一种低密度铌合金高温抗氧化材料及由其制备高温抗氧化涂层的方法

    公开(公告)号:CN102719713B

    公开(公告)日:2013-11-13

    申请号:CN201210237037.7

    申请日:2012-07-10

    Abstract: 本发明涉及一种低密度铌合金高温抗氧化材料及由其制备高温抗氧化涂层的方法,其特点是,按重量计组分为:Si为10~15Wt%,Ti为2~3Wt%,Mo为1~2Wt%,HfO2为0.8~1.2Wt%,W为0.7~0.9Wt%,余量为Al。本发明提供了一种低密度铌合金高温抗氧化材料及由其制备高温抗氧化涂层的方法,采用该材料制备的涂层有效解决了低密度铌合金在800℃以上,尤其是在1100℃上下大气环境中剧烈氧化问题,最大程度的保留合金的高温力学性能,同时扩大低密度铌合金适用范围并延长其使用寿命。本发明高温抗氧化材料制备的涂层具有良好的高温抗氧化性,涂层表面均匀,微观结构致密。

    在铌钨合金上制备高温抗氧化涂层的方法

    公开(公告)号:CN102071419A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN201110024937.9

    申请日:2011-01-24

    Abstract: 本发明涉及用冷喷涂和激光熔覆技术在铌钨合金(Nb521)表面制备高温抗氧化纳米复合涂层的方法,尤其是在铌钨合金上制备高温抗氧化涂层的方法。其特点是,包括如下步骤:a、取高温抗氧化材料,将其中的Mo和Si组分分别加工成纳米粉体待用,然后将其余组分混合后也加工成纳米粉体待用;b、先将Si纳米粉体冷喷涂在铌钨合金基材上;c、再将步骤a中所述的其余组分混合后的纳米粉体冷喷涂在铌钨合金基材上;d、然后将Mo纳米粉体冷喷涂在铌钨合金基材上,此时所有涂层总厚度控制在50~140微米;e、将喷涂后的铌钨合金基材用激光束辐照扫描熔化涂层即可。本发明方法令涂层粉体间组织紧密,大大提高了涂层的致密性。

    一种靶材的制备方法
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106756832B

    公开(公告)日:2019-03-12

    申请号:CN201611229097.9

    申请日:2016-12-27

    Abstract: 本发明提供了一种靶材的制备方法,包括以下步骤:A)将锻造后的坯料酸洗后热处理,所述热处理的升温速率为10~50℃/min;B)将热处理后的坯料放置于轧机的工装上进行轧制;C)将轧制后的坯料进行酸洗,再进行热处理,得到靶材;所述热处理的升温速率为10~50℃/min。本发明通过采用特殊的轧制工装和快速升温热处理工艺,可制备直径在400~1000mm,厚度在6~30mm的大规格靶材,且使该种靶材获得的{111}、{100}织构组分比例控制在20~40%,织构组分分布波动控制在10%以内,能满足28nm及以下制程的半导体应用。

    一种靶材的制备方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106756832A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201611229097.9

    申请日:2016-12-27

    CPC classification number: C23C14/3414 C22F1/18

    Abstract: 本发明提供了一种靶材的制备方法,包括以下步骤:A)将锻造后的坯料酸洗后热处理,所述热处理的升温速率为10~50℃/min;B)将热处理后的坯料放置于轧机的工装上进行轧制;C)将轧制后的坯料进行酸洗,再进行热处理,得到靶材;所述热处理的升温速率为10~50℃/min。本发明通过采用特殊的轧制工装和快速升温热处理工艺,可制备直径在400~1000mm,厚度在6~30mm的大规格靶材,且使该种靶材获得的{111}、{100}织构组分比例控制在20~40%,织构组分分布波动控制在10%以内,能满足28nm及以下制程的半导体应用。

    一种低密度铌合金高温抗氧化材料及由其制备高温抗氧化涂层的方法

    公开(公告)号:CN102719713A

    公开(公告)日:2012-10-10

    申请号:CN201210237037.7

    申请日:2012-07-10

    Abstract: 本发明涉及一种低密度铌合金高温抗氧化材料及由其制备高温抗氧化涂层的方法,其特点是,按重量计组分为:Si为10~15Wt%,Ti为2~3Wt%,Mo为1~2Wt%,HfO2为0.8~1.2Wt%,W为0.7~0.9Wt%,余量为Al。本发明提供了一种低密度铌合金高温抗氧化材料及由其制备高温抗氧化涂层的方法,采用该材料制备的涂层有效解决了低密度铌合金在800℃以上,尤其是在1100℃上下大气环境中剧烈氧化问题,最大程度的保留合金的高温力学性能,同时扩大低密度铌合金适用范围并延长其使用寿命。本发明高温抗氧化材料制备的涂层具有良好的高温抗氧化性,涂层表面均匀,微观结构致密。

    高温抗氧化材料及由其制备高温抗氧化涂层的方法

    公开(公告)号:CN102061468A

    公开(公告)日:2011-05-18

    申请号:CN201110024938.3

    申请日:2011-01-24

    Abstract: 本发明涉及目前常用于航空航天、武器装备、原子能及化工工业领域中的耐高温难熔材料,尤其是高温抗氧化材料及由其制备高温抗氧化涂层的方法。其特点是,组分为:Ta为1.5-4.8Wt%,W为5.2-8.7Wt%,Cr为11.2-15.4Wt%,Ni为2.3-5.7Wt%,B为1.3-1.6Wt%,NaF为0.4-0.8Wt%,Y为1.1-2.3%Wt%;余量为Si。本发明公开了高温抗氧化材料及由其制备的高温抗氧化涂层,这种涂层加制在钽钨合金表面后,涂层可以保护钽钨合金基体不受高温腐蚀或减缓腐蚀速率,又不会改变合金基体成分,可以最大程度的保留合金高温力学性能,且涂层的寿命长,使用温度高。

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