公开(公告)号：CN113195787A

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN201980083169.9

申请日：2019-10-07

申请人： 德国艾托特克公司

发明人： S·布雷姆特 ,  M·格恩哈德 ,  L·J·格雷戈瑞德斯 ,  K·武丁格尔

IPC分类号： C23C18/18 ,  C23C18/20 ,  C23C18/40

摘要： 本发明涉及在制造具有集成电路的物件中用于在钯活化层沉积于衬底上之前使用的水性碱性预处理溶液及其方法和用途，其中所述溶液包含：‑至少一种通式(I)的羟基羧酸或其盐：[RCH2‑(RCH)n‑COO‑]mMm+(I)，其中n是2到4的整数且m是1或2，R独立地为H或OH，限制条件是至少一个R是OH，并且其中m为1的Mm+是氢、铵或碱金属；或m为2的Mm+是碱土金属；‑至少一种聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯；‑至少一种磺化脂肪酸或其盐。[RCH2‑(RCH)n‑COO‑]mMm+(I)。

公开(公告)号：CN113195787B

公开(公告)日：2023-08-11

申请号：CN201980083169.9

申请日：2019-10-07

申请人： 德国艾托特克公司

发明人： S·布雷姆特 ,  M·格恩哈德 ,  L·J·格雷戈瑞德斯 ,  K·武丁格尔

IPC分类号： C23C18/18 ,  C23C18/20 ,  C23C18/40

摘要： 本发明涉及在制造具有集成电路的物件中用于在钯活化层沉积于衬底上之前使用的水性碱性预处理溶液及其方法和用途，其中所述溶液包含：‑至少一种通式(I)的羟基羧酸或其盐：[RCH2‑(RCH)n‑COO‑]mMm+(I)，其中n是2到4的整数且m是1或2，R独立地为H或OH，限制条件是至少一个R是OH，并且其中m为1的Mm+是氢、铵或碱金属；或m为2的Mm+是碱土金属；‑至少一种聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯；‑至少一种磺化脂肪酸或其盐。[RCH2‑(RCH)n‑COO‑]mMm+(I)。