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公开(公告)号:CN104451567B
公开(公告)日:2017-11-10
申请号:CN201410833093.6
申请日:2014-12-29
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种钽靶材及其制备方法,包括以下步骤,首先将钽锭经过第一次锻造后,得到一次锻造坯料;然后将上述步骤得到的一次锻造坯料经过第二次锻造和第一次热处理后,得到二次锻造坯料;再将上述步骤得到的二次锻造坯料经过第三次锻造和第二次热处理后,得到三次锻造坯料;再将上述步骤得到的三次锻造坯料经过第四次锻造和第三次热处理后,得到四次锻造坯料;最后将上述步骤得到的四次锻造坯料经过轧制和第四次热处理后,得到钽靶材;所述第一次锻造为旋转锻造;所述第一次锻造的温度为800~1400℃。本发明制备的钽靶材织构分布均匀、晶粒尺寸小,能够符合高端半导体镀膜行业的使用要求。
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公开(公告)号:CN104789912B
公开(公告)日:2017-07-11
申请号:CN201510150247.6
申请日:2015-03-31
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: C22F1/18
CPC classification number: F42B1/032
Abstract: 本发明提供了一种药型罩钽5钨材料的制备方法,包括以下步骤:A)将钽5钨铸锭进行三次热锻,所述热锻的方式为轴向墩粗与径向拔长,所述轴向墩粗的镦粗比为1.5~2.0,所述径向拔长的拔长比为0.8~1.0;将三次热锻后的钽5钨坯料进行退火处理;B)将退火处理后的钽5钨坯料进行轧制,所述轧制的加工率为70%~85%;C)将步骤B)得到的钽5钨坯料进行退火处理,得到药型罩钽5钨材料。在制备钽5钨材料的过程中,本申请通过进行三次热锻与轧制的加工方式,且控制锻造与轧制过程中的参数,使制备的钽5钨材料内部晶粒组织细小,且各向力学性能均匀。
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公开(公告)号:CN103757592B
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201410054777.6
申请日:2014-02-19
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供了一种制备铌靶材的方法,包括以下步骤:a)将铌锭进行热处理,将热处理后的铌锭钻孔;b)将步骤a)得到的铌锭的内表面与外表面包覆第一金属材料,将得到的铌锭抽真空;c)将步骤b)得到的铌锭的内表面和外表面包覆第二金属材料;d)将步骤c)得到的铌锭进行热挤压。本申请在制备铌靶材的过程中,通过在铌锭的内表面与外表面依次包覆第一金属材料于第二金属材料,有效地避免了铌靶材在制备过程中的吸氢吸氧,并且易于铌靶材的加工。
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公开(公告)号:CN102990234B
公开(公告)日:2016-04-13
申请号:CN201210291461.X
申请日:2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件凸台和环件的焊接方法,其特征是:首先将凸台和环件分别酸洗,然后采用激光点焊的方法将所有凸台固定在环件上,用酸液进行表面处理,最后将固定好凸台的环件装夹在三爪卡盘上,通过W轴的旋转依次完成多个凸台的焊接。本发明首先采用点焊的方法将所有凸台固定在环件上,然后再进行电子束焊接,这样只需要抽一次真空即可完成所有凸台的焊接,最大限度的简化了加工工艺,从而大大提高了加工效率,降低了加工成本,同时由于先将凸台全部固定,避免电子束焊接时凸台变形,减少了废品的产生,提高了加工质量。
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公开(公告)号:CN102699247B
公开(公告)日:2014-06-18
申请号:CN201210154923.3
申请日:2012-05-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B21J5/06
Abstract: 本发明涉及一种超导钽棒的锻造方法,其特点是,包括如下步骤:(1)取超导专用钽锭作为原料,在150~180℃预热,保温20~40分钟,然后将已加热的钽锭取出,在表面均匀涂上抗氧化涂层,涂覆厚度2~3mm,之后自然晾干;然后加热,加热温度450~500℃,保温时间210~240分钟后取出;(2)第一次径向墩粗,第一次径向拔长;(3)第二次径向墩粗,第二次径向拔长;(4)第三次径向墩粗,停止锻造,空冷5~10分钟降温,第三次径向拔长即可。本发明的方法通过对超导产品用钽铸锭进行锻造加工,配合合适的热锻造加热工艺,从而得到晶粒度等级及横截面组织均匀性满足前期组织准备要求的组织。
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公开(公告)号:CN102877019A
公开(公告)日:2013-01-16
申请号:CN201210334543.8
申请日:2012-09-12
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种钠灯导引管加工方法及产品,金属基材冲压前进行表面镀膜,在基材表面形成氧化薄膜,以解决冲压过程中金属材料粘膜和冲杆易断及冲压件不规整的问题。本发明使金属表面形成一种硬而有塑性的氧化薄膜,它既可以改善吸附冲压润滑剂的能力,又能使金属与模具不直接接触,防止粘结,因而大大改善冲压工艺性能。
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公开(公告)号:CN101920437A
公开(公告)日:2010-12-22
申请号:CN201010258810.9
申请日:2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺,其工艺过程为:首先制备钽条,圆弧铣削,上下表面滚花,圆周滚花,卷圆即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹,从而满足半导体用户的使用要求。
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公开(公告)号:CN103849803B
公开(公告)日:2017-01-11
申请号:CN201410114933.3
申请日:2014-03-26
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种钽合金,所述钽合金包括1.5wt%~45wt%的Nb、1.8wt%~17.5wt%的W、0.7wt%~1.2wt%的Zr、0.5wt%~3.0wt%的Hf、0.7wt%~3.5wt%的Rb、0.015wt%~0.025wt%的C、0.015wt%~0.025wt%的N与0.015wt%~0.025wt%的Y中的至少一种,和余量的Ta。本发明还提供了钽合金管的制备方法,在制备过程中,依次进行了线切割-预加热-涂覆抗氧化涂层-加热-挤压-真空热处理-轧制-真空热处理的加工工序,使钽合金管表面质量较好、力学性能较高且具有优良的耐腐蚀性能和耐高温性能。
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公开(公告)号:CN103861982B
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201210551252.4
申请日:2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B21J5/00
Abstract: 本发明提供了一种铌旋转靶材铸锭的锻造方法,包括以下步骤:将铌铸锭第一次预热,在预热后的铌铸锭表面涂覆第一抗氧化涂层;将涂覆第一抗氧化涂层后的铌铸锭进行第一次热锻,将第一次热锻后的铌铸锭进行第一次热处理;将第一次热处理后的铌铸锭进行第二次热锻,将第二次热锻后的铌铸锭进行第二次热处理。本发明主要采用锻造的方式对铌铸锭进行处理,使得铸锭中部及心部的柱状晶区得到充分破碎,从而改善铌铸锭的铸造态组织的不均匀程度;另一方面,通过两次锻造,消除了铌铸锭铸造态的枝晶、晶带、非等轴晶及粗晶等不良组织的存在,使铌铸锭的内部晶粒组织得到充分细化,最终得到了内部晶粒均匀的铌旋转靶材用铌坯。
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公开(公告)号:CN104789912A
公开(公告)日:2015-07-22
申请号:CN201510150247.6
申请日:2015-03-31
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: C22F1/18
Abstract: 本发明提供了一种药型罩钽5钨材料的制备方法,包括以下步骤:A)将钽5钨铸锭进行三次热锻,所述热锻的方式为轴向墩粗与径向拔长,所述轴向墩粗的镦粗比为1.5~2.0,所述径向拔长的拔长比为0.8~1.0;将三次热锻后的钽5钨坯料进行退火处理;B)将退火处理后的钽5钨坯料进行轧制,所述轧制的加工率为70%~85%;C)将步骤B)得到的钽5钨坯料进行退火处理,得到药型罩钽5钨材料。在制备钽5钨材料的过程中,本申请通过进行三次热锻与轧制的加工方式,且控制锻造与轧制过程中的参数,使制备的钽5钨材料内部晶粒组织细小,且各向力学性能均匀。
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