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公开(公告)号：CN101920437A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010258810.9
申请日：2010-08-20
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
摘要： 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，圆弧铣削，上下表面滚花，圆周滚花，卷圆即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
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公开(公告)号：CN101920439B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201010258812.8
申请日：2010-08-20
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆焊接滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，卷圆，将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边圆弧滚花，切断焊口即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
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公开(公告)号：CN101920436A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010258809.6
申请日：2010-08-20
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明涉及一种溅射钽环件用钽条的制备工艺，其工艺过程为：首先将钽料采用先打方再拍扁的方式锻造，随后在1000℃～1100℃温度条件下热处理，保温时间60min～120min，采用换向轧制发开坯轧制，在1000℃～1100℃温度条件下进行第二次热处理，保温时间60min～120min，采用单项单向轧制进行成品轧制，最后在1200℃～1400℃温度条件下进行第三次热处理，保温时间120min～180min，校平下料即得。本发明可以将材料利用率提高6个百分点，由于简化了加工工艺，可以提高产品的加工效率，同时由于压力加工的工序要求易于操作、控制，工艺的一致性容易保证，产品的材料性能一致性也容易保证。
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公开(公告)号：CN101920435A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010258806.2
申请日：2010-08-20
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明涉及一种溅射钽环件的制备工艺，其工艺过程为：首先制备环件用钽条，卷圆后将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，切断焊口，进行端头滚花，然后在环件表面加工焊接槽口，酸洗，将凸台焊接在上述环件表面的焊接槽口上，再次酸洗，在规定区域内喷砂，最后利用超声波进行清洗即可。通过本发明制备的溅射钽环件各项性能指标满足半导体行业的使用要求，本发明工艺简单，加工难度小，加工效率高。
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公开(公告)号：CN101920438B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201010258811.3
申请日：2010-08-20
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，切割连接豁口，酸洗，卷圆，将连接豁口连接，整形，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边滚花，去除连接豁口即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
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公开(公告)号：CN101920435B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201010258806.2
申请日：2010-08-20
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明涉及一种溅射钽环件的制备工艺，其工艺过程为：首先制备环件用钽条，卷圆后将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，切断焊口，进行端头滚花，然后在环件表面加工焊接槽口，酸洗，将凸台焊接在上述环件表面的焊接槽口上，再次酸洗，在规定区域内喷砂，最后利用超声波进行清洗即可。通过本发明制备的溅射钽环件各项性能指标满足半导体行业的使用要求，本发明工艺简单，加工难度小，加工效率高。
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公开(公告)号：CN101920437B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201010258810.9
申请日：2010-08-20
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
摘要： 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，圆弧铣削，上下表面滚花，圆周滚花，卷圆即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
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公开(公告)号：CN101920438A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010258811.3
申请日：2010-08-20
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，切割连接豁口，酸洗，卷圆，将连接豁口连接，整形，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边滚花，去除连接豁口即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
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公开(公告)号：CN101920436B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201010258809.6
申请日：2010-08-20
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明涉及一种溅射钽环件用钽条的制备工艺，其工艺过程为：首先将钽料采用先打方再拍扁的方式锻造，随后在1000℃～1100℃温度条件下热处理，保温时间60min～120min，采用换向轧制发开坯轧制，在1000℃～1100℃温度条件下进行第二次热处理，保温时间60min～120min，采用单项单向轧制进行成品轧制，最后在1200℃～1400℃温度条件下进行第三次热处理，保温时间120min～180min ，校平下料即得。本发明可以将材料利用率提高6个百分点，由于简化了加工工艺，可以提高产品的加工效率，同时由于压力加工的工序要求易于操作、控制，工艺的一致性容易保证，产品的材料性能一致性也容易保证。
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公开(公告)号：CN101920439A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010258812.8
申请日：2010-08-20
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆焊接滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，卷圆，将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边圆弧滚花，切断焊口即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
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