一种GaAs基LED芯片的无光刻制备方法

    公开(公告)号:CN108389938A

    公开(公告)日:2018-08-10

    申请号:CN201710063966.3

    申请日:2017-02-03

    CPC classification number: H01L33/0062 H01L33/36 H01L33/40 H01L2933/0016

    Abstract: 一种GaAs基LED芯片的无光刻制备方法,包括以下步骤:(1)在GaAs衬底上生长外延层;(2)制备排列有电极孔洞的贴片;(3)将步骤(2)制备的贴片贴在步骤(1)制备的GaAs基LED外延层上;(4)在贴片上通过蒸镀进行Au膜沉积,电极孔洞处的Au膜与外延层接触形成P电极;(5)将贴片取下并进行退火处理,得到P电极;(6)对GaAs衬底减薄及生长N电极。该方法通过设计具有电极孔洞的贴片,将该贴片与GaAs基LED外延片贴在一起制备P电极,无需光刻直接进行电极蒸镀得到P电极,避免了现有技术中光刻制备GaAs基LED芯片的P电极因化学腐蚀或光刻胶造成的电极大小波动问题,避免了光电参数波动,提高了生产效率,流程简便,适合规模化生产。

    一种薄膜型AlGaInP发光二极管芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN108198926A

    公开(公告)日:2018-06-22

    申请号:CN201810093125.1

    申请日:2018-01-31

    CPC classification number: H01L33/405 H01L33/0062 H01L33/38 H01L33/40

    Abstract: 本发明公开了一种薄膜型AlGaInP发光二极管芯片及其制备方法,该发光二极管芯片包括:具有正反面的键合基板;从键合基板正面往上依次为:基板侧金属键合层、外延侧金属键合层、P面扩散阻挡金属层、P面反射欧姆接触层;从P面反射欧姆接触层往上依次为P型电流扩展层、P型限制层、P侧空间层、多量子阱发光区、N侧空间层、N型限制层、N型粗化层、N型欧姆接触层,N电极;键合基板的反面为P电极。本发明采用的P面反射欧姆接触层,同时具备光反射和欧姆接触功能;通过P面反射欧姆接触层的区块化,通过优化区块的间隔距离和N电极的宽度,可以抑制N电极对应区域电流注入集中问题,有效减少N电极遮挡效应。本发明具有能有效提高电光转换效率、结构简单等优点。

Patent Agency Ranking