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公开(公告)号：CN104451567B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201410833093.6
申请日：2014-12-29
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种钽靶材及其制备方法，包括以下步骤，首先将钽锭经过第一次锻造后，得到一次锻造坯料；然后将上述步骤得到的一次锻造坯料经过第二次锻造和第一次热处理后，得到二次锻造坯料；再将上述步骤得到的二次锻造坯料经过第三次锻造和第二次热处理后，得到三次锻造坯料；再将上述步骤得到的三次锻造坯料经过第四次锻造和第三次热处理后，得到四次锻造坯料；最后将上述步骤得到的四次锻造坯料经过轧制和第四次热处理后，得到钽靶材；所述第一次锻造为旋转锻造；所述第一次锻造的温度为800～1400℃。本发明制备的钽靶材织构分布均匀、晶粒尺寸小，能够符合高端半导体镀膜行业的使用要求。
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公开(公告)号：CN102922225B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201210291768.X
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种钼靶材的制备方法，该方法是将钼锭经加热挤压，加热锻造和加热轧制后校平，再根据成品尺寸下料、铣削和表面处理得到钼靶材。通过本发明的制备方法可获得晶粒尺寸、相对密度以及产品尺寸均满足镀膜行业要求的钼靶材，实验显示，通过本发明制备钼靶材晶粒尺寸在120--160μm之间，相对密度大于99%。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104451567A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410833093.6
申请日：2014-12-29
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3407 , C22F1/18
Abstract: 本发明提供了一种钽靶材及其制备方法，包括以下步骤，首先将钽锭经过第一次锻造后，得到一次锻造坯料；然后将上述步骤得到的一次锻造坯料经过第二次锻造和第一次热处理后，得到二次锻造坯料；再将上述步骤得到的二次锻造坯料经过第三次锻造和第二次热处理后，得到三次锻造坯料；再将上述步骤得到的三次锻造坯料经过第四次锻造和第三次热处理后，得到四次锻造坯料；最后将上述步骤得到的四次锻造坯料经过轧制和第四次热处理后，得到钽靶材；所述第一次锻造为旋转锻造；所述第一次锻造的温度为800～1400℃。本发明制备的钽靶材织构分布均匀、晶粒尺寸小，能够符合高端半导体镀膜行业的使用要求。
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公开(公告)号：CN102922225A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210291768.X
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种钼靶材的制备方法，该方法是将钼锭经加热挤压，加热锻造和加热轧制后校平，再根据成品尺寸下料、铣削和表面处理得到钼靶材。通过本发明的制备方法可获得晶粒尺寸、相对密度以及产品尺寸均满足镀膜行业要求的钼靶材，实验显示，通过本发明制备钼靶材晶粒尺寸在120--160μm之间，相对密度大于99%。
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公开(公告)号：CN104070125B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410087498.X
申请日：2014-03-11
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及钛合金的棒材锻造加工方法，尤其是一种TC4钛合金大规格棒材的锻造加工方法。其特点是，包括如下步骤：步骤1，开坯锻造；步骤2，相变点以上中间锻造；步骤3，相变点以下中间锻造；步骤4；步骤5，成品锻造，最终获得Φ200～Φ300mm、长度2000～3000mm的TC4钛合金大规格棒材。与现有技术相比：1、本发明不需要更大规格的铸锭和大吨位的锻造设备，可以采用普通工业3吨锭和小吨位锻造压机实现工业化生产；2、设备投资小。Φ600mm的3吨锭型仅需要投资3吨的电弧炉，与之配套的3000吨成型油压机，锻造工序需要投资小吨位的锻造压机，比如1600吨的锻造压机等，设备投资明显减小。
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公开(公告)号：CN104070125A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410087498.X
申请日：2014-03-11
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及钛合金的棒材锻造加工方法，尤其是一种TC4钛合金大规格棒材的锻造加工方法。其特点是，包括如下步骤：步骤1，开坯锻造；步骤2，相变点以上中间锻造；步骤3，相变点以下中间锻造；步骤4；步骤5，成品锻造，最终获得Φ200～Φ300mm、长度2000～3000mm的TC4钛合金大规格棒材。与现有技术相比：1、本发明不需要更大规格的铸锭和大吨位的锻造设备，可以采用普通工业3吨锭和小吨位锻造压机实现工业化生产；2、设备投资小。Φ600mm的3吨锭型仅需要投资3吨的电弧炉，与之配套的3000吨成型油压机，锻造工序需要投资小吨位的锻造压机，比如1600吨的锻造压机等，设备投资明显减小。
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公开(公告)号：CN202072753U
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201120077305.4
申请日：2011-03-23
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种钽金属表面钝化装置，包括：炉膛、组成所述炉膛的带水冷夹套的炉壳、和炉膛相通的真空压力计、钝化用的含氧气体入口、氩气入口、抽空管道、设置于所述炉膛里的保温屏、设置在所述的保温屏里面的加热器、测量温度的热电偶、置于加热器内钽粉热处理坩埚、装入所述坩埚里的待处理的钽粉，其特征在于还包括氩气强制冷却装置，钽金属在钝化前，用所述氩气强制冷却装置使钽金属温度降到30℃或以下，再通入含氧气体使钽金属表面钝化。用本实用新型装置进行钽金属表面钝化，安全可靠，生产效率高，不会发生钽金属着火，得到的钽粉氧含量低，用本实用新型钽粉制备的阳极漏电流低，电性能好。
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