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公开(公告)号:CN101920435A
公开(公告)日:2010-12-22
申请号:CN201010258806.2
申请日:2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件的制备工艺,其工艺过程为:首先制备环件用钽条,卷圆后将钽条两端焊接,热处理,整形,内外表面滚花,切断焊口,进行端头滚花,然后在环件表面加工焊接槽口,酸洗,将凸台焊接在上述环件表面的焊接槽口上,再次酸洗,在规定区域内喷砂,最后利用超声波进行清洗即可。通过本发明制备的溅射钽环件各项性能指标满足半导体行业的使用要求,本发明工艺简单,加工难度小,加工效率高。
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公开(公告)号:CN101920435B
公开(公告)日:2012-01-11
申请号:CN201010258806.2
申请日:2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件的制备工艺,其工艺过程为:首先制备环件用钽条,卷圆后将钽条两端焊接,热处理,整形,内外表面滚花,切断焊口,进行端头滚花,然后在环件表面加工焊接槽口,酸洗,将凸台焊接在上述环件表面的焊接槽口上,再次酸洗,在规定区域内喷砂,最后利用超声波进行清洗即可。通过本发明制备的溅射钽环件各项性能指标满足半导体行业的使用要求,本发明工艺简单,加工难度小,加工效率高。
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公开(公告)号:CN103240417B
公开(公告)日:2016-02-10
申请号:CN201310200279.3
申请日:2013-05-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及金属材料技术领域。本发明提供了一种钽带及其制备方法,所述钽带的制备方法具体包括:a)将钽粉进行烧结,得到钽棒,将所述钽棒进行锻造;b)将步骤a)得到的钽棒进行轧制,将轧制得到的钽条进行热处理;c)将步骤b)得到的钽条再次进行轧制,将再次轧制得到的钽条再次进行热处理,得到钽带。在制备钽带的过程中,首先经过高温烧结后得到了晶粒均匀细小的初始钽棒,然后将钽棒进行锻造,使其发生变形,最后将钽棒进行了两次轧制,使钽棒在多个方向进行加工,有利于钽棒的各向均匀性;同时本发明在轧制之后进行了热处理,从而消除加工过程的残余应力,使最终制备的钽带为均匀细小的等轴晶。
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公开(公告)号:CN103219459B
公开(公告)日:2015-12-09
申请号:CN201310153570.X
申请日:2013-04-28
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: H01L39/24
Abstract: 本发明涉及金属材料技术领域。本发明提供了一种超导铌管及其制备方法,制备超导铌管的过程具体为:将超导铌锭进行锻造,所述锻造的过程中温度小于等于60℃;将锻造后的超导铌锭进行第一次热处理;在第一次热处理后的超导铌锭表面涂覆润滑剂,然后进行反挤压;将反挤压后的超导铌管坯进行第二次热处理,得到超导铌管。本发明在锻造过程中,通过控制锻造的温度,并且由于在挤压过程中,在铌锭表面涂覆润滑剂,有效地避免了铌锭在加工过程中的吸碳、吸氢与吸氧,使制备的超导铌管的残余电阻率降幅较小。
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公开(公告)号:CN103219459A
公开(公告)日:2013-07-24
申请号:CN201310153570.X
申请日:2013-04-28
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: H01L39/24
Abstract: 本发明涉及金属材料技术领域。本发明提供了一种超导铌管及其制备方法,制备超导铌管的过程具体为:将超导铌锭进行锻造,所述锻造的过程中温度小于等于60℃;将锻造后的超导铌锭进行第一次热处理;在第一次热处理后的超导铌锭表面涂覆润滑剂,然后进行反挤压;将反挤压后的超导铌管坯进行第二次热处理,得到超导铌管。本发明在锻造过程中,通过控制锻造的温度,并且由于在挤压过程中,在铌锭表面涂覆润滑剂,有效地避免了铌锭在加工过程中的吸碳、吸氢与吸氧,使制备的超导铌管的残余电阻率降幅较小。
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公开(公告)号:CN102658346A
公开(公告)日:2012-09-12
申请号:CN201210098935.9
申请日:2012-04-06
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 一种大规格钽靶材的锻造方法,是采用打方拔长、打圆、镦粗锻造手段、中间配合热处理的方法,实现大规格钽靶材的均质化;具体步骤之一为:第一步,打方拔长;第二步,定尺锯料,根据最终成品的2~2.5倍重量计算,锯料;第三步,酸洗;第四步,热处理,热处理温度为钽材料熔点的25%-50%,保温时间为60~150min;第五步,二次锻造,镦粗,在镦粗时,上下平面涂润滑油;第六步,酸洗,同第三步;第七步,热处理,同第四步,第八步,三次锻造,打圆,用精锻机对坯料进行找圆。
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公开(公告)号:CN101704187B
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN200910117586.9
申请日:2009-11-13
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明是一种钽靶材的织构形成方法,以钽锭为原料,其工艺过程依次为:锻造、酸洗、热处理、轧制、二次酸洗、二次热处理、校平、下料、车削。本发明在应用时,在溅射中会使被溅射的晶粒溅射速率趋近相同、溅射原子角度分布轨迹趋近相同,这样就会获得薄膜厚度均匀一致的镀层,同时,钽靶的材料使用率亦得到大幅提高,本发明不仅填补了我国此方面的研究空白,同时也站在了世界上的技术前沿。
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公开(公告)号:CN103240417A
公开(公告)日:2013-08-14
申请号:CN201310200279.3
申请日:2013-05-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及金属材料技术领域。本发明提供了一种钽带及其制备方法,所述钽带的制备方法具体包括:a)将钽粉进行烧结,得到钽棒,将所述钽棒进行锻造;b)将步骤a)得到的钽棒进行轧制,将轧制得到的钽条进行热处理;c)将步骤b)得到的钽条再次进行轧制,将再次轧制得到的钽条再次进行热处理,得到钽带。在制备钽带的过程中,首先经过高温烧结后得到了晶粒均匀细小的初始钽棒,然后将钽棒进行锻造,使其发生变形,最后将钽棒进行了两次轧制,使钽棒在多个方向进行加工,有利于钽棒的各向均匀性;同时本发明在轧制之后进行了热处理,从而消除加工过程的残余应力,使最终制备的钽带为均匀细小的等轴晶。
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