-
公开(公告)号：CN108291304B
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN201680068948.8
申请日：2016-12-02
申请人： 德国艾托特克公司
摘要： 本发明涉及用于监测金属或金属合金镀浴中含硫化合物的总量的方法，其中所述含硫化合物含有氧化态低于+6的至少一个硫原子，所述方法包含步骤(a)、(b)、任选的(c)，及(d)。所述方法是提供对金属电镀工艺的控制的手段。因此，本发明进一步涉及用于将金属电镀于衬底上的受控工艺，其利用本发明的方法监测所述含硫化合物的总量。
-
公开(公告)号：CN113195787A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201980083169.9
申请日：2019-10-07
申请人： 德国艾托特克公司
发明人： S·布雷姆特 , M·格恩哈德 , L·J·格雷戈瑞德斯 , K·武丁格尔
摘要： 本发明涉及在制造具有集成电路的物件中用于在钯活化层沉积于衬底上之前使用的水性碱性预处理溶液及其方法和用途，其中所述溶液包含：‑至少一种通式(I)的羟基羧酸或其盐：[RCH2‑(RCH)n‑COO‑]mMm+(I)，其中n是2到4的整数且m是1或2，R独立地为H或OH，限制条件是至少一个R是OH，并且其中m为1的Mm+是氢、铵或碱金属；或m为2的Mm+是碱土金属；‑至少一种聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯；‑至少一种磺化脂肪酸或其盐。[RCH2‑(RCH)n‑COO‑]mMm+(I)。
-
公开(公告)号：CN113026020A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110225701.5
申请日：2014-10-14
申请人： 德国艾托特克公司
摘要： 本发明涉及一种于其它金属存在下选择性处理铜的方法，尤其是一种在不影响尤其锡的其它金属的情况下选择性处理铜或铜合金的表面的方法。所述方法适合于处理铜或铜合金的表面以便于金属层的后续沉积且提高铜、铜合金及所述后续沉积金属层的表面的可焊接性。所述方法应用于印刷电路板PCB及引线框架或集成电路衬底(IC衬底)。
-
公开(公告)号：CN112400036A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201980045418.5
申请日：2019-06-05
申请人： 德国艾托特克公司
摘要： 本发明涉及一种用于在衬底的表面上沉积铜或铜合金层的无电铜镀浴，其包括：a)铜离子；b)适用于还原铜离子为金属铜的至少一种还原剂；c)至少一种用于铜离子的络合剂；其特征在于所述无电铜镀浴进一步包括d)至少一种根据式(1)的化合物：其中Z1和Z2是独立地选自由以下组成的群组：氢、羧酸基、羧酸盐基、磺酸基、磺酸盐基、羧酰胺基、腈基、硝基、被取代或未被取代的三烷基铵基、被取代或未被取代的2‑羧基乙烯基、被取代或未被取代的2‑乙烯基羧酸盐基、被取代或未被取代的2‑(三烷基铵)乙烯基、被取代或未被取代的羟肟酸基以及被取代或未被取代的肟基；前提是Z1和Z2中的至少一个不为氢；以及其中R1、R2、R3以及R4定义如下：i.R1、R2、R3以及R4为氢；或ii.R1与R2一起形成被取代或未被取代的芳环部分，R3和R4为氢；或iii.R3与R4一起形成被取代或未被取代的芳环部分，R1和R2为氢；或25iv.R1与R2以及R3与R4分别一起形成被取代或未被取代的芳环部分。本发明进一步涉及一种用于在衬底的表面上沉积至少一个铜或铜合金层的方法、层系统以及用于提供本发明的无电铜镀浴的多部分试剂盒。
-
-
公开(公告)号：CN111094632B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201880055354.2
申请日：2018-08-20
申请人： 德国艾托特克公司
摘要： 本发明涉及一种用于使锌镍合金层电解沉积在衬底上的方法，其中所述方法包括通过终止将来自外部电流源的电流施加到一或多个可溶锌阳极中的每个可溶锌阳极和一或多个可溶镍阳极中的每个可溶镍阳极来中断执行锌镍合金层在衬底的表面上的所述电解沉积；并且其中之后，保持于电解反应容器中的至少一个可溶锌阳极通过电连接元件电连接以形成到保持于所述电解反应容器中的至少一个可溶镍阳极的电连接，并持续不将来自所述外部电流源的电流施加到所述一或多个可溶锌阳极中的每个可溶锌阳极和所述一或多个可溶镍阳极中的每个可溶镍阳极的限定时间段的至少一部分。
-
-
公开(公告)号：CN111065763A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201880058618.X
申请日：2018-09-13
申请人： 德国艾托特克公司
摘要： 本发明涉及以镍或镍合金填充工件的垂直互连通道或沟的水浴，所述浴包含：-镍离子源，和任选地至少一种合金金属的离子源；-至少一种缓冲剂；-式(I)化合物的二聚物或其混合物中的至少一者， 其中R1是经取代或未经取代的烯基，R2可存在或不存在，且R2如果存在，那么其是-(CH2)n-SO3-基团，其中n是在1到6范围内的整数，且其中所述基团中的一或多个氢可由取代基、优选氢氧根基取代；且涉及利用所述水浴以镍或镍合金填充工件的垂直互连通道或沟的方法。
-
公开(公告)号：CN110832060A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201880044023.9
申请日：2018-07-04
申请人： 德国艾托特克公司
摘要： 一种用于清洁和/或润湿金属表面的清洁溶液，其包含：-至少一种酸；-第一表面活性剂，其是浊点≤25℃的烷基-聚(乙二醇-共-丙二醇)-醚；-第二表面活性剂，其选自由以下组成的群组：i)浊点≥30℃的烷基-聚(乙二醇-共-丙二醇)-醚，ii)浊点≥45℃的烷基-聚乙二醇-醚，其中所述浊点根据德语版的欧洲标准EN 1890:2006条款8.2来测定，其中修改是使用10wt％H2SO4作为溶剂且所述表面活性剂的浓度为1000mg/L。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
138 条记录 (耗时 0.043 秒)
