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公开(公告)号：CN119483538A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411084891.3
申请日：2024-08-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供了一种声学谐振器，该声学谐振器包括：基板；压电层，由基板支撑；以及叉指换能器(IDT)，在压电层的面向基板的表面上，其中，IDT包括多个交错指状物。此外，声学谐振器包括设置在基板和压电层之间的声学反射器，诸如布拉格反射器。声学反射器包括具有一个或多个层的声学阻抗层，该一个或多个层具有与设置在压电层的表面上的交错指状物相符的形状。
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公开(公告)号：CN110024286B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN201780071709.2
申请日：2017-09-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 弹性波装置(1)具备：压电基板(11)；以及IDT电极(5)，设置在压电基板(11)。IDT电极(5)具有：汇流条电极(7a、7c(或7b、7d))，在弹性波传播方向(D1)上延伸；以及多个电极指(8a(或8b))，与汇流条电极(7a、7c(或7b、7d))连接，并在弹性波传播方向(D1)的正交方向(D2)上延伸。压电基板(11)具有沿着弹性波传播方向(D1)形成的槽(10C、10D)，在正交方向(D2)上从汇流条电极(7a、7c(或7b、7d))观察，槽(10C(或10D))设置在与形成有多个电极指(8a(或8b))侧相反侧。
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公开(公告)号：CN111033774B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN201880052416.4
申请日：2018-11-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电器件具备：压电体(10)，至少一部分能够进行弯曲振动；上部电极(22)，配置在压电体(10)的上表面上，其中，该上部电极越远离压电体(10)的上表面，晶格的应变越被缓和；下部电极(21)，配置在压电体(10)的下表面上，其中，该下部电极越远离压电体(10)的下表面，晶格的应变越被缓和；以及支承基板(40)，配置在压电体(10)的下方，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电体(10)的下表面上的凹部(141)。
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公开(公告)号：CN116941183A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202280018337.8
申请日：2022-03-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木村哲也
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明使Q值提高。弹性波装置具备：支承构件，在第1方向上具有厚度；压电层，设置在所述支承构件的所述第1方向上；以及IDT电极，设置在所述压电层的所述第1方向上，该IDT电极具有在与所述第1方向正交的第2方向上延伸的多个第1电极指、连接了所述多个第1电极指的第1汇流条电极、在与所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指中的任一个对置并在所述第2方向上延伸的多个第2电极指、以及连接了所述多个第2电极指的第2汇流条电极，在所述支承构件，在所述压电层侧，在所述第1方向上俯视时至少一部分与所述IDT电极重叠的位置设置有空洞部，在所述压电层，设置有在所述第1方向上俯视时将至少一个第1电极指与所述第2汇流条电极之间的区域的所述压电层贯通的至少一个第1贯通孔，所述第1贯通孔与所述空洞部连通，在所述第3方向上具有长度，在所述第1方向上俯视时与至少一个第2电极指的一部分重叠。
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公开(公告)号：CN111095585B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN201880059615.8
申请日：2018-11-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电器件具备：至少一部分能够弯曲振动且极化状态相同的压电单晶体(10)、配置在压电单晶体(10)的上表面上的上部电极(22)、配置在压电单晶体(10)的下表面上的下部电极(21)、和配置在压电单晶体(10)的下方的支承基板(40)，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电单晶体(10)的下表面上的凹部(141)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116636142A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202180084809.5
申请日：2021-12-23
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 一种声波设备包括：空腔，在基板中；重叠区域，其中，相邻的第一叉指电极和第二叉指电极的部分彼此相对；第一间隙区域，在第一母线和重叠区域之间，并且包括第一叉指电极，但不包括第二叉指电极；以及第二间隙区域，在第二母线和重叠区域之间，并且包括第二叉指电极，但不包括第一叉指电极。比率d/p为约0.5或更小，其中，d是压电层的厚度，并且p是相邻的第一叉指电极和第二叉指电极的中心之间的距离。空腔的第一壁位于第一母线或第一间隙区域下方，并且空腔的第二壁位于第二母线或第二间隙区域下方。
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公开(公告)号：CN115997342A
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202180051666.8
申请日：2021-08-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木村哲也
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种弹性波装置，抑制谐振特性的劣化。弹性波装置具备压电层和包括至少一对电极的多个电极，该至少一对电极在与第一方向交叉的第二方向上对置，并且在第一主面上相邻地设置。在第二方向上排列有多个电极中的至少三个以上的电极。而且，多个电极包括膜厚不同的至少两个电极。多个电极至少包括膜厚相同且相邻的两个电极。或者在第二方向上排列有至少三个以上的电极，多个电极包括膜厚不同的至少三个电极。
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公开(公告)号：CN115699573A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202180040136.3
申请日：2021-06-02
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种在位于腔上的压电膜不易产生裂纹的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，设置有压电膜(2)，在压电膜(2)上设置有IDT电极(10)，IDT电极(10)具有第1汇流条(5)以及第2汇流条(6)、至少一根第1电极指(3)、和至少一根第2电极指(4)，在将第1电极指(3)、第2电极指(4)在弹性波传播方向上重叠的区域设为交叉区域的情况下，在像下述的那样定义的点A2、点B2、点C2以及点D2处，在xa＜25μm、ya＜25μm、xb＜25μm、yb＜25μm、xc＜25μm、yc＜25μm、xd＜25μm、yd＜25μm时，点A2、B2、C2、D2全部处于腔的外侧。
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公开(公告)号：CN115428329A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202180029585.8
申请日：2021-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 目的：提供包括腔部但压电膜不易发生破裂的弹性波器件。解决方案：弹性波器件(1)包括由铌酸锂或钽酸锂制成的压电膜(2)，以及在与压电膜(2)的厚度方向相交的方向上彼此面对的第一电极指(3)和第二电极指(4)。当压电膜(2)的平均厚度为d，并且第一电极指(3)和第二电极指(4)的中心之间的距离为p时，d/p约为0.5或更小。第一电极指(3)和第二电极指(4)分别连接到第一母线(5)和第二母线(6)。第一母线(5)和第二母线(6)包括角部。当在俯视图中观察时，第一母线(5)和第二母线(6)的角部(5e)至(5h)和(6e)至(6h)中的至少一个角部在腔部(9)的外侧。
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公开(公告)号：CN114467257A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080066155.9
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种在谋求小型化的同时还能够提高Q值且能够增大电容的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电体层(4)和第1电极(51)以及第2电极(52)。第1电极(51)以及第2电极(52)在与压电体层(4)的厚度方向(D1)交叉的方向(D2)上对置。弹性波装置(1)利用厚度剪切一阶模的体波。压电体层(4)的材料是铌酸锂或钽酸锂。第1电极(51)以及第2电极(52)各自的至少一部分埋入到压电体层(4)。
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