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1.

发明授权
钽靶材的织构形成方法有权转让

公开(公告)号：CN101704187B

公开(公告)日：2011-08-17

申请号：CN200910117586.9

申请日：2009-11-13

Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司

Inventor： 李桂鹏 , 钟景明 , 同磊 , 张春恒 , 赵永生 , 汪凯 , 张全

IPC: B23P17/04 , C23G1/10 , C22F1/16 , B21B1/02

Abstract: 本发明是一种钽靶材的织构形成方法，以钽锭为原料，其工艺过程依次为：锻造、酸洗、热处理、轧制、二次酸洗、二次热处理、校平、下料、车削。本发明在应用时，在溅射中会使被溅射的晶粒溅射速率趋近相同、溅射原子角度分布轨迹趋近相同，这样就会获得薄膜厚度均匀一致的镀层，同时，钽靶的材料使用率亦得到大幅提高，本发明不仅填补了我国此方面的研究空白，同时也站在了世界上的技术前沿。

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