而大大提高了加工效率，降低了加工成本，同时由于先将凸台全部固定，避免电子束焊接时凸台变形，减少了废品的产生，提高了加工质量。
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公开(公告)号：CN102989767A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210291462.4
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414
Abstract: 本发明涉及一种高性能钽靶材的热轧工艺，该方法首先将锻造坯料预热至900－1200℃，然后轧制，酸洗至钽金属光泽无杂斑即可。本发明通过对加热轧制生产高性能钽靶材轧制坯料，利用该高性能轧制坯料可获得靶材厚度方向（100）织构占优的织构组分（所占比例在50％以上），并且均匀一致，满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材，与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。
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